[发明专利]样品液体气化系统、诊断系统及诊断方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种诊断整个样品液体气化装置的异常的系统及其方法，所述样品液体气化装置包括设置于样品液体气化装置内的气体浓度计等各种传感器、流量控制器(flow controller)等流量控制设备在内。

背景技术

作为现有的样品液体气化装置，如专利文献1所示具有底下构件，其包括：样品液体槽，储存样品液体；气体导入管，将使该样品液体气化的载气导入至该样品液体槽的样品液体；以及气体导出管，自所述样品液体槽导出包括样品液体气化而成的样品气体及载气的混合气体。并且，在所述样品液体气化装置中，有时会设置例如超声波式气体浓度计等气体浓度计，以测定流经所述气体导出管的混合气体中的样品气体浓度。

并且，为了判断由所述气体浓度计获得的测定值是否准确，通过流入浓度已知的基准气体，对基准气体的已知浓度与气体浓度计的测定值进行比较来进行。

然而，为了使基准气体流入气体浓度计，必须在样品液体气化装置中设置用于流入基准气体的配管，从而存在配管空间扩大、成本增大的问题。并且，由于必须在样品液体气化装置中准备用于流入基准气体的时序(sequence)(处理顺序)，因此存在用户的操作变得复杂的问题。

此外，由于在通过样品液体气化装置产生了样品气体的状态下无法流入基准气体，所以必须在暂时通过样品液体气化装置使样品气体的生成停止之后流入基准气体。如上所述在停止了样品气体的生成的状态下判断异常的话，必须空出时间间隔来判断气体浓度计的异常，从而存在检测气体浓度计的异常发生延迟，在此之前生成的样品气体的浓度偏离所需值的问题。

在所述样品液体气化装置中，除了所述气体浓度计的异常以外，在设置于样品液体气化装置内的温度计、压力计等各种传感器或设置于气体导入管内的质量流量控制器等流量控制设备发生异常时，也存在样品气体的浓度偏离所需值的问题。而且，为了判断所述各部的异常，必须对各部个别地设定判断时序。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2004-149925号公报

发明内容

因此，本发明是为了解决上述问题而开发的，其主要课题在于无需准备基准气体及流入基准气体的专用配管以及个别的时序，便可以进行包括气体浓度计等各部在内的整个系统(装置)是否异常的判断。

即，本发明的样品液体气化系统的特征在于包括：样品液体槽，储存样品液体，并且使该样品液体气化；气体导出管，将通过所述样品液体槽气化而成的气体导出至所述样品液体槽的外部；气体浓度计，测定流经所述气体导出管的气体浓度测定值；温度计，测定所述样品液体槽内的温度；压力计，测定所述样品液体槽内的压力；气体浓度计算部，根据由所述温度计获得的温度及由所述压力计获得的压力，算出所述样品液体槽内经气化的气体浓度计算值；以及状态判断部，将由所述气体浓度计算部算出的气体浓度计算值以及由所述气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断样品液体气化系统的异常。

如上所述的样品液体气化系统，将根据样品液体槽内的温度及样品液体槽内的压力而算出的气体浓度计算值以及由气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断整个样品液体气化系统的异常，因此无需另行准备基准气体、用于流入基准气体的配管及个别的时序等。而且，在已生成样品气体的样品气体生成运转时，也可以判断包括样品液体气化系统是否异常在内的状态。

根据样品液体槽内的温度及样品液体槽内的压力而算出的气体浓度计算值是根据例如因起泡(bubbling)而产生的样品液体的气化效率、样品液体的材料特性、样品液体槽内的样品液体的液量等而变动。因此，优选的是，所述状态判断部根据所述气体浓度测定值是否包含于对所述气体浓度计算值实施规定的运算而获得的上限值与下限值的范围内，来判断样品液体气化系统是否异常。

而且，本发明的诊断系统是样品液体气化装置内的气体浓度计的诊断系统，所述样品液体气化装置包括：样品液体槽，储存样品液体，并且使该样品液体气化；气体导出管，将通过所述样品液体槽气化而成的气体导出至外部；以及气体浓度计，测定流经所述气体导出管的气体浓度测定值；所述诊断系统的特征在于包括：气体浓度获取部，获取气体浓度计算值，所述气体浓度计算值是根据由测定所述样品液体槽内的温度的温度计所获得的温度及由测定所述样品液体槽内的压力的压力计所获得的压力而算出，表示所述样品液体槽内经气化的气体浓度；以及状态判断部，将由所述气体浓度获取部获取的气体浓度计算值以及由所述气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断所述样品液体气化装置的异常。