[发明专利]传送机器人有效
申请号: | 201210553485.8 | 申请日: | 2012-12-19 |
公开(公告)号: | CN103227131A | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 古市昌稔 | 申请(专利权)人: | 株式会社安川电机 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 党晓林;王小东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送 机器人 | ||
1.一种传送机器人,所述传送机器人包括:
臂,在该臂的末端设有用于传送薄板状工件的机器人手,并且所述臂在水平方向操作;以及
本体,该本体包括使所述臂升降的升降机构;其中
所述本体的至少一部分布置在传送室的侧壁外,所述传送室连接至开闭装置并且连接至对所述薄板状工件进行加工的加工室,所述开闭装置用来开闭用于所述薄板状工件的储存容器。
2.根据权利要求1所述的传送机器人,其中,所述本体安装在所述加工室上,使得所述升降机构定位在所述传送室的侧壁外。
3.根据权利要求1或2所述的传送机器人,其中,所述臂经由支架连接至所述升降机构,所述支架穿过在所述本体的传送室侧设置的竖直取向的缝隙。
4.根据权利要求3所述的传送机器人,所述传送机器人还包括屏蔽构件,所述屏蔽构件设置在所述缝隙和所述升降机构之间并且在所述支架的两个操作方向被连接从而覆盖所述缝隙。
5.根据权利要求1或2所述的传送机器人,其中,当从上方观察所述传送室时,所述本体布置在两个所述开闭装置之间。
6.根据权利要求1或2所述的传送机器人,其中,所述本体在其从所述传送室突出的部分处包括能开闭的盖罩。
7.根据权利要求1或2所述的传送机器人,其中:
所述本体的宽度不大于在所述传送室的侧壁上安装的所述开闭装置的宽度;并且
构成所述臂的构件所具有的最大宽度不大于供安装所述开闭装置的开口的宽度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造