[发明专利]固态成像器件和照相机

权利要求书

1.一种固态成像器件，包括：

具有以二维形式排列的多个像素的像素单元，每个像素包括光电转换元件和用于将在所述光电转换元件中生成的电荷传送到浮动扩散部的传送晶体管，

其中第一隔离区被形成在像素之间，并且第二隔离区被形成在所述浮动扩散部和所述第一隔离区之间。

2.如权利要求1所述的固态成像器件，其中所述第一隔离区与所述第二隔离区具有不同的形状结构。

3.如权利要求1所述的固态成像器件，其中所述第二隔离区由浅槽结构形成。

4.如权利要求1所述的固态成像器件，其中所述第二隔离区连续地从与所述浮动扩散部毗连的部分延伸到所述传送晶体管的栅极之下的部分。

5.如权利要求4所述的固态成像器件，其中杂质扩散隔离区介于所述传送晶体管的栅极之下的浅槽隔离区的延伸部分的末端和所述光电转换元件之间。

6.如权利要求1所述的固态成像器件，其中膜厚度等于栅绝缘膜的膜厚度的平整绝缘膜被形成在所述第二隔离区和所述杂质扩散隔离区上。

7.如权利要求1所述的固态成像器件，其中比栅绝缘膜厚的绝缘膜被形成在所述杂质扩散隔离区上。

8.如权利要求1所述的固态成像器件，还包括所述像素中的复位晶体管，其中所述复位晶体管的源极区与所述浮动扩散部相同。

9.如权利要求1所述的固态成像器件，其中多个所排列的像素共享除了所述传送晶体管之外的像素晶体管。

10.如权利要求9所述的固态成像器件，其中所述像素晶体管至少包括所述复位晶体管。

11.如权利要求1所述的固态成像器件，其中所述第一隔离区由杂质扩散隔离区形成。