[发明专利]定向的晶体凝固炉在审

专利信息
申请号: 201210362459.7 申请日: 2012-09-25
公开(公告)号: CN103031594A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 帕特里克·安德罗;菲力浦·雷;吉勒斯·瑞普林;菲力浦·雷蒙德 申请(专利权)人: 依西埃姆科技公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 杨黎峰;李欣
地址: 法国格勒*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 定向 晶体 凝固
【权利要求书】:

1.一种定向的晶体凝固炉,包括具有对称轴线(Δ1)的坩埚(7),所述炉沿着所述对称轴线依次包括:

所述坩埚;

加热元件(21);

两个第一遮板(32a、32b),所述两个第一遮板位于第一平面内且能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动;

两个第二遮板(34c、34d),所述两个第二遮板位于第二平面内且能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动,所述第一遮板的平移方向和所述第二遮板的平移方向为垂直的,所述第一遮板和所述第二遮板共同形成隔热件(29);以及

热交换器(27)。

2.根据权利要求1所述的炉,其中,所述隔热件(29)包括支承件(41a至41d),所述第一遮板和所述第二遮板(32a、32b、34c、34d)均附接到支承件,所述支承件能够在布置于所述遮板和所述热交换器(27)之间的板件(37)上滑动。

3.根据权利要求2所述的炉,其中,当所述第一遮板(32a、32b)彼此最接近且所述第二遮板(34c、34d)彼此最接近时,各第二遮板(34c、34d)至少部分地位于各第一遮板(32a、32b)和关联的所述支承件(41a、41b)之间。

4.根据权利要求2所述的炉,其中,所述第一遮板(32a、32b)和所述第二遮板(34c、34d)都具有长方形形状,并且每个支承件(41a至41d)都包括指向所述对称轴线(Δ1)的尖头部分(42a至42d)。

5.根据权利要求4所述的炉,其中,所述第一遮板(32a、32b)能够彼此接触且所述第二遮板(34c、34d)能够彼此接触,以及其中,与所述第一遮板相关联的所述支承件(41a、41b)之一的所述尖头部分(42a、42b)的一侧能够接触与所述第二遮板相关联的所述支承件(41c、41d)之一的所述尖头部分(42c、42d)的一侧。

6.根据权利要求2所述的炉,其中,各第一遮板(32a、32b)通过间隔元件(35a、35b、45a、45b)而与关联的所述支承件(41a、41b)间隔一距离,所述距离等于所述第二遮板(34c、34d)之一的厚度。

7.根据权利要求6所述的炉,其中,对于各所述第一遮板(32a、32b),所述间隔元件包括垫片(35a、35b)和杆(45a、45b),所述垫片连接所述第一遮板的距离所述对称轴线(Δ1)最远的边缘和所述关联的支承件(41a、41b),所述杆连接所述第一遮板的最靠近所述对称轴线的边缘和所述关联的支承件的所述尖头部分(42a、42b),且其中,各所述第二遮板(34c,34d)都包括开口(47c、47d、48c、48d),所述开口能够在所述遮板彼此最靠近时接纳所述杆。

8.根据权利要求1所述的炉,其中,所述隔热件(29)包括驱动系统,所述驱动系统能够使所述第一遮板(32a、32b)和所述第二遮板(34c、34d)一起远离和返回移动,所述热交换器(27)布置在所述第一遮板和所述第二遮板与所述驱动系统的至少一部分之间。

9.根据权利要求8所述的炉,其中,所述驱动系统包括驱动部(53),所述驱动部借助连接杆(57a至57d)连接至各第一遮板(32a、32b)和第二遮板(34c、34d),所述连接杆相对于所述驱动部以及相对于关联的第一遮板或第二遮板为铰接连接,所述驱动系统还包括马达(67),所述马达能够使所述驱动部(53)围绕所述对称轴线(Δ1)旋转。

10.根据权利要求9所述的炉,还包括用于各所述第一遮板(32a、32b)和所述第二遮板(34c、34d)的细长的连接部件(59a至59d),所述细长的连接部件紧固到关联的第一遮板或第二遮板的距离所述对称轴线(Δ1)最远的边缘,所述细长的连接部件定向为沿着平行于所述对称轴线的方向,并且所述连接杆(57a至57d)相对于所述连接部件以及相对于所述驱动部(53)为铰接连接且定向为沿着垂直于所述对称轴线的方向。

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