[发明专利]基板的槽加工工具

权利要求书

1.一种基板的槽加工工具，所述基板的槽加工工具由保持器保持，用于与所述保持器一起在作为加工对象的基板上相对地往复移动从而在基板形成槽，其中，

所述基板的槽加工工具具备：

工具主体，所述工具主体由所述保持器保持；以及

刀头部，所述刀头部形成于所述工具主体的末端部并且具有第一刃和第二刃，所述第一刃在移动方向的前往移动侧的末端形成，所述第二刃在移动方向的返回移动侧的末端形成，并且所述第一刃与所述第二刃以连续的方式相邻。

2.根据权利要求1所述的基板的槽加工工具，其中，

所述第一刃和所述第二刃分别从所述刀头部的移动方向的中心位置朝向移动方向的两侧形成，并且所述第一刃和所述第二刃相对于移动方向朝向所述工具主体侧倾斜相同的角度。

3.根据权利要求2所述的基板的槽加工工具，其中，

所述工具主体由摆动部件支承，所述摆动部件以摆动自如的方式支承于所述保持器，所述第一刃和所述第二刃的倾斜角度与所述摆动部件的摆动角度相等。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的基板的槽加工工具，其中，

所述刀头部以在移动方向上的宽度越靠末端越窄的方式使相对置的前往移动侧的侧面和返回移动侧的侧面倾斜且对称地形成。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的基板的槽加工工具，其中，

所述刀头部的在与移动方向正交的方向上的宽度比所述工具主体的在与移动方向正交的方向上的宽度窄。

6.根据权利要求5所述的基板的槽加工工具，其中，

所述工具主体的靠所述刀头部侧的部分的在与移动方向正交的方向上的宽度越靠所述刀头部越窄。