[发明专利]一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅制备技术领域，更具体地，本发明涉及一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置。

背景技术

多晶硅生产过程中产生的大量的副产物四氯化硅，直接排放会严重污染环境。如何安全处理四氯化硅已成为制约多晶硅行业发展的“瓶颈”。目前，四氯化硅冷氢化技术解决了多晶硅副产物的问题。

四氯化硅冷氢化技术是在一定的温度、压力下，四氯化硅、氢气以及硅粉和粉末状触媒加入反应器中，将四氯化硅转化为多晶硅生产的原料三氯氢硅，实现了物料的循环利用。由于冷氢化技术运行压力较高，一般在2.0-3.5MPa下运行，而固体物料硅粉及触媒需要从低压装置中加入到高压运行的反应器中，压差较大，而且在高温高压、易燃易爆的工况下，使得该固体物料加入反应器非常困难。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。

为此，本发明的一个目的在于提出一种结构简单、供料方便、安全性高的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置。

根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口，且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。

根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，通过在计量罐上设置气压调节装置，有效解决了从气压较低的储料罐向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题，该供料装置结构简单，使用方便且安全性高。

另外，根据本发明上述实施例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述气压调节装置包括：加压管道，所述加压管道可连通和可闭合地与气源相连以便通过向所述计量罐中通入高压气体来增加所述计量罐中的气压；和泄压管道，所述泄压管道可连通和可闭合地与尾气源相连以便通过向所述尾气源排出所述计量罐中的气体来降低所述计量罐中的气压。

根据本发明的一个实施例，所述加压管道为氢气加压管道。

根据本发明的一个实施例，所述计量罐上还设有氮气管道。

根据本发明的一个实施例，所述储料罐通过第一连通管道与所述计量罐相连，且所述第一连通管道上设有第一阀门以控制所述第一连通管道的开闭。

根据本发明的一个实施例，所述计量罐的物料出口连接有第二连通管道，所述第二连通管道与所述四氯化硅氢化反应器相连接，所述第二连通管道上设有第二阀门以控制所述第二连通管道的开闭。

根据本发明的一个实施例，所述第一阀门和所述第二阀门均为气动盘阀。

根据本发明的一个实施例，所述气动盘阀均包括两台。

根据本发明的一个实施例，所述储料罐位于所述反应器上方。

根据本发明的一个实施例，所述计量罐上设有计量装置以计量所述计量罐内物料含量。

本发明的另一个目的在于提出一种四氯化硅氢化反应设备。

根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应设备，包括：四氯化硅氢化反应器，所述四氯化硅氢化反应器具有固体原料进口和产品出口；和固体原料连续供料装置，所述固体原料连续供料装置为根据上述实施例所述的四氯化硅氢化反应器的固体原料连续供料装置，其中，所述计量罐的物料出口与所述四氯化硅氢化反应器的固体原料进口相连。

根据本发明的一个实施例，所述计量罐位于所述四氯化硅氢化反应器的上方。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置结构示意图；

图2是根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应设备结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。