[发明专利]一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置

权利要求书

1.一种四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，包括相连通的储料罐和计量罐，所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料，其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口，

且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。

2.根据权利要求1所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述气压调节装置包括：

加压管道，所述加压管道可连通和可闭合地与气源相连以便通过向所述计量罐中通入高压气体来增加所述计量罐中的气压；和

泄压管道，所述泄压管道可连通和可闭合地与尾气源相连以便通过向所述尾气源排出所述计量罐中的气体来降低所述计量罐中的气压。

3.根据权利要求2所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述加压管道为氢气加压管道。

4.根据权利要求3所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述计量罐上还设有氮气管道。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述储料罐通过第一连通管道与所述计量罐相连，且所述第一连通管道上设有第一阀门以控制所述第一连通管道的开闭。

6.根据权利要求5所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述计量罐的物料出口连接有第二连通管道，所述第二连通管道与所述四氯化硅氢化反应器相连接，所述第二连通管道上设有第二阀门以控制所述第二连通管道的开闭。

7.根据权利要求6所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述第一阀门和所述第二阀门均为气动盘阀。

8.根据权利要求7所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述气动盘阀均包括两台。

9.根据权利要求1所述的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述储料罐位于所述反应器上方。

10.根据权利要求1所述的四氯化硅氢化反应器的固体原料连续供料装置，其特征在于，所述计量罐上设有计量装置以计量所述计量罐内物料含量。

11.一种四氯化硅氢化反应设备，其特征在于，包括：

四氯化硅氢化反应器，所述四氯化硅氢化反应器具有固体原料进口和产品出口；和

固体原料连续供料装置，所述固体原料连续供料装置为根据权利要求1-9中任一项所述的四氯化硅氢化反应器的固体原料连续供料装置，其中，

所述计量罐的物料出口与所述四氯化硅氢化反应器的固体原料进口相连。

12.根据权利要求11所述的四氯化硅氢化反应设备，其特征在于，所述计量罐位于所述四氯化硅氢化反应器的上方。