[发明专利]一种节能型多晶硅还原炉的真空夹层内胆结构

权利要求书

1.一种节能型多晶硅还原炉的真空夹层内胆结构，包括内胆（1），内胆真空夹层（2），内胆夹层支撑件（3），其特征是内胆真空夹层是封闭的真空结构，且内胆真空夹层内均匀分布2-10环撑件，每个环上均匀分布3-10个撑件。

2.如权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉的真空夹层内胆结构，其特征是内胆真空夹层所用材质是不锈钢，真空夹层的厚度为5mm-100mm。

3.如权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉的真空夹层内胆结构，其特征是内胆夹层支撑件的材质是不锈钢，内胆夹层支撑件的直径为5mm-20mm，内胆夹层支撑件的总个数15-100个，内胆夹层支撑件直接焊接到内胆真空夹层上；内胆夹层支撑件用于支撑内胆内的真空夹层。