[发明专利]半导体设备,制造设备和制造方法无效
申请号: | 201210029542.2 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN102646686A | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 岩渕寿章;清水正彦 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李颖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体设备 制造 设备 方法 | ||
1.一种半导体设备,包括:
布置有成像器件的受光面和第一连接端子的第一板状部件,所述成像器件通过从布置在上面的收集外部光的光收集部分接收入射光来产生图像;
设置有将连接到第一连接端子的第二连接端子的第二板状部件;
由导电材料制成并与第一连接端子接合的导电接合部分;和
连接导电接合部分和第二连接端子的接合线,
其中接合线沿着第一板状部件的平面布置,以致来自接合线的反射光不会入射到受光面。
2.按照权利要求1所述的半导体设备,其中
第一连接端子被布置在凹槽的底部,所述凹槽形成于第一板状部件的布置有受光面的一面;
导电接合部分被压入由凹槽形成的沟槽中,并接合到第一连接端子。
3.按照权利要求1所述的半导体设备,其中
接合线形成为具有突出部,所述突出部从导电接合部分朝着受光面突出,以使导电接合部分与来自光收集部分的入射光隔绝。
4.按照权利要求3所述的半导体设备,其中接合线的突出部形成为具有根据从接合线和导电接合部分之间的连接部位到第一板状部件的距离所确定的长度,以使导电接合部分与来自光收集部分的入射光隔绝。
5.按照权利要求1所述的半导体设备,其中导电接合部分是钉头凸点,或者通过使接合线的尖端部分成球形而形成的金属球。
6.按照权利要求1所述的半导体设备,其中所述接合线贴近所述第一板状部件的平面布置,从而所述接合线被布置在所述第一板状部件上方高度低的位置。
7.一种制造半导体的制造设备,包括:
使由导电材料制成的导电接合部分与设置在第一板状部件上的第一连接端子接合的接合部分,所述第一板状部件上面布置有成像器件的受光面和第一连接端子,所述成像器件通过从收集外部光的光收集部分接收入射光来产生图像;和
线布置部分,所述线布置部分用于沿着第一板状部件的平面布置连接到导电接合部分的接合线,以致来自接合线的反射光不会入射到受光面。
8.按照权利要求7所述的制造设备,其中
第一连接端子被布置在凹槽的底部,所述凹槽形成于第一板状部件的布置有受光面的一面;
通过把导电接合部分压入由凹槽形成的沟槽中,接合部分使导电接合部分与第一连接端子接合。
9.按照权利要求7所述的制造设备,其中
线布置部分布置接合线,并形成具有从导电接合部分朝着受光面突出的突出部的接合线。
10.按照权利要求9所述的制造设备,其中线布置部分形成具有突出部的接合线,以致突出部具有根据从接合线和导电接合部分之间的连接部位到第一板状部件的距离所确定的长度。
11.按照权利要求7所述的制造设备,其中所述接合线贴近所述第一板状部件的平面布置,从而所述接合线被布置在所述第一板状部件上方高度低的位置。
12.一种由制造半导体的制造设备执行的制造方法,包括:
使由导电材料制成的导电接合部分与设置在第一板状部件上的第一连接端子接合,所述第一板状部件上面布置有成像器件的受光面和第一连接端子,所述成像器件通过从收集外部光的光收集部分接收入射光来产生图像;和
沿着第一板状部件的平面布置连接到导电接合部分的接合线,以致来自接合线的反射光不会入射到受光面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的