[发明专利]含易挥发组分多元化合物红外非线性单晶的退火方法

权利要求书

1.含易挥发组分多元化合物红外非线性晶体材料的退火方法，其特征在于包括以下步骤：

①设计并制作三段退火炉，分为退火区，梯度区和高温区；

②去离子水清洗并烘干石英坩埚，将欲退火晶片置于坩埚的一端，多晶料放入镀碳小舟并置于所述坩埚的另一端，室温下抽真空至10^-3Pa时熔封该坩埚；

③将所述熔封后的石英坩埚置入所述三段退火炉内，将该石英坩埚装有多晶料的一端置于高温区内，将该石英坩埚装有退火晶片一端置于退火区内；所述高温区以10～50℃/h的速率升至晶体熔点以下50～100℃，所述退火区以相应的升温速率升至晶体熔点以下150～400℃，所述梯度区保持其温度在高温区与低温区之间随位置线性变化，升温完成后进入恒温阶段，保持炉体温度不变并持续100～200h进行晶体退火；

④以10～50℃/h的降温速率将高温区匀速降至室温，同时低温区、梯度区温度也在该段时间内匀速降至室温，将晶片从石英坩埚中取出，即完成整个退火过程。

2.根据权利要求1所述含易挥发组分多元化合物红外非线性晶体材料的退火方法，其特征在于：所述多晶料为所述欲退火晶片的近化学计量比多晶原料。

3.根据权利要求1所述含易挥发组分多元化合物红外非线性晶体材料的退火方法，其特征在于：所述多晶料为多晶粉末。

4.根据权利要求1所述含易挥发组分多元化合物红外非线性晶体材料的退火方法，其特征在于：所述三段退火炉的退火区，梯度区和高温区的长度分别为30cm、20cm和30cm。