[发明专利]SiCN/TiCN多层膜刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210010276.9 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534492A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 邵天敏;魏松波 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B23B27/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | sicn ticn 多层 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体上，依次交替沉积TiCN层和SiCN层，紧贴刀具基体的是TiCN层，最外层为SiCN层。
2.根据权利要求1所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：采用气相沉积法沉积所述TiCN层和SiCN层。
3.根据权利要求1所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：所述的SiCN层和TiCN层中，各元素百分比含量可变。
4.根据权利要求2所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：所述的SiCN层和TiCN层中，各元素百分比含量可变。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：每一单TiCN层和SiCN层的厚度可根据具体要求确定。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：TiCN层和SiCN层交替沉积的次数可根据具体要求确定。
7.根据权利要求5所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：TiCN层和SiCN层交替沉积的次数可根据具体要求确定。
8.根据权利要求1或2或3或4或7所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：刀具基体为硬质合金材料。
9.一种如权利要求1～8之一所述SiCN/TiCN多层膜刀具涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a.预处理：对刀具基体进行清洗，去除表面的油污及其他附着物，吹干后放入镀膜机中，抽真空至预先设定的真空度；
b.溅射清洗：用离子清洗刀具基体表面；
c.沉积TiCN层：利用气相沉积方法沉积TiCN层，通过控制沉积参数控制TiCN层厚度；
d.沉积SiCN层：利用气相沉积方法沉积SiCN层，通过控制沉积参数控制SiCN层厚度；
e.重复c、d步骤，最后保证最外层为SiCN层；
f.后处理：根据需要对沉积的涂层进行原位退火或在一定真空度下自然冷却至室温；
g.关闭真空设备，涂层沉积完成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210010276.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
