[发明专利]一种用于模拟颗粒沉积成型的试验装置及方法有效
申请号: | 201210009218.4 | 申请日: | 2012-01-12 |
公开(公告)号: | CN102534453A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 李辉;王本鹏;班书英;马司鸣;魏琪;栗卓新 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C23C4/00 | 分类号: | C23C4/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 模拟 颗粒 沉积 成型 试验装置 方法 | ||
1.一种模拟颗粒沉积成型的试验装置,包括升降台装置、熔化装置、脉冲气体控制系统以及控温预热装置,其特征在于,所述的升降台装置包括丝杠(1)、光杆(2)、滑块(3)、升降平台(4)、底部平台(5),丝杠(1)与光杆(2)通过滑块(3)连接,垂直固定在底部平台(5)上,升降平台(4)连接在滑块(3)上,所述的熔化装置固定在升降平台(4)上,它包括钨坩埚(6)、铜坩埚(8)、以及电弧加热设备(12),电弧加热设备(12)的钨极(10)从铜坩埚(8)顶部穿过,固定在靠近钨坩埚(8)内壁处,钨坩埚(6)底部开孔(7),放置在铜坩埚(8)内部并与之固定,铜坩埚(8)的底部布置环形水冷槽(11),侧壁连接三通气阀(13)分为两路,一路先经过脉冲气体控制系统(14),然后经过减压阀(15)与氩气气瓶(16)连接,一路经过减压阀(15)直接与氩气气瓶(16)连接,在钨坩埚(6)正下方的底部平台(5)上固定控温预热装置,包括加热设备(21)、热电偶(20)以及温控仪(17),在加热设备(21)的上方放置基体(19),热电偶(20)固定在基体(19)上表面,然后与温控仪(17)连接。
2.根据权利要求1所述的一种模拟颗粒沉积成型的试验装置,其特征在于,所述铜坩埚(8)顶部预置观察窗口(9)。
3.根据权利要求1所述的一种模拟颗粒沉积成型的试验装置,其特征在于,所述钨坩埚(6)底部的孔(7)直径范围在1.5~3mm之间。
4.根据权利1所述的一种模拟颗粒沉积成型的试验装置,其特征在于,所述脉冲气体控制系统(14)脉冲频率在1~100Hz之间。
5.应用权利要求1所述的一种模拟颗粒沉积成型的试验装置进行模拟颗粒成型的方法,包括以下工艺步骤:
1)在钨坩埚中加入需熔炼的材料,并密封;
2)调整升降台到预定高度,打开氩气瓶向钨坩埚内充入氩气;
3)待钨坩埚内空气排尽后,接通冷却水,启动电弧加热设备,在钨极与钨坩埚内壁间起弧熔化坩埚内材料;
4)待材料完全熔化后,启动脉冲气体控制系统,向钨坩埚内通入氩气,氩气流量15~20L/min,使钨坩埚与外界达到较大压差,从而使熔融金属从钨坩埚底部的孔喷射出,通过脉冲气体控制系统,调整氩气的注入方式实现熔滴的逐滴喷射或连续喷射;
5)根据摄像装置所拍摄的熔滴图像计算出熔滴的直径,调整脉冲频率和氩气流量,从而获得设定尺寸的均匀熔滴。
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