[发明专利]片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及对铝电解电容器用的铝箔等片状工件连续地进行处理的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法。

背景技术

作为对长条的片状工件连续地进行处理的片状工件连续处理装置，代表性的装置有在盐酸等处理液中对铝电解电容器用的铝箔等进行电解的连续蚀刻装置。在该连续蚀刻装置中，沿着铝箔的移动方向以水平姿势配置有多个辊，利用这样的辊规定铝箔的移动路径。并且，利用以水平姿势配置在蚀刻槽内的底部的辊，使铝箔以在上下方向若干次折返的方式进行移动，在此期间对铝箔进行蚀刻(参照专利文献1)。

另外，在生产铝电解电容器用的阳极箔的连续化成装置中，也同样地沿着铝箔的移动方向以水平姿势配置有多个辊，利用这样的辊规定铝箔的移动路径，并且，利用以水平姿势配置在化成槽内的底部的辊使铝箔以在上下方向若干次折返的方式进行移动，在此期间对铝箔进行化成。

专利文献1：日本特开2007-59827号公报(图1)

发明内容

但是，如现有的连续蚀刻装置和连续化成装置那样，在通过以水平姿势配置的辊使铝箔在上下方向若干次折返的结构的片状工件连续处理装置中，在切断了铝箔(片状工件)情况下，存在使铝箔再次通过蚀刻槽内或化成槽内的辊而要花费大量时间的问题。

另外，如现有的连续蚀刻装置和连续化成装置那样，在通过以水平姿势配置的辊使铝箔在上下方向若干次折返的结构的情况下，存在铝箔的质量下降的问题。例如，在连续蚀刻装置的情况下，在通过辊折返的部分，成为电极不相对的无电解蚀刻状态而产生无用的溶解，使蚀刻倍率降低。另外，在连续化成装置的情况下，在通过辊折返的部分，对化成模(阳极氧化膜)施加过大的负荷而产生裂纹，这样的裂纹成为漏电流增大的原因。

鉴于以上的问题点，本发明的目的在于，提供一种片状工件连续处理装置，即使在连续处理中片状工件切断后，也能够容易地进行复原，并能够将片状工件的折返次数抑制在最小限度。

为了解决上述课题，本发明的片状工件连续处理装置的特征在于，包括：

将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，沿它们的长度方向连续送出的工件送出部；和

使从所述工件送出部送出的所述多个片状工件，在以所述宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，连续通过处理液内的处理液贮存部。

另外，本发明的片状工件连续处理方法的特征在于，将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，沿其长度方向连续送出，使已送出的所述多个片状工件在以所述宽度方向朝向所述上下方向的姿势互而相并列的状态下，在贮存于处理液贮存部的处理液中连续地通过。

本发明的“片状工件”是厚度尺寸比宽度尺寸小的工件，对厚度尺寸没有特别限定。通常，从数μm的薄膜状工件到数100μm的板状工件之间的厚度尺寸的工件均包含在片状工件中。另外，本发明的“连续送出”包括片状工件不停止地以规定的移动速度连续送出的情况、和片状工件定期或非定期地暂停并送出的情况(间歇性送出的情况)。

本发明的片状工件连续处理装置和片状工件连续处理方法中，将多个长条的片状工件在以其宽度方向朝向上下方向的姿势而相互并列的状态下，连续地送出，并保持该状态使其在处理液中连续地通过。因此，由于不利用以水平姿势配置的辊使片状工件向上下方向若干次折返，因此即使在切断片状工件的情况下，使片状工件在处理液中再次通过也不需要大量时间。另外，由于片状工件保持其宽度方向朝向上下方向的姿势，因此出入处理液中不需要通过辊等若干次折返。因此，可以将片状工件的折返次数抑制在最小限度，因此能够抑制因片状工件的折返而造成的质量下降。另外，本发明中，与通过以水平姿势配置的辊使片状工件在处理液中在上下方向若干次折返的情况相比较，同时浸渍于处理液内的片状工件的长度变短，但由于同时处理多个片状工件，因此可以避免生产力的显著下降。

在本发明中，优选所述处理液贮存部包括：在所述片状工件的移动方向的上游侧具有使所述片状工件通过的入侧缝隙的入侧壁部分；和在所述片状工件的移动方向的下游侧具有使所述片状工件通过的出侧缝隙的出侧壁部分。在将宽度方向朝向上下方向使片状工件移动并进行处理的情况下，在从片状工件进入处理液贮存部的部位和片状工件离开处理液贮存部的部位产生处理液的渗漏，但如果片状工件进入处理液贮存部的部位和片状工件离开处理液贮存部的部位形成为缝隙状，就能够将处理液的渗漏抑制得较小。