[发明专利]凸轮式盘状物夹持装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种凸轮式盘状物夹持装置。

背景技术

在集成电路的生产工艺中，夹紧盘状物，比如晶片、硅片，是各个生产阶段中的重要环节。传统的方法大都是使用复杂的机械连接来夹紧和移动夹持件。固定夹持件最重要的三个阶段包括：装载盘状物，这时夹持件处于打开状态；旋转盘状物，这时夹持件处于夹紧盘状物的状态；卸载盘状物，这时夹持件处于打开状态。这种比较传统的夹持盘状物的方法通常依靠许多活动部件在卡盘外部接触盘状物，但是在卡盘旋转时会产生许多颗粒，当盘状物从夹持件上取下时，颗粒会污染到盘状物。

传统方法在某些情况下固定盘状物通常通过电动或气动方式来实现。这些方法通常需要复杂的机械结构在适当的时刻来控制和移动夹持件。此外，采用气动方法需要靠近卡盘，这将需要特殊而昂贵的轴联动旋转系统。许多传统方法设计出的夹持件会受到高速旋转产生的离心力的影响，不得不超标准设计，或是在更换时，需要更短的时间。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何方便、简单的实现盘状物的夹持，而不需复杂的结构和昂贵的部件。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：

凸轮；

卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；

夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。

进一步地，所述卡盘中的延长杆上套设有第一弹簧，所述第一弹簧远离凸轮的一端连接有第一垫圈，所述第一垫圈套设在延长杆上且能够与延长杆相对运动，所述第一弹簧靠近凸轮的一端连接有与所述延长杆固定连接的第二垫圈。

进一步地，还包括：套设在所述延长杆上的第二弹簧，所述第二弹簧位于第二垫圈和凸轮之间，所述第二弹簧靠近凸轮的一端还连接有第三垫圈，所述第三垫圈能够与延长杆相对运动。

进一步地，所述第一弹簧和第二弹簧在静态时为部分压缩状态。

进一步地，还包括：设置在所述卡盘上的支撑件。

进一步地，所述夹持机构的个数至少为三个，均匀设置在所述卡盘上。

进一步地，还包括：耐腐蚀材料制作的套管，套设在所述延长杆上。

进一步地，所述夹持件朝向卡盘内部方向具有凹槽。

进一步地，所述卡盘与驱动装置连接。

进一步地，所述延长杆与凸轮接触的端部为半球形。

(三)有益效果

本发明实施例提供的凸轮式盘状物夹持装置具有如下有益效果：

1、通过设置凸轮和带弹簧的夹持机构，能够方便、快捷的夹持盘状物；两个弹簧提供的力即可实现夹持机构的开合；

2、夹持件与延长杆可拆卸式连接，方便夹持件的更换；

3、延长杆采用一定强度材料制作，并且弹簧对延长杆具有往回拉的力，能够有效防止夹持机构在离心力的作用下变形打开，避免盘状物飞出；同时具有较强的耐磨性；

4、弹簧等部件位于卡盘内部，由卡盘起到很好的保护作用，消除其运动产生的颗粒附着在盘状物上；

5、本装置结构简单、价格低廉、易于实现。

附图说明

图1是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置的结构示意图；

图2是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置的部分结构示意图；

图3是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置的部分剖视图；

图4是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置在凸轮下降时的示意图；

图5是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置在凸轮上升时的示意图；

图6是本发明实施例的凸轮式盘状物夹持装置的部分俯视图。

其中，1：盘状物；2：卡盘；3：夹持机构；4：凸轮；5：夹持件；6：凹槽；7：支撑件；8：套管；9：延长杆；11：第一弹簧；13：第二弹簧；12：第二垫圈；14：第三垫圈；15：第一垫圈。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1-图6所示，为本发明实施例提供的凸轮式盘状物夹持装置的结构示意图，其包括卡盘2、夹持机构3和凸轮4。

其中卡盘2为圆形盘，能够在电机等驱动装置的驱动下旋转，其下方中心安装有凸轮4。