[发明专利]凸轮式盘状物夹持装置有效
申请号: | 201210004761.5 | 申请日: | 2012-01-09 |
公开(公告)号: | CN102593033A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 凯里·雷;贾星杰;吴仪;王波雷;张豹 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜;王莹 |
地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 凸轮 式盘状物 夹持 装置 | ||
1.一种凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,包括:
凸轮;
卡盘,其下方中心与所述凸轮连接;
夹持机构,均设置在所述卡盘上,包括L型延长杆,所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触,另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。
2.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述卡盘中的延长杆上套设有第一弹簧,所述第一弹簧远离凸轮的一端连接有第一垫圈,所述第一垫圈套设在延长杆上且能够与延长杆相对运动,所述第一弹簧靠近凸轮的一端连接有与所述延长杆固定连接的第二垫圈。
3.如权利要求2所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,还包括:套设在所述延长杆上的第二弹簧,所述第二弹簧位于第二垫圈和凸轮之间,所述第二弹簧靠近凸轮的一端还连接有第三垫圈,所述第三垫圈能够与延长杆相对运动。
4.如权利要求3所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述第一弹簧和第二弹簧在静态时为部分压缩状态。
5.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,还包括:设置在所述卡盘上的支撑件。
6.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述夹持机构的个数至少为三个,均匀设置在所述卡盘上。
7.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,还包括:耐腐蚀材料制作的套管,套设在所述延长杆上。
8.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述夹持件朝向卡盘内部方向具有凹槽。
9.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述卡盘与驱动装置连接。
10.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置,其特征在于,所述延长杆与凸轮接触的端部为半球形。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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