[发明专利]集成调度系统的EFEM及其调度方法

说明书

技术领域

本发明涉及自动化控制设备及调度方法，尤其是指一种集成调度系统的EFEM及其调度方法。

背景技术

现有的半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)自身包括一个控制系统，该控制系统负责对半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)中预对准机构、大气机器手、Load Port组以及按钮、指示灯等半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)本体内的设备进行调度。半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)后边还需对接的工艺处理设备从而构成一个工艺处理工作站(Cluster tools)，其中工艺处理设备还会有一个独立的控制器及相应的控制软件，而对于由半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)和工艺处理设备所组成的整个工艺处理工作站(Cluster tools)而言，为协调两者的工作，必须额外架设一个作为总控的工控机进行调度作用，这个工控机上的控制软件需要用户进行二次开发，并且该工控机还需要跟半导体加工前端传输单元(EFEM-Equipment Frond-End Module)及工艺处理设备的控制器进行通信。如此三个控制系统的架构导致用户开发工作量巨大，网络架构繁琐，导致整套系统调试开发时间过长。

发明内容

本发明的目的在于克服了上述缺陷，提供一种集成调度系统的EFEM及其调度方法。

本发明的目的是这样实现的：一种集成调度系统的EFEM，包括集成调度的EFEM工控机、大气机器手、预对准模块(Aligner)、风机滤器模块、以太网交换机、DeviceNet总线通讯模块、I/O模块、现场级设备及Load Port(自动化晶圆载入系统)组；

集成调度的EFEM工控机，用于对EFEM系统整体进行调度及EFEM工控机的本体控制；集成调度的EFEM工控机承担工艺处理工作站(Cluster tools)的调度控制任务，对EFEM系统中的大气机器手轨迹进行规划和调度；对预对准模块的对准功能进行控制；对Load port的开门、检测晶圆、关门进行控制；根据压差传感器对风机滤器模块中的FFU(高效过滤器)进行控制；以及通过Load Lock(过渡腔)对后端设备中的真空机器手进行轨迹规划、动作控制；协调大气机器手与Load Port、大气机器手与预对准模块、大气机器手与过渡腔、过渡腔与真空机器手之间的动作配合；

所述大气机器手，用于执行Load Port组上的晶圆盒和预对准模块、过渡腔之间的晶圆搬运任务；

所述预对准模块，用于把从晶圆盒中取出的晶圆进行对正，以保证所有晶圆在被放到下一工位时都是一样的位置；

所述风机滤器模块，用于过滤粉尘颗粒，同时保证EFEM内部气压相对EFEM外部气压处于正压，使EFEM内空气向EFEM外流动，保证EFEM内部空气处于洁净环境；

所述以太网交换机，用于连接EFEM中支持以太网通信的设备，为其提供数据交换功能；

所述DeviceNet总线通讯模块，通过DeviceNet总线与集成调度的EFEM工控机相连；

所述I/O模块，用于采集现场级设备的信号；

所述现场级设备，用于执行集成调度的EFEM工控机及逻辑控制设备发出的命令的执行设备；

所述Load Port组，用于装载晶圆盒，是晶圆进出机台的窗口；

所述集成调度的EFEM工控机与大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机及DeviceNet总线通讯模块相连；所述以太网交换机连接I/O模块及Load Port组。

一种专用于上述EFEM的调度方法，它包括步骤，

A)、是否运行在自动模式，是则继续步骤，否则执行步骤A1-A3，

A1)、启动手动模式，开启手动进程及安全回路判断进程；

A2)、通知分设备进入手动模式，给包括大气机器手预对准模块第一风机滤器模块、第二风机滤器模块的分设备发手动模式信号；

A3)、判断是否退出手动模式，否则返回步骤A2，是则返回步骤A；

B)、启动自动模式；

C)、是否有安全中断，否则继续，是则执行步骤C1-C3，