[发明专利]集成调度系统的EFEM及其调度方法

权利要求书

1.一种集成调度系统的EFEM，其特征在于：包括集成调度的EFEM工控机、大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机、DeviceNet总线通讯模块、I/O模块、现场级设备及Load Port组；

集成调度的EFEM工控机，用于对EFEM系统整体进行调度及EFEM工控机的本体控制；集成调度的EFEM工控机承担工艺处理工作站的调度控制任务，对EFEM系统中的大气机器手轨迹进行规划和调度；对预对准模块的对准功能进行控制；对Load port的开门、检测晶圆、关门进行控制；根据压差传感器对风机滤器模块中的FFU进行控制；以及通过Load Lock对后端设备中的真空机器手进行轨迹规划、动作控制；协调大气机器手与Load Port、大气机器手与预对准模块、大气机器手与过渡腔、过渡腔与真空机器手之间的动作配合；

所述大气机器手，用于执行Load Port组上的晶圆盒和预对准模块、过渡腔之间的晶圆搬运任务；

所述预对准模块，用于把从晶圆盒中取出的晶圆进行对正，以保证所有晶圆在被放到下一工位时都是一样的位置；

所述风机滤器模块，用于过滤粉尘颗粒，同时保证EFEM内部气压相对EFEM外部气压处于正压，使EFEM内空气向EFEM外流动，保证EFEM内部空气处于洁净环境；

所述以太网交换机，用于连接EFEM中支持以太网通信的设备，为其提供数据交换功能；

所述DeviceNet总线通讯模块，通过DeviceNet总线与集成调度的EFEM工控机相连；

所述I/O模块，用于采集现场级设备的信号；

所述现场级设备，用于执行集成调度的EFEM工控机及逻辑控制设备发出的命令的执行设备；

所述Load Port组，用于装载晶圆盒，是晶圆进出机台的窗口；

所述集成调度的EFEM工控机与大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机及DeviceNet总线通讯模块相连；所述以太网交换机连接I/O模块及Load Port组。

2.如权利要求1所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述DeviceNet总线通讯模块通过DeviceNet总线与集成调度的EFEM工控机相连，通过以太网与外部工艺设备控制器相连。

3.如权利要求2所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述DeviceNet总线通讯模块基于CAN技术的通信网络。

4.如权利要求1-3任意一项所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述集成调度的EFEM工控机与大气机器手及预对准模块间通过串口通讯连接。

5.如权利要求1-3任意一项所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述集成调度的EFEM工控机与风机滤器模块通过串口通讯连接。

6.如权利要求4所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述风机滤器模块包括第一风机滤器单元和第二风机单元，第一风机滤器单元和第二风机单元分别通过串口通讯与集成调度的EFEM工控机相连，两者接受集成调度的EFEM工控机的调度，并彼此间进行数据交互。

7.如权利要求1-3任意一项所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述集成调度的EFEM工控机与以太网交换机间通过以太网相连；所述以太网交换机与I/O模块及Load Port组通过以太网相连。

8.如权利要求1-3任意一项所述的集成调度系统的EFEM，其特征在于：所述现场级设备包括塔灯、按钮及指示灯。

9.一种专用于上述EFEM的调度方法，其特征在于：它包括步骤，

A)、是否运行在自动模式，是则继续步骤，否则执行步骤A1-A3，

A1)、启动手动模式，开启手动进程及安全回路判断进程；

A2)、通知分设备进入手动模式，给包括大气机器手预对准

模块第一风机滤器模块、第二风机滤器模块的分设备发手

动模式信号；

A3)、判断是否退出手动模式，否则返回步骤A2，是则返回步骤A；

B)、启动自动模式；

C)、是否有安全中断，否则继续，是则执行步骤C1-C3，

C1)、设备急停，给机器人发急停信号，并通过I/O模块切断机器人安全回路；给Load Port组发急停信号，然后通过延时继电器给Load Port组下电；通过I/O模块把风机滤器模块下电；

C2)、故障是否排除，启动故障是否排除进程，实时检测急停是否复位，否则返回步骤C1，是则继续；

C3)、是否继续运行，实时检测是否收到操作者继续运行操作，否则返回步骤A，是则返回步骤C；

D)、执行工艺；

E)、执行调度，对大气机器手及Load Port之间动作配合和进行控制，使大气机器手从FOUP中取出晶圆，完成动作后在使大气手把晶圆放在预对准机构上，对准完成后，大气手把晶圆放入过渡腔，由真空手把过渡腔中的晶圆放入工艺加工腔中，此过程中对有空闲的工艺加工腔数量进行统计，以便于对晶圆进行入过渡腔调度还是进行晶圆出过渡腔调度程序进行选择；采集压差传感器信号，对比实际压差值是否符合设定值，如不符合设定值根据设定值对高效过滤器进行控制；

F)、是否退出自动模式，否则返回步骤C，是则返回步骤A。