[实用新型]一种提高旋转陶瓷靶烧结变形的垫板

说明书

技术领域

本实用新型属于溅射用旋转陶瓷靶材生产技术领域，涉及一种在烧结过程中能够有效减少烧结变形和开裂，提高烧结制品合格率的提高旋转陶瓷靶烧结变形的垫板。

背景技术

旋转靶材具有利用率高的特点，使之在市场上日趋得到重视。旋转陶瓷靶一般是由粉料经过压制得到生坯，生坯经过烧结并后期加工获得。烧结方式一般是直接将待烧结陶瓷生坯直接放置于烧结窑炉的承烧板上，由于陶瓷生坯在烧结收缩过程中，与烧结炉承烧板存在摩擦阻碍，会引起上下收缩不同步，造成旋转陶瓷靶呈喇叭状（上面小下面大），严重时会导致产品开裂。虽然在生坯与承烧板之间均匀洒上耐高温砂能够减少摩擦，但在烧结大尺寸靶材时，摩擦导致的收缩不一致造成的开裂现象依然存在。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供一种在烧结过程中能够有效减少烧结开裂，提高烧结制品合格率的垫板，最大限度的减小了摩擦，保证了上下收缩度，提高了烧结产品良品率的提高旋转陶瓷靶烧结变形的垫板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高旋转陶瓷靶烧结变形的垫板，在烧结炉的承烧板上面设有垫板，在垫板上面置有旋转陶瓷靶材生坯。

在承烧板与垫板之间、以及垫板与靶材生坯之间装有高温砂。

本实用新型的有益效果是：在旋转陶瓷靶材生坯下方放置一辅助收缩的垫板，该垫板与承烧板以及陶瓷生坯之间均用高温砂隔开，在随同烧结时垫板与陶瓷靶材生坯同时同向收缩，确保靶材与垫烧板始终处于相对静止的位置，从而最大限度消除了摩擦，提高了陶瓷靶材烧结产品合格率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1-待烧的陶瓷靶材生坯，2-垫板，3-高温砂，4-承烧板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

参见图1，一种提高旋转陶瓷靶烧结变形的垫板，在烧结炉的承烧板4上面放上垫板2，再在垫板2上面放上旋转陶瓷靶材生坯1，在承烧板4、垫板2、靶材生坯1之间要洒上高温砂3，随后升温烧结，烧结完成后，烧结制品上下收缩一致，喇叭形态现象得到有效避免。

采用本实用新型，在烧结过程中，能最大限度消除了靶材生坯在收缩过程中与支撑垫板之间的摩擦，提高了陶瓷靶材烧结产品合格率；能保证旋转陶瓷生坯烧结后烧结产品上下收缩一致，产品质量得到有效提高。