[发明专利]用于连续制造金属薄膜太阳能电池的淀积设备及方法

权利要求书

1.一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备，其特征在于：所述设备包括一个大型真空腔室及其附属真空排气装置；隔绝在所述真空腔室里至少有如下装置：连续性金属薄膜自动出料展料系统及收料系统；淀积反应区；金属气体淀积反应器，及其用于均匀喷洒有机金属气体的喷口组合；基材加热平台；其中所述淀积反应区位于所述出料展料系统和收料系统之间，所述金属气体淀积反应器及其用于喷洒有机金属气体的喷口组合位于所述淀积反应区的上方，所述的淀积反应区的下方设置所述加热平台。

2.根据权利要求1所述的一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备，其特征在于所述的金属气体淀积反应器包括至少二套N型有机金属气体淀积反应器和至少二套P型有机金属气体淀积反应器，各套所述金属气体混合反应器在所述真空腔室内的所述淀积反应区的上方依次呈N-P-N-P-N…型依次交错纵向、间隔分布。

3.根据权利要求2所述的一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备，其特征在于所述的金属气体淀积反应器包括三套N型有机金属气体淀积反应器和兩套P型有机金属气体淀积反应器，五套所述金属气体混合反应器在所述真空腔室内的所述淀积反应区的上方依次呈N-P-N-P-N型纵向、间隔分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备，其特征在于靠近所述收料系统处的所述真空腔室外壁设置有观测窗口，并在所述的长型真空腔室内设置有真空计和温度量测系统用以量测并控制加热平台温度。

5.一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积方法，涉及权利要求1-4任一项所述设备，其特征在于，所述方法至少包括下列步骤：所述连续性金属薄膜自动出料展料系统以可控制的速度缓缓释放展开出金属薄膜, 金属薄膜被拉引经过所述淀积反应区，所述金属气体淀积反应器及其用于喷洒有机金属气体的喷口组合将混合的有机金属气体均匀喷洒至金属薄膜表面，有机金属气体淀积并反应成砷化镓材料层，金属薄膜加热平台以直接接触的方式加热金属薄膜，被加热至一个设定的温度，以便促成有机金属气体淀积并反应，经过连续几次反应过后已成长数层异电性界面的金属薄膜被所述收料系统卷收起来。

6.根据权利要求5所述的一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积方法，其特征在于所述出料展料系统展开金属薄膜的速度与收料系统卷收金属薄膜的速度匹配，由此速度来控制成长太阳能电池之厚度。