[发明专利]一种栅极电介质材料及其制备方法有效
申请号: | 201110345065.6 | 申请日: | 2011-11-04 |
公开(公告)号: | CN102503400A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 侯育冬;司美菊;朱满康;葛海燕;严辉 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C04B35/44 | 分类号: | C04B35/44;C04B35/50;C04B35/622 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 沈波 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 栅极 电介质 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种栅极电介质材料,其特征在于,其组成为(1-x)LaAlO3-x BiAlO3,0.05≤x≤0.2,形成一种多元固溶体系LaAlO3-BiAlO3,BiAlO3的量占基体摩尔数为5-20%。
2.权利要求1所述的一种栅极电介质材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤
1)将原料La2O3、Al2O3、Bi2O3,按化学式(1-x)LaAlO3-x BiAlO3进行配料及混合,得到混合物粉体,0.05≤x≤0.2;
2)以无水乙醇为介质将混合物球磨8-24小时,出料并干燥后,以3-8℃/min升温至1090-1120℃下进行预合成,保温2~4小时;预合成得到的料,以无水乙醇为介质、再次球磨9~12小时,出料并干燥;粉料中加入粉料质量5%的粘胶剂溶液,以40-60MPa压力挤压成圆片,其中粘胶剂溶液为质量浓度为18%的聚乙烯醇溶液;
3)圆片在560~580℃下保温2~4小时排塑,升温速率为1~5℃/min;然后将圆片置于氧化铝坩埚中,密闭烧结,烧结温度为1310~1330℃,保温时间为3~5小时,即得陶瓷片。
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