[发明专利]光波导用树脂组合物以及使用其的光波导

说明书

技术领域

本发明涉及作为构成光波导的芯部的形成材料所使用的光波导用树脂组合物以及使用该树脂组合物的光波导。详细地说，涉及容易通过碱显影液形成芯图案的光波导形成用树脂组合物、以及使用该树脂组合物的光波导。

背景技术

光波导被装入光波导器件、光集成电路、光布线基板等光器件中，在光通信、光信息处理、其它一般光学领域中被广泛使用。光波导中，通常，作为光的通路的芯被形成为规定图案，以覆盖该芯的方式形成有下包层和外包层。

在将这些芯、下包层和外包层形成为规定图案的情况下，通常，使用各种形成材料。例如，将上述芯形成图案时，使用感光性高分子材料，如下述那样形成芯。即，使用下述方法：使用上述感光性高分子材料在下包层上形成涂膜层，隔着图案薄膜对该涂膜层照射紫外线进行曝光，接着，用溶剂类将未曝光部除去而将芯形成为图案状。这种芯形成方法简便并且适合低成本化，但是，为了图案化需要像上述那样使用溶剂，作业上的安全和对环境的负担成为问题。

基于这样的背景，为了作为可以代替溶剂通过碱显影液形成芯图案的上述芯形成材料而使用，目前开发出了含有碱可溶性树脂、光聚合引发剂和环氧树脂的光固化性·热固化性树脂组合物作为碱显影型光波导形成材料(参照专利文献1)。

在使用这样的成为碱显影型光波导形成材料的光固化性·热固化性树脂组合物形成芯图案后，通过热固化使碱可溶性树脂中的酸性官能团羧基和环氧树脂中的环氧基进行酯化，由此期待耐热性和耐湿性等可靠性的特性提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-338202号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，上述专利文献1记载等的作为光固化性·热固化性树脂组合物的构成成分的环氧树脂不具有作为酸性官能团的羧基，对碱显影液为不溶成分。因此，显影后的碱显影液中产生作为不溶成分的悬浮物、沉淀物等，作为显影液的效率变坏，从溶液管理方面来看，批量生产性降低是课题。进而，在使用产生了上述作为不溶成分的悬浮物、沉淀物的状态的碱显影液连续进行显影的情况下，产生悬浮物再附着到芯图案表面而不能得到良好形状的图案的问题。

本发明是鉴于该情况而进行的，其目的在于提供容易通过碱显影液形成芯图案、能抑制此时碱显影液的劣化并能期待生产率的提高的光波导用树脂组合物以及使用该树脂组合物的光波导。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，本发明的第一要点在于一种光波导用树脂组合物，其以下述的(A)成分为主要成分，并含有用于其固化的下述(B)成分，

(A)具有下述通式(1)所示的结构单元的碱可溶性树脂，

(B)光聚合引发剂，

[化学式1]

在上述式(1)中，R₁、R₂、R₃是氢原子或甲基，彼此可以相同也可以不同；另外，R₅、R₆是氢原子或甲基，彼此可以相同也可以不同；另外，R₄是而且，m+n+p＝1，并且m＞0，n＞0，p＞0。

而且，本发明的第二要点在于一种光波导，其具有基板和形成于该基板上的包层，在上述包层中形成有传输光信号的芯部，上述芯部是由上述第一要点的光波导用树脂组合物形成的。

即，本发明人等寻求一种可以作为构成光波导的芯的形成材料利用的树脂组合物，反复进行了深入研究。在其研究的过程中想到，若使用具备在一分子中具有(甲基)丙烯酰基、羧基、环氧基、羟基这些所有的官能团的结构的化合物，不是就不产生前述的问题而且不产生因碱显影引起的不溶成分了吗，为了找到这样的化合物又进行了深入研究。结果发现，作为光波导用树脂组合物的构成成分而使用具有前述通式(1)所示的特殊结构单元的碱可溶性树脂时，该碱可溶性树脂具备在一分子中具有(甲基)丙烯酰基、羧基、环氧基、羟基所有的官能团的特殊结构，因此，在碱显影液中不产生作为不溶成分的悬浮物、沉淀物等，结果能解决上述不溶成分附着到所形成的芯图案表面的问题，得到形成了良好形状的芯图案的光波导，从而实现了本发明。

发明的效果