专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体加工用带-CN201780074787.8有效
  • 横井启时;松原侑弘 - 古河电气工业株式会社
  • 2017-12-05 - 2023-07-14 - H01L21/301
  • 其为通过扩张将粘接剂层沿着半导体芯片截断时所用的半导体加工用带,其中,该半导体加工用带依次具有基材膜、粘合剂层和粘接剂层,上述基材膜的MD和TD的5%伸长时的应力值均为5MPa以上,MD和TD的5%伸长时的拉伸强度均为10N/25mm~30N/25mm,并且厚度为70μm~150μm,上述粘接剂层的厚度为40μm以上,25℃下的储能弹性模量为2,000MPa以下。
  • 半导体工用
  • [发明专利]阴极装置以及溅射装置-CN201980004189.2有效
  • 田代征仁;中野贤明 - 株式会社爱发科
  • 2019-10-03 - 2021-03-09 - C23C14/35
  • 阴极装置(20)具备:旋转板(26),其固定有磁路(27);旋转机构(21),其接受电机(21M)的动力,使旋转板(26)绕旋转轴(25)旋转;直线运动型并行连杆机构(22~24),其具备将旋转轴(25)支承为能够旋转的末端执行器(24)、前端与末端执行器(24)连接且从末端执行器(24)以放射状延伸的六根连杆(23)、分别接受直线运动致动器(22M)的动力而使相邻的两根连杆(23)的基端沿着一方向移动的三个直线运动机构(22);以及控制部(30),其对旋转轴(25)基于各直线运动致动器(22M)的协调动作的位置变更以及旋转轴(25)基于电机(21M)动作的旋转进行控制。
  • 阴极装置以及溅射

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