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- [发明专利]带有集成装配辅助装置的模的设计-CN200480033430.8有效
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A·布兰多尔夫
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温特沃斯实验室公司
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2004-11-12
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2006-12-13
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G01R31/02
- 一种用于对准模头下模部分(12)中形成的第一阵列的第一微孔(18)中的探针(14)的模头的上模部分(36),其通常分别包括垫片部分(38),支撑架(40),以及第一和第二装配辅助膜(42)和(44)。垫片部分(38)适于接触下模部分(12)。第一装配辅助膜(42)典型地位于所述第二表面(48)和所述支撑架(40)之间并且包括适于接收探针(14)的第二阵列的第二微孔(50)。第二装配辅助膜(44)通常接触或者紧密地邻近所述第一装配辅助膜(42)并且具有适于接收探针(14)的第三阵列的第三微孔(52)。第二阵列第二微孔(50)和第三阵列第三微孔(52)彼此对准,但是都偏移开第一阵列第一微孔(18),偏移的距离大致为探针尖(20)和探针头(28)之间的横向距离。
- 带有集成装配辅助装置设计
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