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- [发明专利]微电铸装置-CN200810200426.6无效
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汪红;汤俊;刘瑞;王志民;丁桂甫
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上海交通大学
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2008-09-25
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2009-03-04
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C25D1/00
- 本发明是一种微电铸装置，包括：阴极夹具，阴极，电铸液搅拌管，进液口，电场分布挡板，电场分布挡板定位挡板，出液口，阳极，微电铸槽。阳极和阴极夹具垂直设置于微电铸槽的侧面成彼此面对，阴极置于阴极夹具中，微电铸槽的侧板中设置有用于固定阳极和阴极夹具的定位挡板以及多个电场分布挡板定位挡板，电场分布挡板置于阳极与阴极之间，进液口置于与阴极相邻的侧板下方，电铸液搅拌管置于阴极正下方，并与进液口相连。本发明的多组同心圆电场分布挡板和阴极夹具前夹具正面的环形辅助阴极确保晶圆上电场分布均匀，实现MEMS器件微结构层厚度均匀，操作便捷、实用性强。
- 电铸装置
- [发明专利]真空电弧沉积设备-CN03178688.X有效
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入泽一彦;簗岛英夫;瀬户山诚
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日新电机株式会社;日本ITF株式会社
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2003-07-22
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2004-05-12
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C23C14/34
- 本发明公开了一种真空电弧沉积设备，组成该沉积设备的电弧蒸发源具有多个阴极、一触发电极、一触发驱动单元、一挡板、以及一挡板驱动单元。触发驱动单元可变换触发电极的位置，从而将其定位在某个所需阴极的前方，并使触发电极在该已变换位置上与所需阴极接触/脱离。挡板遮挡着除所需阴极之外其它所有阴极的前方。挡板驱动单元使挡板移动，从而可变换未被挡板遮挡着的阴极。另外，该真空电弧沉积设备还具有一变换控制单元，用于对挡板驱动单元和触发驱动单元进行控制，由此可变换未被挡板遮挡着的阴极，并将触发电极定位在未被挡板遮挡着的阴极之前。
- 真空电弧沉积设备
- [实用新型]一种高温熔盐电沉积装置-CN202320326639.3有效
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张迎春;董晓旭;万力;王庆
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北京科技大学;十维（广东）科技有限公司
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2023-02-27
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2023-10-13
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C25D17/10
- 本实用新型提供一种高温熔盐电沉积装置，属于电沉积技术领域，包括：石墨电解槽，用于盛放高温熔盐；阴极结构包括阴极基体、阴极支杆、阴极挡板以及阴极杆；阴极基体位于高温熔盐中，阴极支杆一端连接阴极基体，另一端连接阴极挡板，阴极杆与阴极挡板连接；阳极结构，包括阳极源、阳极杆与阳极挡板；阳极源位于高温熔盐中，且位于阴极基体上方，阳极杆的一端与阳极源连接，另一端与阳极挡板连接，阳极挡板盖合在石墨电解槽上端开口处。本申请改变后阴极基体电沉积面朝上，排除原始阴极面朝下，重力对电沉积涂层效率的影响，阳极源可以阻隔上方石墨电解槽因长时间高温工作，腐蚀物掉落污染电沉积基体表面导致电沉积涂层不均表面质量较差的问题。
- 一种高温熔盐电沉积装置
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