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- [发明专利]缺陷检查方法-CN200910118919.X无效
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福岛徹哉
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奥林巴斯株式会社
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2009-03-06
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2009-09-09
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G01N21/956
- 因此,配方服务器执行设定基板的检查区域作为配方的初始设定的检查区域设定工序,配方服务器执行设定用于拍摄的光学条件的光学条件设定工序,基板检查装置执行使用包括光学条件和由配方服务器所设定的检查区域的暂定配方来拍摄基板从而获取图像数据的图像获取工序,配方服务器执行使用由基板检查装置所获取的图像数据来调整暂定配方从而生成调整配方的配方调整工序,基板检查装置执行根据由配方服务器进行了配方调整后的调整配方,对基板进行检查的检查工序。
- 缺陷检查方法
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