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- [实用新型]一种制备棒状多晶硅的装置-CN201520804736.4有效
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陈廉;王辉
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武汉东立光伏电子有限公司
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2015-10-16
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2016-02-24
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C01B33/035
- 本实用新型实施例公开了一种制备棒状多晶硅的装置,该装置包括:三氯氢硅预热器、汽化器、氢气预热器、混合器、尾气换热器和还原炉,还原炉具有还原炉入口与还原炉出口;其中,尾气换热器与混合器相连,且同时与还原炉入口和还原炉出口相连,尾气换热器用于接收混合气体,并根据还原炉出口排放的尾气对第一混合气体进行加热,获得第二混合气体,并将第二混合气体通过还原炉入口传输给还原炉。由于还原炉将还原炉尾气通过还原炉出口传输给尾气换热器,使得尾气换热器能够通过还原炉尾气对将被送入还原炉进行还原反应的气体进行加热,提高了还原炉的热能利用率,从而提高了在制备多晶硅时的热能利用率,降低了制备多晶硅时的能耗
- 一种制备多晶装置
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