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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]清洁方法和等离子体处理装置-CN202011307540.6在审
  • 高山贵光;佐佐木淳一 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-11-20 - 2021-06-01 - H01J37/32
  • 本发明提供一种清洁方法和等离子体处理装置，用于抑制对载置台的损伤，并且去除沉积于载置台的外周部的沉积物。清洁方法为等离子体处理装置中的载置台的清洁方法，包括进行分离的工序和进行去除的工序。在进行分离的工序中，使用升降机构来使载置台与基板分离。在进行去除的工序中，在进行分离的工序之后，通过从高频电源向载置台供给高频电力来生成等离子体，从而去除沉积于载置台的沉积物。另外，在进行分离的工序中，载置台与基板的分离距离设定为形成于载置台的外周部周边的合成阻抗比形成于载置台的中心部正上方的合成阻抗低。
  • 清洁方法等离子体处理装置
  • [发明专利]载置台构造以及热处理装置-CN200910118179.X有效
  • 田中澄 - 东京毅力科创株式会社
  • 2009-03-11 - 2009-09-16 - H01L21/687
  • 本发明提供一种载置台构造，即使被处理体与夹紧环部件接触，也能够提高被处理体的面内温度的均一性，提高热处理的面内均一性。在处理容器(4)内为了对被处理体(W)实施规定的热处理而载置被处理体的载置台构造中，包括：载置台(32)，其由透明材料构成，在内部收容有加热被处理体的加热单元(38)；均热板(42)，其由不透明材料构成，设置在载置台的上表面，并且其直径设定得比载置台的直径小，在上表面直接载置被处理体；和夹紧机构(50)，其能够升降地设置在载置台的周边部的上方，具有向载置台侧挤压被处理体的由不透明材料构成的夹紧环部件(
  • 载置台构造以及热处理装置
  • [发明专利]搬送台车和搬送方法-CN201110039222.0有效
  • 冈田正博;中河英辉 - 小松NTC株式会社
  • 2011-02-16 - 2011-08-24 - B23Q7/00
  • 搬送台车(1)具有载置工件(W)的第一载置面(20)和第二载置面(30)，第一载置面(20)和第二载置面(30)被分隔开，搬送台车(1)相对于配置在第一载置面(20)和第二载置面(30)的一方侧的工作设备搬出或搬入工件(W)，在第一载置面(20)设有允许将工件(W)向工作设备搬出并限制将工件(W)从工作设备搬入的第一止挡件(21)，在第二载置面(30)设有允许将工件(W)从工作设备搬入并限制将工件(W)向工作设备搬出的第二止挡件
  • 台车方法
  • [发明专利]一种降低射频耦合的等离子体处理装置及载置台-CN201110420481.8有效
  • 凯文·佩尔斯 - 中微半导体设备（上海）有限公司
  • 2011-12-15 - 2013-06-19 - H01J37/32
  • 本发明提供一种降低射频耦合的等离子体处理装置的载置台，所述载置台用于载置被处理基板，所述载置台至少包括：下部电极，其与设置于所述载置台之外的上部电极相适应并配合产生用于对被处理基本进行的射频；基板固定装置，其设置于所述下部电极的上方，用于载置被处理基板；其特征在于，至少所述下部电极的上部的至少一个区域被设置为电容耦合区，所述电容耦合区由多层金属层与多层绝缘层间隔地组成。还提供一种等离子体处理装置，其包括所述载置台。本发明通过在载置台的下部电极上设置电容耦合区，通过多层绝缘层、金属层的叠加来形成多个电容，进而改善所述载置台的射频耦合的均一程度。
  • 一种降低射频耦合等离子体处理装置载置台
  • [发明专利]基板处理装置和基板处理装置的控制方法-CN201510962055.5有效
  • 桧森慎司;山田纪和;大瀬刚 - 东京毅力科创株式会社
  • 2012-03-30 - 2018-08-28 - H01J37/32
  • 上述基板处理装置，包括：内部被减压的处理室；配置在该处理室内、载置基板的载置台；施加等离子体生成用高频电压的第一高频电源；对所述载置台施加偏置电压发生用高频电压、在所述载置台产生偏置电压的第二高频电源；对所述载置台施加矩形波状的直流电压、在所述载置台产生偏置电压的直流电压施加单元；和开关机构，该开关机构配置在所述载置台与所述第二高频电源以及所述直流电压施加单元之间，能够控制所述载置台与所述第二高频电源的连接以及所述载置台与所述直流电压施加单元的连接
  • 处理装置控制方法
  • [发明专利]纽扣搬送装置-CN200610081765.8有效
  • 小野安志;小田洋;坂本真一;吉田文彦 - 重机公司
  • 2006-05-11 - 2006-11-15 - D05B3/22
  • 该纽扣搬送装置(1)在纽扣装载位置把纽扣载置在纽扣载置台(11)上后，通过由驱动装置(14)驱动的驱动机构(13)的动作，使安装台(12)移动到纽扣供给位置，纽扣载置台(11)上的纽扣被纽扣夹持装置(5)夹持；纽扣载置台对应各个纽扣保持销(15、16)而具有多个纽扣载置臂(111、112)，该纽扣载置臂在上面立向设有各纽扣保持销(15、16)且能够沿着安装台上面独立移动，并且还具有在任意位置固定各纽扣载置臂的固定部件(111c、112c)，通过解除固定部件对各纽扣载置臂的固定，使多个纽扣载置臂移动，能够调整多个纽扣保持销相互的间隔。
  • 纽扣装置
  • [发明专利]载置台构造和处理装置-CN201010286751.6无效
  • 川崎裕雄 - 东京毅力科创株式会社
  • 2010-09-10 - 2011-04-20 - H01L21/683
  • 本发明提供一种能够提高直接载置被处理体的热分散板的耐久性使其难以破损且连接端子不会腐蚀的载置台构造和处理装置。载置台构造被设置在能够排气的处理容器(32)内，用于载置要处理的被处理体(W)，包括：载置台主体(74)，其设置有对被处理体进行加热的加热机构(72)；热分散板(76)，其被设置在载置台主体上，并且在该热分散板的上表面载置有被处理体；电极(78)，其被设置在载置台主体内；筒体状的支柱(70)，其从处理容器的底部立起，用于支撑载置台主体；加热器供电部件(110A～110)，其插通在支柱内并且上端部与加热机构连接；和电极供电部件(112
  • 载置台构造处理装置
  • [实用新型]一种热挤压成型模具的载置结构-CN202320838658.4有效
  • 刘继松;何荣庆 - 江苏伟博机械制造有限公司
  • 2023-04-14 - 2023-07-04 - B21C25/02
  • 本实用新型提供一种热挤压成型模具的载置结构，涉及模具载置结构技术领域，包括载置结构本体和伺服电机，所述载置结构本体的底端固定安装有放置底座，所述载置结构本体的内部固定安装有限位杆，所述载置结构本体的侧面装设有电机箱，所述电机箱的内部装设有伺服电机，所述载置结构本体的内部装设有水平移动块。本实用新型通过伺服电机和模具摆放推动块，将热挤压成型模具放置在载置结构本体的顶端，通过伺服电机的转动能够使伸缩螺杆在套筒的内部进行伸缩移动，将伸缩螺杆进行伸长，能够使模具摆放推动块往载置结构本体的中心位置处进行水平移动
  • 一种挤压成型模具结构
  • [发明专利]元件供给系统-CN201680085989.8有效
  • 杉原章郎 - 株式会社富士
  • 2016-05-31 - 2020-11-20 - H05K13/02
  • 在本发明的散装元件供给装置中，通过拍摄装置来拍摄供元件散布的载置台，将由拍摄装置拍摄到的载置台的区域划分为20×20个块。并且，对应每个块来计算未载置元件的状态下的载置台的拍摄数据即第一拍摄数据与向载置台上补给元件而元件的供给开始之后的载置台的拍摄数据即第二拍摄数据的差值。在该差值为阈值以上的情况下，判定为在块存在元件，在判定为存在该元件的块的数量为设定数量以下的情况下，向载置台补给元件。由此，能够在恰当的时机下向载置台补给元件。
  • 元件供给系统
  • [实用新型]电子设备设置台-CN201320293510.3有效
  • 森山隆司 - 精工爱普生株式会社
  • 2013-05-27 - 2013-11-13 - B41J15/00
  • 本实用新型的目的在于提供一种电子设备设置台，使电子设备的维护等的操作效率提高，电子设备设置台(70)的特征在于，至少具备：第一载置台(71)，其能够载置电子设备(5)，该电子设备具有在使用者操作时进行主要操作的主操作部以及进行辅助操作的副操作部；第二载置台(72)，其支承上述第一载置台(71)；以及旋转部件(74)，其位于上述第一载置台(71)与上述第二载置台(72)之间，任一方的面固定于上述第一载置台(71)或者上述第二载置台(72)中的任意一方
  • 电子设备设置
  • [发明专利]秧苗移植机-CN201910248891.5有效
  • 堀田直岐 - 井关农机株式会社
  • 2019-03-29 - 2022-10-14 - A01C11/02
  • 本发明提供秧苗移植机，易于相对于秧苗箱载置部件取出和装入秧苗箱。一种秧苗移植机，其具有构成为在多个预备秧苗载置部件沿前后方向排列的展开状态与多个预备秧苗载置部件沿上下方向排列的层叠状态之间切换自如的预备秧苗架，其特征在于，所述秧苗移植机构成为：在所述预备秧苗架设置有载置空的秧苗箱的秧苗箱载置部件(101)，与所述多个预备秧苗载置部件的展开状态与层叠状态之间的切换联动地使所述秧苗箱载置部件(101)移动。
  • 秧苗移植
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