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[发明专利]一种超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法-CN201410419164.8有效
发明人：胡树国 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法，系统中超高纯气体样品气瓶通过管线连接减压阀，在管线的超高纯气体样品流动方向上，减压阀的下游还依次连接有三通流路阀，第一隔膜阀，痕量水分分析仪和第二隔膜阀相应的前处理方法为，超高纯气体样品的简单吹扫设备之后，通过高真空系统真空处理及加热装置的加热，使设备中的水分快速排出，完成痕量水分分析前的处理工作。本发明提供的超高纯气体中痕量水分分析的前处理系统及方法，能够快速排出水分，减少了超高纯气体样品的消耗，节约了检测超高纯气体的时间，提高了工作效率。
一种高纯气体痕量水分分析处理系统方法

[发明专利]一种超高纯钛中低碳含量分析方法-CN202310966121.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周佳焕;钟伟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N21/3563 文献下载
摘要：本发明提供一种超高纯钛中低碳含量分析方法，所述分析方法包括：对所述超高纯钛进行酸洗，在氧气氛围下加热熔融所述超高纯钛并收集产生的气体，去除所述气体中的水份，得到待测气体；对所述待测气体中的硫含量进行测试，去除所述待测气体中的含硫物质，对所述待测气体中碳含量进行测试。所述方法可以精确测试出超高纯钛中的碳含量(5ppm)，解决了高纯钛材料中超低碳含量的稳定分析问题。
一种高纯钛中低碳含量分析方法

[发明专利]一种超高纯气体纯化装置及纯化方法-CN201710719409.2在审
发明人：汪文超;严鹏;高春仙;严成强 -专利权人：昆明鹏翼达气体产品有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明涉及一种超高纯气体纯化装置及纯化方法，属于气体纯化技术领域。该装置包括加热器、催化氧化器、水冷却器、第一高效脱氧器、第二高效脱氧器和分子筛吸附器等结构，原料气首先进入加热器加热，然后进入催化氧化器中催化氧化，之后经催化氧化的气体进入水冷却器中与冷却水进行热交换，接着进入第一高效脱氧器或第二高效脱氧器脱除氧气，然后进入分子筛吸附器中吸附，最后进行检测，如果检测合格，则得到超高纯气体，本发明结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理，深度纯化原料气体，除去普通气体中的C5以上烃类组分，达到超高纯级别，满足特殊仪器的用途，实现了超高纯气体的批量化生产，提升净化效率，增加超高纯气体的产量。
一种高纯气体纯化装置方法

[实用新型]一种超高纯气体纯化装置-CN201721048301.7有效
发明人：汪文超;严鹏;高春仙;严成强 -专利权人：昆明鹏翼达气体产品有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超高纯气体纯化装置，属于气体纯化技术领域。该装置包括加热器、催化氧化器、水冷却器、第一高效脱氧器、第二高效脱氧器和分子筛吸附器等结构，原料气首先进入加热器加热，然后进入催化氧化器中催化氧化，之后经催化氧化的气体进入水冷却器中与冷却水进行热交换，接着进入第一高效脱氧器或第二高效脱氧器脱除氧气，然后进入分子筛吸附器中吸附，最后进行检测，如果检测合格，则得到超高纯气体，本实用新型结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原理，深度纯化原料气体，除去普通气体中的C5以上烃类组分，达到超高纯级别，满足特殊仪器的用途，实现了超高纯气体的批量化生产，提升净化效率，增加超高纯气体的产量。
一种高纯气体纯化装置

[发明专利]一种超高纯钨粉的制备方法-CN202011157414.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;吴东青;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B22F9/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种超高纯钨粉的制备方法，所述制备方法包括：将纯度为99.995‑99.999％的钨粉采用等离子体炬进行处理，之后经冷却得到纯度≥99.9995％的超高纯钨粉；所述等离子体炬进行处理中的中心气的流量为本发明提供的超高纯钨粉的制备方法，通过对进料和处理过程中气体流量的控制实现了超高纯钨粉的制备，对气体流量的控制优化低纯度钨粉的熔化及等离子体的形成，从而使得制备得到的钨粉为超高纯钨粉。
一种高纯制备方法

[发明专利]一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法-CN202211007240.5有效
发明人：陈方平;张吉林;刘允华;吴才顺;邹同贵 -专利权人：峨眉山嘉美高纯材料有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C30B29/02 文献下载
摘要：本发明涉及了一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法，按照下以步骤进行：S1、准备升华管和成型模具；S2、超高纯砷块状料在升华管内于高温、氢气气氛下进行升华脱氧提纯处理；S3、经破碎后，装入成型模具；于高温、真空环境下的脱氧处理；S4、于高压、高温、惰性气体气氛下液化；S5、于高压、惰性气体气氛下，从下至上定向凝固结晶，完全凝固后，降至室温，泄压，在惰性气体气氛环境中，取出成型模具后，进行脱模，即可获得超高纯砷棒。本发明的一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法，可有效降低成型的超高纯砷棒的氧含量；整个制备方法，工艺完整，流程简单，操作容易，保证成型的砷棒的纯度能够满足半导体材料行业发展的需求。
一种低氧致密高纯制备方法

[发明专利]利用液体泵与原料气瓶相结合制备超高纯气体的方法-CN201010232321.6有效
发明人：范华刚;尹金哲;汪扬帆 -专利权人：首钢总公司
申请日： 2010-07-15 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： C01B23/00 文献下载
摘要：一种利用液体泵与原料气瓶相结合制备超高纯气体的方法，属于高纯气体制备技术领域。工艺为：将原料气瓶供气排和液体泵供气管线三通并联，同时各管线上有分支阀门和压力表进行控制；首先将含量为≥99.995％的氩或氮气原料气瓶按照规程规定上排，对超高纯气体净化装置供气，超高纯气体净化装置对原料气进行催化氧化工序和干燥脱氧工序后，将原料气内的H2、CO、CH4以及O2、H2O和CO2杂质去除，成为含量为99.9999％的产品气体充入产品气瓶内，优点在于，实现了既可节约生产成本，降低原料气体放散，而且装置生产压力稳定、气体连续性好；同时，装置产品气体流速也保持稳定。
利用液体原料相结合制备高纯气体方法

[实用新型]超高纯气体换热器-CN201420180479.7有效
发明人：俞世桥;厉磊磊;蒋美卿 -专利权人：浙江金象科技有限公司
申请日： 2014-04-15 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： F24H7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了超高纯气体换热器，包括外壳，外壳内充满水，左换热管支撑固定板、右换热管支撑固定板、氨循环盘管组件、进料管、出料管、热水循环盘管组件、若干插入式电加热器、热电偶，热水循环盘管组件的上端为热水进口
高纯气体换热器

[发明专利]一种利用树脂提纯法生产超高纯异丙醇的方法-CN202010116289.9在审
发明人：高小云;赵俊男;刘兵 -专利权人：苏州晶瑞化学股份有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C07C29/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用树脂提纯法生产超高纯异丙醇的方法，包括如下步骤：(1)将气体通入干燥柱后进行干燥，经干燥后的气体进入异丙醇原料罐中；(2)将异丙醇原料罐与动力泵连通，动力泵将异丙醇原料罐柱中的异丙醇原料以气体为载体通入提纯管道，经由提纯管道通入混合树脂交换柱；(3)调节通入混合树脂交换柱内的异丙醇的压强和流速，通过混合树脂交换柱对异丙醇进行纯化处理，得到超高纯异丙醇；(4)超高纯异丙醇经由输出管道进入产品储存罐。该方法利用气体为载体将异丙醇通入特别设计的混合树脂交换柱中，以去除异丙醇中金属阳离子杂质和阴离子杂质，大大简化提纯工艺流程，可大规模生产超高纯异丙醇，生产能耗低，生产成本低。
一种利用树脂提纯生产高纯异丙醇方法

[发明专利]一种双通道快速充气气路-CN201010514055.6无效
发明人：唐景庭;伍三忠;孙勇;李涛;彭立波 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2010-10-13 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种双通道快速充气气路包括：减压阀(1)；气体过滤器(2)；节流阀(3)；超高纯隔膜阀(4)；高流量隔膜阀(5)。所述的减压阀(1)连接在气路起始端，与气体过滤器(2)连接，气体气体过滤器(2)后的气路分两个支路，所述的节流阀(3)和超高纯隔膜阀(4)连接在一个分支，所述的高流量隔膜阀(5)连接在另一个分支，然后两个支路再合并为一个气路通过控制超高纯隔膜阀(4)和高流量隔膜阀(5)的开关，实现不同的充气速度，从而满足不同情况的充气要求。
一种双通道快速充气

[发明专利]充装电子级超高纯气体的气瓶的处理方法-CN201110081414.8有效
发明人：金向华;刘志军 -专利权人：苏州金宏气体股份有限公司
申请日： 2011-04-01 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： B24C1/10 文献下载
摘要：该发明专利涉及一种气瓶的处理方法，该类气瓶主要用于充装高纯、超高纯气体，而这类气体对气瓶内部的洁净程度有相当高程度的要求，该方法步骤依次包括气瓶的清洗干燥、内部除锈、再清洗、内壁研磨、第三次清洗、去离子化处理和高度真空及置换使用本方法气瓶可以去除了内部杂质，保证了其内部的整洁和干燥，满足了作为电子级超高纯气体的充装气瓶的条件。
电子高纯气体处理方法

[实用新型]一种制备半导体用超高纯氯化氢气体的装置-CN202122738081.3有效
发明人：杜大艳;曹小林;吴祥虎 -专利权人：湖北和远气体股份有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备半导体用超高纯氯化氢气体的装置，以工业产品气体为原料，采用多种纯化装置、气液分离装置与高压精馏装置的结合，可实现高效脱水、去除CO2及金属离子；所述制备工艺摆脱了现有技术对原料的依赖，在生产超高纯氯化氢气体的同时产生多种品质的氯化氢气体，尾气减少的同时易于处理，适用于工业化推广。
一种制备半导体高纯氯化氢气体装置

[发明专利]一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺及其装置-CN201410158007.6有效
发明人：仲晓武 -专利权人：仲晓武
申请日： 2014-04-21 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明提供了一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，包括以下步骤：（1）将工业级无水氟化氢通过气化器气化；（2）已气化稳定的氟化氢气体进入固定床反应器氧化；固定床反应器上载有氧化剂，所述氧化剂为固体氧化剂；（3）精馏塔的精馏蒸发器中注入纯水，控制液温为15-25℃；向精馏蒸发器中通入从固定床反应器中出来的氟化氢气体，进行精馏；（4）精馏塔顶出来的氟化氢气体经超纯水吸收、循环过滤后得到符合要求浓度的超高纯电子级氢氟酸本发明还提供了一种量产超高纯氢氟酸的预处理装置。本发明提供的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺中氢氟酸的氧化预处理过程在无水状态下进行，副反应少，设备防腐要求较低，处理杂质方便。
一种量产高纯氢氟酸预处理工艺及其装置

[发明专利]一种用于电子高纯气体的离心压缩方法-CN202110511157.0有效
发明人：杜晓辉;陶刚义;陈强 -专利权人：内蒙古兴洋科技股份有限公司
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： F04D17/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，电子用高纯工艺气体经过压缩机主体的进气口进入压缩机主体内部，经过转子的高速旋转逐级经过级间隔板进入下一级叶轮通道逐级增压，并经由排气口排出；转子两端对称依次向外侧套设有一级轴封、二级轴封、三级轴封和隔离轴封；转子两端的两个一级轴封通过平衡管连通；在压缩机主体工作时，一级轴封内通入超高纯混合气体，二级轴封内通入高纯气体，三级轴封内通入混合气体，隔离轴封内通过惰性气体；一级轴封的通气压力大于二级轴封的通气压力大于三级轴封的通气压力大于隔离轴封的通气压力本发明解决了洁净问题导致的无法进行超高纯气体的洁净压缩问题。
一种用于电子高纯气体离心压缩方法

[发明专利]一种超高纯电子级氯化氢及电子级盐酸的生产方法-CN202211020531.8有效
发明人：郭岚峰;杨着;刘悦;贺兆波;杜林 -专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C01B7/01 文献下载
摘要：本发明提供一种超高纯电子级氯化氢及电子级盐酸的生产方法，将氯碱工业产生的氯气采用低温过滤、浓硫酸循环吸收干燥、分级络合吸附得到高纯氯气，氯碱工业产生的氢气通过深冷过滤、多级变压吸附得到高纯氢气，再将高纯氯气与高纯氢气在合成塔里面燃烧生产氯化氢气体，合成后的氯化氢一部分进入精馏塔进行精馏提纯获得9N电子级氯化氢，另一部分经过多级冷凝后的氯化氢气体在在吸收塔进行并流循环吸收得到盐酸中间产品，中间品在中间储罐加入游离氯脱除液脱除游离氯，然后在解析塔升温解析出氯化氢气体，然后对解析后的氯化氢进行除雾、微孔膜过滤得到高纯氯化氢气体，最后在合成塔喷淋吸收得到金属离子＜10ppt的超高纯电子级盐酸。
一种高纯电子氯化氢盐酸生产方法

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