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- [发明专利]校正方法以及物品制造方法-CN202210595578.0在审
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茂泉纯
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佳能株式会社
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2022-05-30
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2022-12-06
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G03F7/20
- 提供校正利用照明光学系统对掩模进行照明并利用投影光学系统将掩模的图案投影到基板的曝光装置中的投影光学系统的光学特性的校正方法。校正方法具有:测量工序,通过在照明光学系统的瞳面上形成光强度分布A,测量投影光学系统的光学特性;以及校正工序,通过在照明光学系统的瞳面上形成与光强度分布A不同的光强度分布B,对投影光学系统进行加热,校正投影光学系统的光学特性,在校正工序中,根据测量工序中的测量结果来决定利用光强度分布B对投影光学系统进行加热时的光强度分布B的照射条件,在光强度分布B的所决定的照射条件下对投影光学系统进行加热,校正投影光学系统的光学特性。
- 校正方法以及物品制造
- [发明专利]一种合成孔径光电探测装置-CN202211449044.3在审
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刘怡轩
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北京遥感设备研究所
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2022-11-18
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2023-02-28
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G01J1/04
- 本发明提出一种合成孔径光电探测装置,属于光电探测技术领域,包括大孔径光学系统、光电探测器和子孔径光学系统;子孔径光学系统包括第一反射光学元件和第二反射光学元件,子孔径光学系统的入射光轴和出射光轴平行,且与大孔径光学系统光轴平行;每组子孔径光学系统中第一反射光学元件的光轴彼此平行,探测同一目标;所有子孔径光学系统出口与大孔径光学系统入口对接,每组子孔径光学系统的出射光经大孔径光学系统收集后汇聚于同一光电探测器上。本发明解决了现有光电探测装置在有限的布置空间内布局光学系统时光学孔径小、对目标辐射能量捕获能力不足的问题。
- 一种合成孔径光电探测装置
- [发明专利]一种眼底照相机-CN201310331065.X有效
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刘萍;谭芸;肖业卫
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深圳典邦科技有限公司
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2013-08-01
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2013-12-11
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A61B3/12
- 本发明公开了一种眼底照相机光学系统,包括照相光学系统、照明光学系统和诱视光学系统,所述照明光学系统包括中空反射镜,所述诱视光学系统包括朝被检眼的光路传输方向依次设置的发光元件和分划板;所述诱视光学系统、照明光学系统和照相光学系统共用所述中空反射镜和接目物镜;所述诱视光学系统光轴经所述中空反射镜反射后与所述照相光学系统光轴经所述中空反射镜透射后共光轴;所述分划板与被检眼的瞳孔光学共轭。分划板被发光元件照亮后经诱视光学系统在被检眼底成像,使被检眼的注视方向与照相光系统的光轴一致,实现对被检眼的主动导视,从而对准。本发明的眼底照相机光学系统结构紧凑,操作简便,且能拍摄出清晰准确的眼底图像。
- 一种眼底照相机
- [发明专利]用于微光刻的照明光学系统与光学系统-CN200980159125.6有效
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马丁.恩德雷斯
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卡尔蔡司SMT有限责任公司
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2009-03-06
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2012-04-18
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G03F7/20
- 一种用于微光刻的照明光学系统被用于照明物场(12)。照明光学系统具有第一传输光学系统,用于引导由光源发出的照明光(3)。具有多个照明预设微面(25)的照明预设分面镜(7)布置在第一传输光学系统的下游。第一传输光学系统和照明预设分面镜(7)的布置产生物场(12)的远心照明。根据另一方面的光学系统在照明预设分面镜与物场之间包括投射光学系统的入瞳平面,投射光学系统与照明光学系统一起作为用于微光刻的光学系统的一部分。在该另一方面中,第一传输光学系统与照明预设分面镜的布置使得实现了与投射光学系统的入瞳适配的物场的照明。另一方面,在包括投射光学系统及照明光学系统的光学系统中,与投射光学系统的总长度相比,出现较大的物像偏移或更大的中间焦点-像偏移。这使得照明光学系统和光学系统满足关于照明光使用的特定效率要求。
- 用于微光照明光学系统
- [发明专利]观察光学系统-CN201780075022.6有效
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广濑直树
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柯尼卡美能达株式会社
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2017-12-07
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2021-10-29
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G02B25/00
- 观察光学系统10包括:物镜光学系统LO;反转光学系统PR,设置于物镜光学系统LO的内部以及紧靠物镜光学系统LO的后侧中任一方而使倒立像反转为正立像;以及目镜光学系统LE,配置于最靠近瞳孔EP侧并用于观察正立像其中,值f是物镜光学系统LO的焦距,值N是反转光学系统PR的d线处的折射率,值L是反转光学系统PR的光程长,值D是入射光线在反转光学系统PR的物体侧距光轴AX的最大高度,值H是射出瞳孔半径。
- 观察光学系统
- [实用新型]一种光学消旋装置-CN201620722974.5有效
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刘琳;彭晴晴;杨加强;孙昌锋;张兴德
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中国电子科技集团公司第十一研究所
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2016-07-11
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2017-01-18
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G02B26/10
- 本实用新型公开了一种光学消旋装置,该光学消旋装置包括扫描镜、无焦光学系统、DOVE消旋棱镜、以及会聚光学系统,扫描镜,用于对来自物方的光束进行扫描,并将入射光折射到无焦光学系统;无焦光学系统,用于将扫描镜折射的入射光进行口径缩小并透射至DOVE消旋棱镜;DOVE消旋棱镜,用于接收无焦光学系统透射的入射光,经底面反射后出射至会聚光学系统;会聚光学系统,用于接收DOVE消旋棱镜出射的入射光,并成像至焦面。借助于本实用新型的技术方案,能够在消除反射镜像旋的同时,减小光学消旋装置的体积,降低设计、加工装调的难度,更好的适应系统的工程化需求。
- 一种光学装置
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