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[实用新型]多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统-CN201120324241.3有效
发明人：汪应军;张骞 -专利权人：湖北晶星科技股份有限公司
申请日： 2011-08-31 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统，分为三个工段：一号脱轻塔、二号脱重塔、三号脱轻塔、四号脱重塔、五号脱重塔组成一套系统，接受合成工段生产的三氯氢硅原料液；六号脱重塔和七号脱重塔组成一套系统，接受经氢化炉氢化后的三氯氢硅混合液返回料；八号脱二氯二氢硅塔、九号脱高沸塔各为一个独立系统，分别脱去二氯二氢硅和四氯化硅。本实用新型三氯氢硅分离提纯系统能有效分离提纯合成工段生产的三氯氢硅原料液和氢化后得到的三氯氢硅混合液返回料中的三氯氢硅，降低精馏产品中杂质的含量。
多晶生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统

[发明专利]三氯氢硅的提纯方法-CN201410331701.3有效
发明人：姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种三氯氢硅的提纯方法。该方法包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤，将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括：将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理，以获取经脱重处理得到的低沸物；将经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理，以获取三氯氢硅。该方法中，将三氯氢硅粗液先通过脱重塔组再通过脱轻塔组，可以使粗液进行脱重工序之后再进行脱轻工序。这种前段连续脱重、后段连续脱轻的设置能将粗液中的硅微粉杂质、高沸点氯化物及高沸点金属氯化物杂质在前段脱重过程中被分离，从而将这些易造成堵塞的杂质集中在前段脱重塔中，降低后续提纯塔和再沸器的堵塞几率。
三氯氢硅提纯方法

[发明专利]一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法-CN201910323974.6有效
发明人：董立强;戴帅;杨志军 -专利权人：唐山三孚电子材料有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法，以粗品三氯氢硅为原料，包括一次除尘、气相吸附、一次脱轻组分、一次脱重组分、歧化、添加络合剂、二次除尘、一次分离、二次分离处理、二次脱轻组分处理、二次脱重组分处理、三次分离处理、三次脱轻组分、三次脱重组分、四次脱轻组分、四次脱重组分等步骤。本发明工艺路线，是在现有的制造电子级二氯二氢硅的工艺路线上，通过步骤的变化及调整，对原材料三氯氢硅纯度要求降低，可同时得到的电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅和电子级四氯化硅，金属杂质、氯硅烷杂质以及硼等杂质含量少
一种同时生产电子级二氯二氢硅级三氯氢硅氯化方法

[发明专利]一种脱氯剂及其制备方法和应用-CN202011556377.7在审
发明人：迟莹;单红飞;景云峰;李晓凡;孙亮;刘聪 -专利权人：沈阳三聚凯特催化剂有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B01J20/18 文献下载
摘要：本发明属于脱氯剂制备技术领域，具体涉及一种脱氯剂及其制备方法和应用。该脱氯剂的原料包括分子筛、稀土金属、碱金属、碱土金属和粘结剂，分子筛为低硅铝比X型分子筛，硅铝摩尔比为1.0‑1.2。该脱氯剂以低硅铝比X型分子筛为载体，通过稀土金属对其进行改性，提高了分子筛的活性，增加了B酸含量，脱氯剂表面酸性中心增多，使脱氯剂具有较高的脱氯反应速度，还能改变八面沸石分子筛骨架上平衡负电荷的阳离子种类，实现对分子筛酸性、稳定性、吸附性能及孔道结构的调控，提高对有机氯的脱除效果。以分子筛作为载体，得到的脱氯剂具有较好的吸附性，还能提高脱氯剂的抗水性，减少脱氯剂的板结及粉化，有效延长了脱氯剂的使用寿命。
一种脱氯剂及其制备方法应用

[发明专利]一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂工艺及系统-CN202310585447.9在审
发明人：杨伟强;季建波;梁晓阳;赵鹏;王宁;姜广静;赵亚军 -专利权人：新疆协鑫新能源材料科技有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂工艺及系统，原料氯硅烷经过原料吸附塔去除部分杂质；除杂后的原料氯硅烷进入粗分塔，从塔顶切除二氯二氢硅及轻杂，从塔釜切除四氯化硅及重杂，从塔中侧线采出三氯氢硅进入脱轻塔，脱轻塔的上塔顶切除轻杂，脱轻塔的下塔釜采出料进入脱重塔；脱重塔的下塔釜切除重杂，脱重塔的上塔顶采出合格三氯氢硅产品；切除杂质全部回收后一同送入反歧化后分离塔内进行组分分离，分离出的二氯二氢硅和四氯化硅，经混合后送入反歧化反应器内进行反歧化反应生成三氯氢硅，产生的三氯氢硅与未反应的二氯二氢硅、四氯化硅重新进入反歧化后分离塔进行组分分离；反歧化后分离塔侧线分离出三氯氢硅，返回进行精馏除杂。
一种多晶生产硅烷精馏杂工系统

[发明专利]三氯氢硅的提纯装置-CN201410332033.6有效
发明人：姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种三氯氢硅的提纯装置。上述三氯氢硅的提纯装置包括提纯塔组，其中，提纯塔组包括脱重塔组和脱轻塔组，脱重塔组包括至少两个脱重塔，脱轻塔组包括至少一个脱轻塔；按照物料流动顺序，脱重塔组设置在脱轻塔组的上游。上述提纯装置中，将所有的脱重塔均设置在脱轻塔之前，可以使三氯氢硅粗液在进行脱重工序之后再进行脱轻工序。这种前段连续脱重、后段连续脱轻的设置有利于将三氯氢硅粗液中的硅微粉杂质、高沸点氯化物及高沸点金属氯化物杂质在前段的脱重过程中被分离出来，从而将这些易造成塔组堵塞的杂质集中在前段的脱重塔(尤其是第一脱重塔
三氯氢硅提纯装置

[实用新型]三氯氢硅的提纯装置-CN201420385050.1有效
发明人：姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三氯氢硅的提纯装置。上述三氯氢硅的提纯装置包括提纯塔组，其中，提纯塔组包括脱重塔组和脱轻塔组，脱重塔组包括至少两个脱重塔，脱轻塔组包括至少一个脱轻塔；按照物料流动顺序，脱重塔组设置在脱轻塔组的上游。上述提纯装置中，将所有的脱重塔均设置在脱轻塔之前，可以使三氯氢硅粗液在进行脱重工序之后再进行脱轻工序。这种前段连续脱重、后段连续脱轻的设置有利于将三氯氢硅粗液中的硅微粉杂质、高沸点氯化物及高沸点金属氯化物杂质在前段的脱重过程中被分离出来，从而将这些易造成塔组堵塞的杂质集中在前段的脱重塔(尤其是第一脱重塔
三氯氢硅提纯装置

[发明专利]多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备-CN201110142375.8无效
发明人：王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，包括脱氯装置和终端净化装置；所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；所述终端净化装置上设置有入口与出口，终端净化装置内填充有活性炭，终端净化装置通过入口的管道与脱氯装置的出气口相连。通过本发明设备回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。
多晶生产回收氢气精脱氯设备

[实用新型]一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置-CN202222134714.4有效
发明人：郭婷;赵长森;牛强;徐凯;韩婷婷 -专利权人：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型属于多晶硅工业生产技术领域，提供了一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置，包括依次串联的脱轻塔、络合吸附装置、粗馏单元、CPS吸附装置和精馏单元；脱轻塔用于将液相粗氯硅烷通入脱轻塔得到液相粗三氯氢硅；络合吸附装置用于对脱轻塔排出的液相粗三氯氢硅进行络合吸附处理；粗馏单元用于将络合吸附装置排出的三氯氢硅液进行粗馏处理；CPS吸附装置用于将粗馏单元排出的三氯氢硅液进行CPS吸附处理；精馏单元用于将CPS吸附装置排出的三氯氢硅液进行精馏提纯。本实用新型通过对络合吸附、CPS吸附和精馏工艺的优化结合，高效降低三氯氢硅中的B、P等杂质含量，同时降低精馏系统运行成本。
一种多晶生产过程中的三氯氢硅提纯装置

[发明专利]利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅方法及设备-CN201010514102.7有效
发明人：黄国强;王国锋;王红星;华超 -专利权人：天津大学
申请日： 2010-10-21 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅方法及设备。二氯二氢硅与四氯化硅在反应精馏塔中上部反应，反应精馏塔塔顶得到未完全反应的二氯二氢硅，于塔顶和塔中部回流，塔底得到二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱轻塔脱除轻组分，脱轻塔塔顶得到二氯二氢硅回流至反应精馏塔循环利用，塔底得到三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱重塔将二者分离，脱重塔塔顶三氯氢硅为产品，塔下部侧线采出四氯化硅进入反应精馏塔循环利用，塔底得到过量四氯化硅。本发明利用反歧化反应，提高原料利用率，同时解决了二氯二氢硅和四氯化硅富集的问题。使二氯二氢硅最终转化率理论上达到100％。
利用反歧化反应通过精馏制备三氯氢硅方法设备

[发明专利]多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法-CN201110142471.2无效
发明人：王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯方法，包括如下步骤：（1）氢气尾气经干法回收后，用脱氯剂脱氯，将氢气尾气中的氢气与氯化氢、氯硅烷分离；（2）经步骤（1）脱氯后的氢气尾气，用活性炭吸附氢气尾气中的杂质通过本发明方法回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。
多晶生产回收氢气精脱氯方法

[发明专利]提纯三氯氢硅的方法及系统-CN202010120663.2有效
发明人：吴锋;李明峰;李福中;韩秀娟;王海豹 -专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了提纯三氯氢硅的方法及系统。其中，提纯三氯氢硅的方法包括：(1)采用碱性溶液对金属氧化物微球进行表面处理，以便在所述金属氧化物微球表面形成羟基；(2)将三氯氢硅与步骤(1)得到的微球混合并进行脱重处理，以便使所述羟基与三氯氢硅和有机物杂质反应并除去反应产物，得到初级纯化的三氯氢硅；(3)对步骤(2)得到的三氯氢硅进行脱轻处理和脱重处理，以便得到高纯三氯氢硅。该方法不仅工艺简单，还可以高效去除三氯氢硅中的有机物杂质，使最终得到的高纯三氯氢硅产品中有机物杂质的质量浓度不高于20ppb。
提纯三氯氢硅方法系统

[发明专利]烷基官能有机硅烷和烷基官能有机硅氧烷的脱氯方法-CN201280014822.4有效
发明人： B.施坦德克;M.居策尔萨欣;M.弗里德尔;J.阿尔恩特;K.克利施 -专利权人：赢创德固赛有限公司
申请日： 2012-02-27 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： C07F7/18 文献下载
摘要：本发明涉及烷基硅烷和-硅氧烷的脱氯方法，以及涉及碱性阴离子交换树脂用于将烷基硅烷和烷基硅氧烷脱氯的用途。
烷基官能有机硅烷有机硅方法

[实用新型]多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备-CN201120177392.0无效
发明人：王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 -专利权人：四川新光硅业科技有限责任公司
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，包括脱氯装置和终端净化装置；所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；所述终端净化装置上设置有入口与出口，终端净化装置内填充有活性炭，终端净化装置通过入口的管道与脱氯装置的出气口相连；所述终端净化装置的容积为活性炭吸附塔容积的五十分之一至十分之一。通过本实用新型设备回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。
多晶生产回收氢气精脱氯设备

[实用新型]高纯三氯氢硅的制备装置-CN202222641586.2有效
发明人：张燕南;郭树虎;万烨;赵雄;赵宇;王磊;常欣;袁振军;王国元;张兴毅;郭克涛;郭武辉 -专利权人：洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司;中国有色工程有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高纯三氯氢硅的制备装置，涉及化工技术领域，包括依次设置的脱轻塔、脱重塔和产品罐；其中，脱轻塔包括位于塔顶的脱轻塔进料口、脱轻塔出料口和低沸物出口；脱重塔包括位于塔釜的脱重塔进料口、脱重塔出料口和高沸物出口；脱轻塔出料口与脱重塔进料口相连通，脱重塔出料口与产品罐相连通，低沸物出口和高沸物出口与高低沸物罐相连通；在脱重塔的出料口与产品罐之间还设置有产品缓冲罐。与现有技术提纯三氯氢硅相比，本实用新型通过仅需两级减压蒸馏即可达到常压三至五级精馏效果，获得电子级三氯氢硅的同时大大降低了能耗以及生产成本。
高纯三氯氢硅制备装置

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