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[发明专利]等离子体蒸发装置-CN201410160194.1有效
发明人：宫下大 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2014-04-21 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体蒸发装置，其能够将等离子束高精度地引导至蒸发材料。包括等离子体蒸发装置的成膜装置（1）具备多个用于使成膜材料（Ma）蒸发的等离子枪（7）。多个等离子枪（7）包括在等离子束（P）的射出方向上具有磁力线（G）方向的第1等离子枪（7R）、及在与等离子束（P）的射出方向相反的方向上具有磁力线（G）方向的第2等离子枪（7L）。从与成膜材料（Ma）相对的方向观察时，多个等离子枪（7）并列设置于真空腔室（10），并且配置成第2等离子枪（7L）相对于第1等离子枪（7R）不排列在将射出方向作为前方时的右侧。
等离子体蒸发装置

[发明专利]等离子体处理方法以及等离子体处理装置-CN201310330382.X有效
发明人：武藤悟;小野哲郎;大越康雄;永德宏文 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种随着等离子体处理时间的经过，使等离子体的离解状态逐渐地变化，从而能够进行期望的等离子体处理的等离子体处理方法以及等离子体处理装置。在本发明中，在使用具备对试样进行等离子体处理的等离子体处理室、供给等离子体生成用的第一高频电力的第一高频电源、以及对载置所述试样的试样台供给第二高频电力的第二高频电源的等离子体处理装置的等离子体处理方法中，通过第一脉冲对所述第一高频电力进行调制，通过随着等离子体处理时间的经过逐渐地控制所述第一脉冲的占空比，将等离子体的离解状态控制为期望的离解状态。
等离子体处理方法以及装置

[发明专利]等离子体处理腔室中原位紫外线处理方法及应力氮化硅膜的形成方法-CN200810113999.5有效
发明人：吴汉明;王国华 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种等离子体处理腔室中原位紫外线处理方法，包括：将半导体基底置于等离子体处理腔室中；向所述等离子体处理腔室中注入产生等离子体的物质；向所述等离子体处理腔室中注入能受激产生紫外线的气体；打开所述等离子体装置激励源，激励所述产生等离子体的物质形成等离子体，利用所述等离子体对所述半导体基底进行等离子体处理；所述能够受激产生紫外线的气体受等离子体激发，产生紫外线；产生的紫外线辐射半导体基底表面。该方法的紫外线处理能够与等离子处理工艺原位进行，使工艺简化。
等离子体处理腔室中原位紫外线方法应力氮化形成

[实用新型]等离子废气高效处理装置-CN201721419135.7有效
发明人：周国庆;朱福新;朱兆平 -专利权人：江苏生久环境科技有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子废气高效处理装置，包括过滤室和等离子发生器，所述过滤室与等离子室连接，所述过滤室的左端连接有进气口，所述进气口上安装有风机，所述过滤室的内部设有两级过滤装置，所述等离子室的上下内壁上设有滑轨，所述等离子发生器的上下面设有滑块，所述等离子发生器通过滑块与滑轨滑动连接，所述等离子室的安装口内侧设有凹槽，所述等离子室的正面设有检修门，所述检修门上设有与凹槽相吻合的凸条，且凸条上设有密封胶圈。该等离子废气高效处理装置，在需要检修或安装等离子发生器时，直接抽出等离子发生器或者通过等离子发生器通过滑块推入滑轨即可，安装维修非常的方便。
等离子发生器等离子室过滤室高效处理装置等离子滑块进气口废气滑轨凸条检修两级过滤装置本实用新型安装维修滑轨滑动密封胶圈安装口检修门风机内壁推入左端吻合抽出

[实用新型]一种负压式等离子净化装置-CN201821359074.4有效
发明人：肖启 -专利权人：泸州市龙马潭区鑫泉泡沫塑料有限责任公司
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种负压式等离子净化装置，包括依次通过管道连接的进气系统、等离子系统和净化系统；所述等离子系统包括等离子发生器和贯穿于等离子发生器的废气管道；所述等离子发生器的顶部设置有进气口；所述废气管道位于等离子发生器内的管体上开设有若干个气孔通过废气流经气孔时所产生的负压，将等离子气体抽取到废气管道中并与废气进行混合从而达到净化的目的，废气至始至终都不会与等离子发生器内部器件和线路产生任何的接触，从而有效地避免了等离子发生器内部结构的污损，降低了等离子发生器的故障率，延长了等离子发生器的使用寿命。
等离子发生器废气管道等离子净化装置废气等离子系统负压式进气口本实用新型等离子气体顶部设置管道连接进气系统净化系统内部器件使用寿命故障率有效地负压管体污损抽取净化贯穿

[实用新型]一种用于更换直线等离子体源的装置-CN202022283213.3有效
发明人：桑超峰;王越;孙长江;叶灏;王奇 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G21B1/25 文献下载
摘要：一种用于更换直线等离子体源的装置，属于直线等离子体装置应用技术领域。这种用于更换直线等离子体源的装置采用等离子体源通过连接法兰与真空室法兰连接，在等离子体源上设有可移动的磁体线圈。Helical型螺旋波等离子体源通过A型法兰与真空室法兰连接，蚊香型螺旋波等离子体源通过B型法兰与真空室法兰连接，六硼化镧等离子体源通过C型法兰与真空室法兰连接。通过不同的法兰接口可以连接不同的等离子体源，分别调节每种等离子体源所需要的最优磁场环境，从而快速方便的更换等离子体源，根据需求创造不同的等离子体环境。
一种用于更换直线等离子体装置

[实用新型]一种紧凑型等离子控制净化一体控制箱-CN202023240112.4有效
发明人：吴猛 -专利权人：广东安达智能装备股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子技术领域，尤其公开了一种紧凑型等离子控制净化一体控制箱，包括有箱体，箱体的内部设有用于隔开分层的隔板，隔板的上部设有等离子净化器，箱体的背面设有用于接气的接头，接头与等离子净化器连通隔板的下方设有等离子控制器，等离子控制器与等离子净化器之间电性连接。等离子控制器的底部设有移动导轨，箱体设有固定导轨，移动导轨活动设于固定导轨上。采用隔板进行隔开分层，便于容纳等离子控制器以及等离子净化器，通过移动导轨及固定导轨之间的滑动连接，实现将等离子控制器移动，将等离子控制器进行安装操作；本实用新型采用分层设置，整体布局设计合理，结构紧凑，
一种紧凑型等离子控制净化一体控制箱

[实用新型]一体式等离子设备-CN202223190714.2有效
发明人：宋永砚;刘旭;张在和 -专利权人：江苏世众志鹏医疗器械有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一体式等离子设备，包括杀菌消毒装置和等离子发生器，所述杀菌消毒装置转动安装在等离子发生器的顶部外表面，所述杀菌消毒装置的底部固定安装有等离子发生体，所述等离子发生体的顶部固定安装有等离子释放头，所述等离子发生体的外表面设置有控制键，所述等离子发生体的上部外表面固定安装有限位转轴，所述等离子发生体的上部外表面且位于限位转轴的底部边缘固定安装有磁吸限位块。本实用新型可以通过在杀菌消毒装置的顶部转动安装有等离子发生器，能够对等离子释放头的外表面起到消杀作用，从而避免细菌在等离子释放头的外表面繁殖，造成使用者皮肤二次污染，从而保证人们安全使用。
体式等离子设备

[实用新型]双功能电弧等离子发生器及超细粉体制备系统-CN202223406065.5有效
发明人：李裔红 -专利权人：成都金创立科技有限责任公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子发生器技术领域，尤其是提供一种双功能电弧等离子发生器及超细粉体制备系统，其中等离子发生器包括包括水冷系统和进气系统，还包括等离子电源，等离子电源与等离子发生器之间电连接，所述等离子发生器上设有：阴极，所述阴极通过阴极接线端与等离子电源之间电连接；大阳极，所述大阳极通过大阳极接线端与等离子电源之间电连接；小阳极，设置在阴极与大阳极之间，所述小阳极通过小阳极接线端与等离子电源之间电连接；绝缘气环，包括阳极气环和阴极气环；切换开关，设置在大阳极接线端与等离子电源之间。其目的在于，用以解决现有等离子发生器无法在转移弧和非转移弧之间切换工作状态的问题。
功能电弧等离子发生器超细粉体制系统

[实用新型]一种等离子体驱动装置-CN200420029732.5无效
发明人：秦友刚 -专利权人：石家庄钢铁股份有限公司
申请日： 2004-09-11 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： H05H1/18 文献下载
摘要：一种等离子体驱动装置，属等离子体技术领域，用于解决利用等离子体作驱动动力的问题，其技术方案是；它包括真空腔、微波源、初级真空泵、出口阀、等离子体输送管，环绕等离子体输送管设有定子铁芯，定子铁芯靠近等离子体输送管一侧绕有交流绕组线圈采用这种结构的等离子体驱动装置，可实现等离子体驱动的全封闭、非接触、高低速任意可调，可用于超高真空泵、各种速度下的等离子体镀膜、低压等离子粒子束及实现其它等离子体的定向运动。由于该方法更容易控制等离子体处理的量度、纯度和气氛，特别适合于高精尖的材料科学研究和制造领域。
一种等离子体驱动装置

[发明专利]衬底处理装置中的等离子体-CN202010564372.2在审
发明人： N·霍尔姆;铃木俊哉 -专利权人：皮考逊公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及衬底处理装置中的等离子体。衬底处理装置(100)及相关方法，其中等离子体物质经由等离子体进料线(115)而被引入到针对沉积目标(160)的反应室(130)中。等离子体进料线(115)经过等离子体形成区。在等离子体进料线内的等离子体物质的速度通过等离子体形成区下游的收缩部(112)而加速。
衬底处理装置中的等离子体

[发明专利]包含等离子管的等离子显示面板-CN200510109967.4无效
发明人：崔正泌;崔盛天 -专利权人： LG电子株式会社
申请日： 2005-09-21 - 公布日： 2006-03-29 - 主分类号： H01J17/49 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子显示面板，更具体地涉及包括等离子管的等离子显示面板。根据本发明的等离子显示面板包含内部具有荧光物质的多个多边形等离子管；在与等离子管垂直的方向设置的第一电极；以及在垂直于第一电极和等离子管的水平方向设置的第二电极。本发明通过包括等离子管来增大和电极的重叠区域，可降低启动电压并且减少能量消耗。
包含等离子显示面板

[实用新型]一种油污泥等离子处理系统-CN201820265637.7有效
发明人：郑德刚;舒小明;朱鹏程;齐峰;马永华;刘涛;王硕;刘立新 -专利权人：航天慧能（江苏）环境工程有限公司
申请日： 2018-02-24 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C02F11/00 文献下载
摘要：一种油污泥等离子处理系统，其包括等离子熔炉和控制系统，所述等离子熔所述等离子炉至少包括容器、设置在容器内的多个呈阵列分布的等离子电极和一个公共电极,所述多个呈阵列分布的等离子电极和一个公共电极由ARC电源供电,控制系统根据等离子熔炉所预设的温度通过矩阵开关控制多个呈阵列分布的等离子电极的每个电极的电接通或者断开ARC电源。
等离子电极阵列分布等离子等离子处理系统公共电极控制系统油污泥熔炉等离子炉电源供电矩阵开关电极电接通预设断开电源

[实用新型]一种等离子处理系统-CN201720053637.6有效
发明人：蔡卫;罗弦;卢永锦;何鹏 -专利权人：深圳市诚峰智造有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种等离子处理系统，包括等离子发生装置、制氮装置及用于传输需处理产品的传送装置，所述制氮装置与所述离子发生装置连接，所述离子发生装置与所述传送装置连接，所述离子发生装置包括等离子喷枪，所述等离子喷枪位于所述传送装置的正上方，所述等离子喷枪的喷嘴朝向所述传送装置。本实用新型的等离子处理系统能提高电离率，改善等离子处理效果，同时，降低成本。
一种等离子处理系统

[发明专利]一种射频等离子体增强化学气相沉积方法及装置-CN201710208039.6有效
发明人：邵国胜 -专利权人：郑州新世纪材料基因组工程研究院有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C23C16/507 文献下载
摘要：本发明涉及一种射频等离子体增强化学气相沉积方法及装置。该方法包括以下步骤：对镀膜室进行抽真空，由等离子体产生室通入反应气体，开启与射频天线连接的射频源以激发反应气体等离子化，在镀膜室上相对等离子体发生室的一侧设置有用于约束等离子体流沿径向扩散的终端磁体，设定终端磁体的磁感应强度大于源磁体的磁感应强度该射频等离子体增强化学气相沉积方法利用源磁体和终端磁体的协同作用，对进入镀膜室的等离子体束流进行限场和分布调控，使等离子束流达到远程稳定和分布可控，等离子束流的离子密度与等离子发生室内等离子源附近的离子密度相当，实现等离子体束流的长程稳定传播。
一种射频等离子体增强化学沉积方法装置