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[发明专利]一种常压等离子体自由基清洗系统-CN201210097143.X无效
发明人：王守国;贾少霞;赵玲利;杨景华 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-04-05 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明是一种常压等离子体自由基清洗系统，包括一台中频等离子体发生器、一台射频等离子体发生器、吸片装置、电源系统、移动机械臂、进气系统以及抽气泵。系统运行时，两台等离子体发生器同时工作，工作气体在流量计的控制下进入到两台等离子体发生器中，吸片装置固定在一维移动机械臂上，电源接通过后，等离子体发生器产生的自由基在气流的携带下喷射出来，吸盘装置吸附着硅片，在机械臂的带动下，先从中频高压等离子体发生器喷口上方扫过，进行预清洗，然后再从射频等离子体发生器上方扫过，进行细清洗，本发明可用于硅片光刻胶和有机污染物清洗或其他衬底表面的有机污染物的清洗。
一种常压等离子体自由基清洗系统

[发明专利]一种高寿命等离子体电极结构-CN202010013337.1在审
发明人：敬敏;刘彦涛;唐福彬;蒲学森;钟斌;杨庆峰;古建全;屈小军;张杰;曹开云 -专利权人：深圳东方锅炉控制有限公司
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：一种高寿命等离子体电极结构，包括等离子体发生器管式阳极，等离子体发生器管式阴极，其特征是：在等离子体发生器管式阳极外设置阳极电磁线圈，在等离子体发生器管式阴极外设置阴极电磁线圈；等离子体发生器管式阳极电磁线圈由电磁线圈绝缘隔热套筒、电磁线圈绕组、电磁线圈匝间绝缘层、电磁线圈两端电缆连接头、电磁线圈两端冷却水连接头、电磁线圈中间抽头组成；等离子发生器管式阴极电磁线圈由电磁线圈绝缘隔热套筒、电磁线圈绕组、电磁线圈匝间绝缘层、电磁线圈两端电缆连接头特别适合在大功率、大电流等离子发生器应用，提高等离子体电极寿命。
一种寿命等离子体电极结构

[实用新型]一种高寿命等离子体电极结构-CN202020024220.9有效
发明人：敬敏;刘彦涛;唐福彬;蒲学森;钟斌;杨庆峰;古建全;屈小军;张杰;曹开云 -专利权人：深圳东方锅炉控制有限公司
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：一种高寿命等离子体电极结构，包括等离子体发生器管式阳极，等离子体发生器管式阴极，其特征是：在等离子体发生器管式阳极外设置阳极电磁线圈，在等离子体发生器管式阴极外设置阴极电磁线圈；等离子体发生器管式阳极电磁线圈由电磁线圈绝缘隔热套筒、电磁线圈绕组、电磁线圈匝间绝缘层、电磁线圈两端电缆连接头、电磁线圈两端冷却水连接头、电磁线圈中间抽头组成；等离子发生器管式阴极电磁线圈由电磁线圈绝缘隔热套筒、电磁线圈绕组、电磁线圈匝间绝缘层、电磁线圈两端电缆连接头特别适合在大功率、大电流等离子发生器应用，提高等离子体电极寿命。
一种寿命等离子体电极结构

[发明专利]一种基于固体等离子体的极化可重构天线-CN201710707437.2有效
发明人：董胜波;刘涓;易翀;杨岱旭 -专利权人：北京遥感设备研究所
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于固体等离子体的极化可重构天线，包括：固体等离子体发生器阵列(1)、衬底基片(2)、偏置电极(3)、支柱(4)、金属底座(5)、馈线(6)和射频接头(7)，其中固体等离子体发生器阵列(1)由多个固体等离子体发生器呈辐射状排布或多个同心圆环状排布或两种排布方式相结合而成，衬底基片(2)盖在支柱(4)的上端口；固体等离子体发生器阵列(1)安装在衬底基片(2)上表面，固体等离子体发生器阵列(1)下方连接有多个偏置电极(3)，馈线(6)上端焊接在固体等离子体发生器阵列(1)上，下端与固定在金属底座(5)下方的射频接头(7)焊接。
一种基于固体等离子体极化可重构天线

[发明专利]一种等离子体发生装置-CN202111650642.2在审
发明人：陈臻阳;张威;唐电;李斯;杨志权 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置，包括：微波发生器、水冷法兰、等离子体反应腔和冷却水套，等离子体反应腔两端分别通过水冷法兰与微波发生器连接，水冷法兰用于对微波发生器上的微波能量输出口进行冷却降温；等离子体反应腔内设有铜天线，微波发生器通过铜天线将同轴微波传导进入等离子体反应腔内；等离子体反应腔上开设有多个进气孔和等离子输出孔，进气孔用于向等离子体反应腔内输入待电离的工艺气体，等离子输出孔用于将等离子体反应腔内电离完成的工艺气体导入工艺腔中；冷却水套安装在等离子体反应腔外围，以实现等离子体反应腔冷却降温。本发明具有结构紧凑、操作简单、所产生的等离子密度高等优点，适用于大面积的平板式薄膜沉积设备。
一种等离子体发生装置

[实用新型]冰箱及其等离子体净化组件-CN201621037922.0有效
发明人：王传仕;张春生;关鹏;刘兆雷 -专利权人： TCL家用电器（合肥）有限公司
申请日： 2016-09-05 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： F25D23/12 文献下载
摘要：本实用新型公开一种冰箱及其等离子体净化组件，其中，该等离子体净化组件包括置物部件和等离子体发生器，所述置物部件可拆卸地安装在冰箱门体或者箱体的内壁上，所述等离子体发生器设置在所述置物部件上。本实用新型提出的冰箱及其等离子体净化组件可产生高能电子以及羟基、自由基等活性基团，这些活性基团具备很强的去除残留农药功效，将等离子体发生器与冰箱中的置物部件进行整合，不需要在冰箱箱体生产线设置专门的工位来安装等离子体发生器，提高了产品的生产效率，而且等离子体净化组件方便维护和更换。
冰箱及其等离子体净化组件

[发明专利]一种等离子体源装置-CN201110148922.3有效
发明人：刘若鹏;季春霖;岳玉涛;尹小明 -专利权人：深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体源装置，包括：微波发生器、超材料以及等离子生成器，所述的微波发生器、超材料以及等离子生成器顺序相设置，所述的微波发生器用于产生微波；所述的超材料用于将所述的微波发生器发出的微波进行调制成能与所述的等离子发生器发生谐振的微波至等离子生成器，所述的等离子体生成器用于生成等离子体。本发明提供的等离子体源装置体积小、简单、易于实现、成本低、具有广泛的应用前景。
一种等离子体装置

[发明专利]利用等离子体处理室中的单频率RF功率处理晶片的系统、设备和方法-CN01816862.0有效
发明人： A·库蒂;A·费舍尔 -专利权人：兰姆研究有限公司
申请日： 2001-10-05 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种利用单一频率的RF功率在等离子体处理室中处理晶片的系统、设备和方法。等离子体处理系统包括调制RF功率发生器、等离子体处理室和匹配网络。设置调制RF功率发生器以便产生经调制的RF功率。设置等离子体处理室以便接收处理晶片的经调制的RF功率，等离子体处理室的特征在于在等离子体处理期间的内阻抗。等离子体处理室包括在具有静电吸盘的位置处支撑晶片的静电吸盘，静电吸盘包括在晶片之下设置的用于接收经调制的RF功率的第一电极。等离子体处理室还包括在晶片之上设置的第二电极。经调制的RF功率产生处理晶片的等离子体和离子轰击能量。在调制RF功率发生器和等离子体处理室之间耦合匹配网络以便接收经调制的RF功率并将其从调制RF功率发生器传输到等离子体处理室。匹配网络还构成以至使调制RF功率发生器的阻抗与等离子体处理室的内阻抗相匹配。
利用等离子体处理中的频率 rf 功率晶片系统设备方法

[实用新型]一种双介质板等离子体发生器-CN202120370072.0有效
发明人：王森杨 -专利权人：杭州陆典科技有限公司
申请日： 2021-02-11 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型提供一种双介质板等离子体发生器，包括等离子体发生器本体，所述等离子体发生器本体内壁前侧与后侧均固定连接有介质板，所述介质板表面套设有导电体，所述等离子体发生器本体正面的一侧固定连接有收纳壳，所述等离子体发生器本体正面设置有靠近收纳壳一侧的清理板本实用新型能够便于将表面粘附的杂质刮落，能够提高电荷散发的稳定性，以解决现有的等离子体发生器不能将杂质刮落的问题。
一种介质等离子体发生器

[发明专利]一种大气压等离子体射流装置-CN201911093309.9有效
发明人：卢新培;李志宇;刘嘉林;聂兰兰 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气压等离子体射流装置，包括：电机与绝缘传动装置、电气装置、导电传动装置和等离子体发生器，电机与绝缘传动装置包括电机和绝缘传动装置，电气装置用于提供高电压、调整电流大小和调节等离子体温度以及控制冲击电流与稳定放电；导电传动装置用于将电气装置的高压导入至等离子体发生器，并将电机与绝缘传动装置的力矩导入等离子体发生器；等离子体发生器用作放电腔室，等离子体在发生器内产生，并随着气流吹出后等离子体流被拉长，形成了大气压条件下各种气体作为工作气体的等离子体射流
一种大气压等离子体射流装置

[实用新型]制备球形粉末的装置-CN202021180979.2有效
发明人：叶高英;古忠涛;谢玉明 -专利权人：苏州英纳特纳米科技有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： B22F9/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备球形粉末的装置，包括：送粉枪、射频等离子体发生器、球化处理室和急冷室；所述送粉枪连所述接射频等离子体发生器以使所述送粉枪送出的金属原粉在所述射频等离子体发生器内经加热形成金属液滴；所述射频等离子体发生器和所述急冷室分别连接所述球化处理室，所述金属液滴经所述球化处理室进入所述急冷室并形成球形粉末；所述射频等离子体发生器的朝向球化处理室的下端喷口为外扩的发散喷口，所述射频等离子体发生器的下端喷口的外周设置有第二冷却回路以对所述射频等离子体发生器的下端喷口进行冷却
制备球形粉末装置

[发明专利]等离子体发生装置-CN202180057457.4在审
发明人：申东勋;洪镛澈;千世珉;梁乾祐;李羲宰 -专利权人：韩国核融合能源硏究院
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体发生装置，本发明的示例性实施例的等离子体发生装置包括：电磁波发生器；等离子体喷枪，通过电弧放电生成等离子体；及波导管，引导在电磁波发生器生成的电磁波向等离子体侧传输；其中，通过波导管传输的电磁波加热等离子体的一侧部
等离子体发生装置

[发明专利]一种电弧等离子体发生器及提高该发生器运行稳定性安全性的方法-CN201310594765.8在审
发明人：潘文霞;吴承康;孟显 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2013-11-22 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：发明提供一种电弧等离子体发生器及提高该发生器运行稳定性安全性的方法，方法包括以下步骤：1）清洁叠片式或分段式电弧等离子体发生器的中间插入段内壁；2）采用离子镀、磁控对靶溅射等方法在中间插入段内壁镀绝缘膜；3）通过测量所镀绝缘膜的电阻，确保内壁均匀镀膜，确认所镀膜层的绝缘性能；4）组装叠片式或分段式电弧等离子体发生器；5）叠片式或分段式电弧等离子体发生器连接电源、气路及水路，引弧试验叠片式或分段式电弧等离子体发生器的性能本发明对叠片式或分段式电弧等离子体发生器的中间插入段内壁镀绝缘膜，减少发生器运行过程中的串弧现象，提高发生器的运行稳定性及安全性。
一种电弧等离子体发生器提高运行稳定性安全性方法

[发明专利]等离子体发生器阴极寿命监测方法和装置-CN200710138257.3无效
发明人：唐宏;薛若连;李本伟;郑庆元 -专利权人：烟台龙源电力技术有限公司
申请日： 2007-07-31 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种等离子体发生器阴极寿命监测方法和装置，包括：获得与流过等离子体发生器阴极的电流有关的信息；根据流过等离子体发生器阴极的电流确定阴极的消耗速率；以及，根据所述消耗速率计算阴极的剩余寿命。根据本发明，可以预测阴极的剩余寿命，从而可以及时更换等离子体发生器阴极。
等离子体发生器阴极寿命监测方法装置

[发明专利]大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器-CN200610011364.5有效
发明人：李和平;包成玉;王华博;孙文廷 -专利权人：清华大学
申请日： 2006-02-24 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： H05H1/40 文献下载
摘要：本申请涉及大气压冷等离子体发生器领域，其特征在于，含有：筒型外壳、用多个单个同轴型冷等离子体发生器构成发生器阵列，该发生器阵列内置于所述的筒型外壳中；在该筒型外壳上开有射频电源接入口和冷等离子体工作气进入口；各单个冷等离子体发生器的内电极并联后接射频电源，而外电极并联后接地，并且开有侧向或轴向工作气入口；在该筒型外壳上还可开有冷却介质进出口。本申请可方便地产生大面积、均匀稳定的冷等离子体射流，该射流的面积也可按选择单个冷等离子体发生器的数量不同进行调整。
大气压射频放电高速等离子体阵列发生器