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- [实用新型]一种曝光机对位系统XYY机构-CN201220465798.3有效
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袁强;刘长征
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东莞市海圣光电科技有限公司
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2012-09-13
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2013-04-17
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种曝光机对位系统XYY机构,包括对位模组固定板、运动板、X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置,X方向移动装置、第一Y方向移动装置和第二Y方向移动装置分别与对位模组固定板、运动板活动连接,还包括X方向动力装置、第一Y方向动力装置和第二Y方向动力装置,X方向动力装置带动X方向移动装置沿X方向往复运动,X方向移动装置带动运动板沿X方向往复移位,第一Y方向动力装置带动第一Y方向移动装置沿Y方向往复运动,第一Y方向移动装置带动运动板沿Y方向往复移位,第二Y方向动力装置带动第二Y方向移动装置沿Y方向往复运动,第二Y方向移动装置带动运动板沿Y方向往复移位。
- 一种曝光对位系统xyy机构
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