“种腔”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网_专利查询网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果32723394个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]腔室内衬及反应腔室-CN200710120745.1有效
发明人：管长乐 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-08-24 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种腔室内衬及反应腔室，包括外层内衬和里层内衬，外层内衬与里层内衬之间留有间隙，里层内衬上开有多个通孔，外层内衬上开有与反应腔室外部相通的进气口，里层内衬上开有与反应腔室外部相通的排气口。工艺气体可以通过进气口进入外层内衬与里层内衬之间的间隙，再由里层内衬上的多个通孔进入反应腔室内部，对工艺气体起到一定的缓冲作用，既能起到保护反应腔室的侧壁的作用，又能起到提高反应腔室内等离子体的均匀性的作用
内衬反应

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201810457537.9有效
发明人：师帅涛;丁安邦;陈鹏;史小平;李春雷;兰云峰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件及反应腔室，该腔室组件包括：电极板，其与射频源电连接，且在电极板上设置有进气口；匀流部件，其采用绝缘材料制作，且与电极板共同构成匀流空间，进气口与匀流空间连通，并且在匀流部件上设置有多个出气口，出气口分别与匀流空间和反应腔室连通。本发明提供的腔室组件，其避免产生空心阴极放电，从而可以提高等离子体的稳定性。
组件反应

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201811511088.8有效
发明人：王帅伟;兰云峰;王勇飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷
组件反应

[实用新型]反应腔顶及CVD反应腔-CN201420547290.7有效
发明人：何其保;吴新江;奚晓明;吴志君;范盯 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-09-22 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反应腔顶及CVD反应腔，其中，反应腔顶包括：反应腔顶主体、第一黄铜管、第二黄铜管、主体固定件、筒夹、外圈固定件、以及盖体，所述第一黄铜管位于反应腔顶主体顶部，所述第一黄铜管直径大于所述第二黄铜管直径冷却水进入到第一黄铜管和第二黄铜管内中和射频产生的热量，反应腔顶主体的顶部在同一时间段内冷却水的流量比反应腔顶主体的其他部位大，使得反应腔顶主体温度平衡，反应腔顶主体内表面的薄膜厚度一致，可以避免反应腔顶主体顶部内表面被过量轰击，从而降低晶圆的报废率；反应腔顶开启之后再次盖回反应腔体时，将反应腔顶主体底部的固定块放置于反应腔体的卡槽中，保证反应腔体内的晶圆厚度均匀，节约成本。
反应 cvd

[实用新型]腔镜腔内排烟系统-CN202021638988.1有效
发明人：郑燕 -专利权人：郑燕
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： A61B18/00 文献下载
摘要：本实用新型属于腔镜排烟设备技术领域，具体涉及腔镜腔内排烟系统；它包括负压吸引器、穿刺器和抓钳，穿刺器包括连接头、密封头和穿刺管，密封头上设置通气口，抓钳包括手柄，手柄均与中间接块连接，中间接块的中部贯穿有推杆钳头包括有下吸头和上夹板，下吸头上设置有吸孔，下吸头与上夹板转动连接；负压吸引器通过连接管连接引流收集瓶，引流收集瓶通过吸烟管连接吸气口，吸烟管上设置三通阀，三通阀通过排气管连接通气口；本实用新型操作使用方便，能够高效辅助腔镜手术进行腔内排烟
腔镜腔内排烟系统

[外观设计]腔镜腔内吻合器-CN202030663207.3有效
发明人：夏玉波;于珍珍;朱东东;冷和恩;陈兆伟 -专利权人：山东威瑞外科医用制品有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： 24-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：腔镜腔内吻合器。2.本外观设计产品的用途：用于在腔镜手术中对组织进行切割和缝合。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。
腔镜腔内吻合

[其他]共振腔-CN87104705无效
发明人：阿兰·R·弗莱 -专利权人：新北区研究中心有限公司
申请日： 1987-06-05 - 公布日： 1988-06-22 - 主分类号： H05B6/04 文献下载
摘要：一个干燥/加热用的微波共振腔，具有至少一个将波长为W的微波能射入共振腔的微波源。通过对共振腔的体积、形状、尺寸的设计以及微波源的布置，使得在共振腔里的处理区域的共振模数量最大，而在微波源处的共振模数量和反射能量最小。
共振

[发明专利]工艺腔-CN201810631977.1在审
发明人：赵庸真;金伶厚;郑志薰;金荣俊;吴政玟;李根泽;李晓山 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了工艺腔以及包括该工艺腔的衬底处理装置。工艺腔包括第一壳体和在第一壳体上的第二壳体。第一壳体包括第一外壁、面对第一外壁的第一分隔壁以及连接第一外壁和第一分隔壁的第一侧壁。
外壁隔壁工艺腔第一壳体第二壳体衬底处理装置第二侧壁第一侧壁

[发明专利]腔密封-CN201710494132.8在审
发明人： P.J.多尔巴 -专利权人：劳斯莱斯有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： B23K20/10 文献下载
摘要：本发明涉及腔密封。一种密封设置在用于燃气涡轮发动机的翼型的壁中的一个或多个开口的方法，该翼型包括至少部分地填充有振动阻尼材料的至少一个腔，该方法包括将金属材料提供到所述翼型的所述壁上以便覆盖所述开口以及将所述金属材料结合到所述翼型的所述壁以密封所述开口的步骤
密封

[发明专利]腔室-CN201611061883.2在审
发明人：杨敬山;郭浩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在其上方的加热装置，该加热装置用于朝向被加工工件辐射热量，加热装置包括：安装板，设置在承载件的上方；热源，设置在安装板的下方，且沿安装板的周向间隔分布本发明提供的腔室，其可以满足对多种尺寸的被加工工件的加热均匀性的要求。
安装板被加工工件加热装置热源调节组件承载件腔室加热均匀性辐射热量径向移动周向间隔种腔室承载

[发明专利]退火腔-CN201910784374.X在审
发明人：余齐兴;杨宏超;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种退火腔，包括腔体、进气装置和排气装置，所述进气装置位于腔体的一侧，所述排气装置位于腔体的另一侧，所述腔体内设有冷板和热板，所述进气装置包括扩散腔室和进气板，所述进气板将扩散腔室与腔体隔断，所述扩散腔室设有进气口，所述进气板上设有多个散气孔，所述排气装置上设有多个排气孔。通过在腔体两侧设置进气装置和排气装置，使工艺气体平稳通过进气口先进入一个小的扩散腔室，再经过散气孔进入工艺腔体内，最后通过排气装置将气体抽出，从而使工艺气体平稳均匀的通过工艺腔体，避免气旋现象的出现，提高了退火的质量
退火

[发明专利]阴极腔-CN201910787359.0在审
发明人：吴勐;杨宏超;贾照伟;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种阴极腔，包括阴极腔骨架、进液通道口和流量调节装置，所述流量调节装置包括固定层和旋转层，所述固定层安装在阴极腔骨架上并覆盖进液通道口，所述固定层和旋转层均设有多个相匹配的通孔形成阴极腔进液孔，所述旋转层可转动的与固定层相连以调节阴极腔进液孔大小。本发明通过调节旋转层与固定层的通孔的重合度来灵活调节进入阴极腔内溶液流量的大小，从而防止阴极腔内溶液鼓起的现象，保持液面平稳，提高电镀质量。
阴极

[发明专利]腔系列-CN201010502726.7有效
发明人：饭尾逸史;一色雅仁 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种腔系列，其目的在于将用于开关盖部的设备变得简单易构筑，对降低成本也有效。其具备：轨道(11、12)，沿着多个腔(4A～4E)的排列方向(D)而配置；顶板变换器(13)，沿着轨道(11、12)移动自如，且分别使设置在多个腔(4A～4E)的多个顶板(盖部)(9)升降而可以开关腔顶板变换器(13)沿着多个腔(4A～4E)的排列方向(D)移动自如，且可以升降任意腔(4A～4E)的顶板(9)。其结果，能够用一个顶板变换器(13)使多个腔(4A～4E)开关，且将用于开关腔(4A～4E)的设备变得简单易构筑，对降低成本也有效。
系列

[发明专利]射频腔-CN201580063698.4有效
发明人： I·科诺利夫;G·伯特 -专利权人：牛津大学创新公司
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H05H7/06 文献下载
摘要：用于加速带电粒子的射频(RF)腔装置(22)包括第一和第二腔臂(24，26)。第一和第二腔臂(24，26)具有相应的第一和第二旋转对称轴线(28，30)，并且每个腔臂包括至少一个单元(32，34；36，38)。第一和第二腔臂(24，26)通过谐振耦合器(40)连接。第一腔臂(24)的(一个或更多个)单元(32，34)具有等于第二腔臂(26)的(一个或更多个)单元(36，38)的对应轴向尺寸参数的轴向尺寸参数，并且第一腔臂(24)的(一个或更多个)单元(32，34)具有不同于第二腔臂(26)的(一个或更多个)单元(36，38)的对应的(一个或更多个)非轴向尺寸参数的至少一个非轴向尺寸参数。
射频

[发明专利]反应腔-CN201310250511.4无效
发明人：林翔;丁大鹏 -专利权人：光垒光电科技（上海）有限公司
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种反应腔。所述反应腔包括位于所述反应腔顶部的喷淋头和位于所述反应腔底部且正对所述喷淋头的基座；在所述喷淋头上加载电势成为正极，在所述喷淋头下方设置一负极，从而形成了一电场，这有助于减少甚至杜绝反应正离子向着喷淋头的下表面扩散
反应

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top