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- [实用新型]一种硅片表面磨蚀架及表面磨蚀装置-CN201720206096.6有效
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朱胜利
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朱胜利
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2017-03-03
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2018-03-13
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B24B31/10
- 本实用新型属于硅片表面处理设备领域,具体涉及一种硅片表面磨蚀架及表面磨蚀装置。该磨蚀架包括固定架、驱动装置、吸附盘和磨蚀盘;磨蚀盘的正面为磨蚀面,磨蚀盘的背面与吸附盘扣合形成吸附空腔,磨蚀盘上还设置有多个与吸附空腔连通的吸附孔;吸附盘通过驱动装置安装于固定架上,吸附盘上还设置有多个与固定架相配合的限位装置本实用新型通过将待处理硅片吸附固定于磨蚀架上,利用磨蚀槽内的磨蚀颗粒悬浮液对硅片进行表现处理,完全采用机械磨蚀工艺替代了传统的酸碱腐蚀工艺,安全环保,处理效率高。
- 一种硅片表面磨蚀装置
- [实用新型]硅片表面磨蚀装置-CN201720566143.8有效
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朱胜利
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朱胜利
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2017-05-19
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2018-03-13
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B24B7/22
- 本实用新型属于硅片表面处理技术领域,具体涉及一种硅片表面磨蚀装置。该装置包括用于固定等待处理的硅片的吸附架和位于吸附架上方的磨蚀架;磨蚀架包括磨蚀盘、固定架和驱动装置,磨蚀盘通过驱动装置安装于固定架上;磨蚀盘的下表面为磨蚀面,磨蚀盘的上表面设置有储液腔,储液腔通过注液管道与储存有磨蚀颗粒悬浮液的正压容器连通;磨蚀盘的磨蚀面上设置有多个送料槽以及与储液腔连通的通孔。本实用新型完全采用机械磨蚀对硅片表面进行处理,而不需要使用强腐蚀性的酸、碱等化学物质,安全环保,处理效率高。
- 硅片表面磨蚀装置
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