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- [实用新型]电镀设备-CN202022160900.6有效
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史蒂文·贺·汪;周志伟
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硅密芯镀（海宁）半导体技术有限公司
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2020-09-27
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2021-06-11
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C25D17/00
- 本实用新型提供一种电镀设备，其包括电镀腔、晶圆夹具和电源，所述电源的负极和所述晶圆夹具电连接，所述电镀腔的数量为多个，所述电镀设备还包括移动机构，所述移动机构连接于所述晶圆夹具，所述移动机构能够在多个所述电镀腔之间转运所述晶圆夹具，所述电源的正极分别与多个所述电镀腔电连接。该电镀设备，通过将电源正极分别与多个电镀腔电连接，并利用机械手将电连接至电源负极的晶圆夹具在这些电镀腔之间进行移动的方式，使单个电源进行供电就能满足固定于晶圆夹具上的晶圆在多个电镀腔中分别进行电镀的目的，从而有效降低了电镀设备中对电源数量的需求，降低了设备成本。
- 电镀设备
- [发明专利]电镀设备-CN201911404930.2在审
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贾照伟;焦欣欣;王坚;王晖
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盛美半导体设备（上海）股份有限公司
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2019-12-31
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2021-07-16
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C25D21/00
- 本发明提供一种电镀设备，电镀设备包括多个电镀模块，每个所述电镀模块包括为其提供电镀液的供液槽；以及连通管路，设置于不同的供液槽之间，以实现对应供液槽之间的液体互通。通过上述方案，本发明的电镀设备，对于多个电镀模块中的供液槽，用于供应相同电镀时，可以通过连通管路实现相互连通，对各供液槽中的电镀液相互混合，使得多个供液槽内的电镀液理化性质相同，从而可以对其中任意一个电镀模块中的电镀液进行分析以表征多个电镀模块中电镀液的特征，多个供液槽通过连通管路相互连通，有利于各个电镀模块中电镀效果的一致性，还可以实现相互之间供液槽液位的调整。
- 电镀设备
- [实用新型]电镀设备-CN202022163349.0有效
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史蒂文·贺·汪
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硅密芯镀（海宁）半导体技术有限公司
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2020-09-27
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2021-06-11
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C25D17/00
- 本实用新型提供一种电镀设备，其包括电镀腔、晶圆夹具和电源，所述电镀设备还包括移动机构，所述移动机构连接于所述晶圆夹具，移动机构能够带动晶圆夹具移入或移出电镀腔；电源的数量为多个，多个电源的负极均和晶圆夹具电连接，多个电源的正极均和电镀腔电连接，多个电源的电流范围均不同。该电镀设备，通过设置多个具有不同电流范围的电源分别向晶圆夹具及电镀腔供电，使得移动机构将具有晶圆的晶圆夹具移入电镀腔之后，可根据电镀腔中所使用工艺差异，选择所需要的电源的量程，以匹配对应工艺所需要的电流精度该电镀设备通过设置多个不同量程的电源，根据应用场景进行切换，以使用最能满足当前工艺的电源进行供电，提高了电镀质量。
- 电镀设备
- [发明专利]电镀设备-CN201510434043.5有效
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陈小波
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东莞市万阳通五金制品有限公司
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2015-07-21
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2018-05-22
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C25D17/00
- 本发明公开了一种电镀设备，包括电镀料箱、盛有电镀液的电镀池(14)以及料箱架(16)，其中，所述料箱架架设在所述电镀池上方，并且所述料箱架的顶端设有至少两个起吊机构(17)；所述起吊机构通过牵引绳(18)与所述电镀料箱相连接以驱动所述电镀料箱降至所述电镀池内并浸入所述电镀液中，或者驱动所述电镀料箱从所述电镀池内上升并脱离所述电镀液，所述电镀池的池口上设有滑槽，所述料箱架的底端设有与所述滑槽相配合的滑轮且所述滑轮能够于所述滑槽内滑动该电镀设备能够方便快捷地对大量小体积的零件进行电镀处理，并且电镀面均匀，电镀操作效率高。
- 电镀设备
- [实用新型]电镀设备-CN201520535369.2有效
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胡枝丽;李华生;沈福建;江豪;赵鑫
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安徽江威精密制造有限公司
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2015-07-21
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2015-12-16
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C25D17/00
- 本实用新型公开了一种电镀设备，包括电镀料箱、盛有电镀液的电镀池(14)以及料箱架(16)，其中，所述料箱架架设在所述电镀池上方，并且所述料箱架的顶端设有至少两个起吊机构(17)；所述起吊机构通过牵引绳(18)与所述电镀料箱相连接以驱动所述电镀料箱降至所述电镀池内并浸入所述电镀液中，或者驱动所述电镀料箱从所述电镀池内上升并脱离所述电镀液，所述电镀池的池口上设有滑槽，所述料箱架的底端设有与所述滑槽相配合的滑轮且所述滑轮能够于所述滑槽内滑动该电镀设备能够方便快捷地对大量小体积的零件进行电镀处理，并且电镀面均匀，电镀操作效率高。
- 电镀设备
- [实用新型]电镀设备-CN202222930111.5有效
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史蒂文·贺·汪;林鹏鹏;孙健彭;覃莹
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新阳硅密（上海）半导体技术有限公司
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2022-11-03
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2023-03-07
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C25D17/00
- 本实用新型提供一种电镀设备，涉及晶圆电镀技术领域，一种电镀设备，其包括电镀头和电镀阳极，所述电镀头能够夹持晶圆并带动所述晶圆旋转，所述电镀设备还包括有：遮挡部，所述遮挡部固定于所述晶圆与所述电镀阳极之间，晶圆的缺口在旋转过程中能够被遮挡部遮挡；定位传感器，所述定位传感器与所述电镀头的驱动晶圆旋转的电机电连接，所述定位传感器相对所述遮挡部的位置固定，用于检测缺口。在电镀过程中，当检测到晶圆的缺口经过遮挡部时，通过降低晶圆的转速，使晶圆在缺口被遮挡部遮挡时的转速小于缺口在不遮挡时的转速，能够降低晶圆的缺口附近的有效电镀时间，从而使得晶圆的缺口附近区域的电镀厚度降低，提高了晶圆的电镀均匀性。
- 电镀设备
- [发明专利]电镀设备-CN201210139582.2无效
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庄思萌
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统钻企业有限公司
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2012-05-08
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2013-11-13
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C25D17/00
- 本发明涉及一种电镀设备，用于电镀一待电镀组，该电镀设备包含：一电镀槽、一正极部、一负极部、以及至少两金属对象。其中，该电镀槽设置有一正极组件；该正极部包括多个正极构件；该负极部包括多个负极构件，该正极部和该负极部分别设置于该电镀槽内的两相对侧；该两金属物件为纯由金属所制成，该两金属物件设置于该电镀槽内，该两金属对象和该待电镀组均电性连接于该正极组件
- 电镀设备
- [发明专利]电镀设备-CN201510944514.7在审
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苗焱
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天津骏永汽车零部件有限公司
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2015-12-14
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2016-04-06
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C25D17/02
- 本发明提供了电镀设备，包括设备本体和长方形的电镀槽，所述电镀槽盛放有电镀液，所述电镀槽内水平设置有两块阳极板，每块阳极板的下方还设有遮蔽板，所述阳极板和遮蔽板平行设置，所述电镀物品通过送料辊移动，所述遮蔽板上设有多个导流通孔，所述遮蔽板固定在电镀槽内壁上；所遮蔽板为绝缘材质，所述遮蔽板的边缘设有缓冲卡套；所述阳极板和遮蔽板上均设有一排送料辊，所述电镀槽的顶部通过密封盖体密封。本发明所述的电镀设备具有以下优势：通过阳极板和遮蔽板上的送料辊的传动来解决较长的电镀物品的移动问题，通过多层阳极板和遮蔽板的间隔设置进一步提升电镀效果。
- 电镀设备
- [实用新型]电镀设备-CN202223099329.7有效
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邱良芳;陈晓红
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扬昕科技（苏州）有限公司
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2022-11-22
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2023-05-05
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C25D17/00
- 本实用新型提供一种电镀设备，包括电镀槽、加热元件、第一杆件、第二杆件、阳极挂架、阴极挂架以及隔板。电镀槽用于容纳电镀液及被镀件。电镀槽具有电镀区及加热区，被镀件位于电镀区且浸于电镀液中。加热元件配置于加热区而用于加热电镀液。第一杆件配置于电镀槽且邻近于电镀槽的一侧。第二杆件配置于电镀槽且邻近于电镀槽的另一侧。阳极挂架挂设于第一杆件。阴极挂架的一端挂设于第二杆件且另一端连接被镀件。隔板连接于第一杆件及第二杆件而阻隔于电镀区与加热区之间。本案的电镀设备可藉由设置于电镀区与加热区之间的隔板，避免加热元件的热能直接传导至被镀件，以有效地改善镀层厚度不均的问题，并避免被镀件的第一端产生金属瘤。
- 电镀设备
- [实用新型]电镀设备-CN201521132511.5有效
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林奕昌;谢仁钱;张海瑞
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成霖企业股份有限公司
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2015-12-31
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2016-08-10
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C25D17/06
- 本实用新型提供一种电镀设备，包括至少一电镀挂具，电镀挂具包括一吊挂框架、多数个摆动框架及一拉杆；摆动框架系沿着吊挂框架上下间隔排列，且各具有二摆动杆枢设于吊挂框架左、右边侧，以及一连动杆连接于各左右相对的摆动杆间，同时每一摆动杆具有一个可供待电镀物固定的定位端；拉杆系枢接于各摆动框架的连动杆，可供使用者手动操作以同步作动各摆动框架的连动杆，迫使各摆动杆产生杠杆摆动，进而翻转各待电镀物倒回残留于内的电镀液。电镀设备还包括一挂载装置，可供电镀挂具勾挂定位，并通过自动控制电镀挂具升降与横向移动，而依序沉浸与脱离各电镀槽，达到半自动化及省时、省力操作，提高电镀效率，电镀质量及降低电镀成本等诸多功效。
- 电镀设备
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