专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]形成硫属化合物薄膜的方法-CN200980113520.0有效
  • 李起薰;李正旭;柳东浩 - 株式会社IPS
  • 2009-04-16 - 2011-04-06 - H01L21/205
  • 在根据本发明的形成硫属化合物薄膜的方法中,将其中形成有图案的基板载入至反应器中,以及将气体供应至基板。此处,气体包括选自锗气体、镓气体、铟气体、硒气体、锑气体、碲气体、锡气体、银气体及硫气体的至少一者。第一冲洗气体供应至基板以便冲洗供应至基板的气体,然后将用于还原气体的反应气体供应至基板,以及将第二冲洗气体供应至基板以便冲洗供应至基板的反应气体。根据本发明,藉由以此方式改变气体的冲洗时间或调节反应器内部的压力,使得在图案内部的薄膜形成速度大于在图案上部的薄膜形成速度。
  • 形成化合物薄膜方法

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