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[发明专利]基于碳纳米管微纳气敏传感器阵列的电子鼻系统-CN201310101114.0无效
发明人：惠国华;黄洁;王敏敏;马美娟 -专利权人：浙江工商大学
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G01N27/70 文献下载
摘要：一种基于碳纳米管微纳气敏传感器阵列的电子鼻系统，包括气敏传感器阵列和用以根据气敏传感器阵列识别不同类型气味的识别系统，所述气敏传感器阵列与所述识别系统连接，所述气敏传感器阵列为碳纳米管微纳气敏传感器阵列，所述碳纳米管微纳气敏传感器阵列中，每个碳纳米管微纳气敏传感器包括纳米碳管电极、铝板电极和绝缘薄膜，所述纳米碳管电极上覆盖所述绝缘薄膜，所述绝缘薄膜上设有用于对应不同气体的极性分布的一列凹槽，所述绝缘薄膜上覆盖铝板电极本发明提供了一种有效避免交叉敏感、准确度高、不易受外界环境影响、气体选择性较大、成本较低的基于碳纳米管微纳气敏传感器阵列的电子鼻系统。
基于纳米管微纳气敏传感器阵列电子系统

[发明专利]一种FET阵列气敏传感器及其加工方法-CN202211372287.1在审
发明人：任青颖;柳俊文;史晓晶;李卫;胡引引 -专利权人：南京元感微电子有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及气敏传感器技术领域，公开一种FET阵列气敏传感器及其加工方法。其中FET阵列气敏传感器包括：衬底，设有隔热腔室；绝缘层，位于隔热腔室的一端；硅岛，位于绝缘层的第一侧面上；FET加热阵列，包括若干个FET加热单元，每个FET加热单元均包括感应电极组和若干个掺杂极，掺杂极分为源极和漏极；若干个气敏层，每个气敏层均覆盖在一个感应电极组上。本发明公开的FET阵列气敏传感器，能够在相同的电流下将至少两个气敏层均匀地加热至不同的温度，增加了敏感气体浓度检测的准确性，能够实现多种气体的识别，提升了FET阵列气敏传感器的应用空间，降低了气敏层出现裂纹的概率，有利于FET阵列气敏传感器的批量化生产。
一种 fet 阵列传感器及其加工方法

[发明专利]半导体气敏传感器及其制备方法-CN201610179398.9有效
发明人：刘静;伊福廷;张天冲;王波;王雨婷 -专利权人：中国科学院高能物理研究所
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体气敏传感器及其制备方法。该半导体气敏传感器以大高宽比硅纳米柱阵列为基底，包括：硅片；制备于硅片表面的大高宽比纳米柱阵列；包裹于大高宽比纳米柱阵列的气敏材料层；制备于气敏材料层表面的插指电极。该半导体气敏传感器的制备方法，包括：在硅片表面制备大高宽比纳米柱阵列；在硅纳米柱阵列表面包裹气敏材料层；在气敏材料层表面制备插指电极。本发明通过将大高宽比的纳米柱阵列以基底的形式应用于气敏传感器的表面，借助于硅表面的大高宽比柱状纳米结构，可以有效增加基底的表面比，提高单位面积上气敏材料量，增加气体分子的收集率与吸附性，从而实现提高气敏传感器性能的目的
半导体传感器及其制备方法

[发明专利]多通道石英晶体微天平阵列以及基于该阵列的测量系统-CN201310408641.6有效
发明人：李磊;徐甲强;柴小卫;孙鹏;王晓华;蔡玉宝;陈云鹏;张飞飞;解莹莹;孙兰轩;郭彩萍 -专利权人：河南圣玛斯光电科技有限公司
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01N5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多通道石英晶体微天平阵列以及基于该阵列的测量系统。其中，微天平阵列包括QCM气敏传感器阵列，阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路；所述阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器。测量系统包括阵列以及与阵列相连接的FPGA模块和上位机。通过石英晶体微天平阵列测量室内有害气体的种类和浓度，解决了单一气敏传感器不具备自动识别气体种类和数量的问题。
通道石英晶体天平阵列以及基于测量系统

[发明专利]基于微纳气敏传感器的空气质量分析方法-CN201310101148.X无效
发明人：惠国华;王敏敏;黄洁;马美娟 -专利权人：浙江工商大学
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种基于微纳气敏传感器的空气质量分析方法，包括以下步骤：1）建立气体检测系统，包括气敏传感器阵列和用以根据气敏传感器阵列识别不同气体浓度的识别系统，气敏传感器阵列采用碳纳米管微纳气敏传感器阵列；2）将待检测地区的空气质量的各个等级的空气样本，通过所述气体检测系统，所述碳纳米管微纳气敏传感器的响应信号经过主成分分析得到主成分数据，建立不同空气质量等级与主成分数据的对应序列；3）采集待检测地区的空气，得到各个碳纳米管微纳气敏传感器的响应信号，
基于微纳气敏传感器空气质量分析方法

[实用新型]手持式酒气检测仪-CN200320100901.5无效
发明人：何秀丽;贾建;李建平;高晓光 -专利权人：中国科学院电子学研究所
申请日： 2003-10-13 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： G01N33/98 文献下载
摘要：本实用新型由低功耗微型气敏传感器阵列，气室，抽气管，微控制器及存储电路，LCD显示器，键盘，PC接口及外壳组成，其中，微控制器及存储电路置于外壳内；微控制器及存储电路分别与低功耗微型气敏传感器阵列，泵，LCD显示器，键盘，PC接口电连接；气室置于外壳的上表面外，传感器阵列置于气室的下侧内壁上，气室通过置于外壳内的抽气管与泵连接；其特征在于，低功耗微型气敏传感器阵列是由微电机械系统(MEMS)技术制备的集成化气敏传感器阵列
手持酒气检测

[发明专利]一种一维硅纳米线阵列气敏传感器的制备方法-CN201610498638.1在审
发明人：胡明;王毅斐;刘相承;王自帅;袁琳 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种一维硅纳米线阵列气敏传感器的制备方法，包括硅基片的清洗、排列纳米小球、组装模板、制备硅纳米线、制备一维硅纳米线阵列气敏传感器元件的步骤；本发明的一维硅纳米线阵列气敏传感器的制备方法所得的气敏传感器并且，所制备的一维硅纳米线阵列气敏传感器元件可在室温下检测超低浓度的氮氧化物气体，具有高灵敏度、良好选择性的优点。
一种一维硅纳米阵列传感器制备方法

[发明专利]一种基于四氧化三钴纳米针的气敏传感器及其制备方法-CN201310493641.0有效
发明人：朱丽萍;文震;李亚光 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于四氧化三钴纳米针阵列的气敏传感器及其制备方法，该传感器的结构自下往上依次为绝缘基片、梳状交叉电极层和四氧化三钴气敏传感层，四氧化三钴气敏传感层为四氧化三钴纳米针阵列。本发明气敏传感器的基于水热反应制备，水热反应中所使用的水溶液中含有钴盐、结合剂和碱性反应物。本发明的气敏传感器以四氧化三钴纳米针阵列作为气敏传感层，器件结构简单，性能优越，且纳米针具有较大的比表面积和电子迁移率，有利于提高气敏传感器的灵敏度，降低最佳工作温度为130℃，且制备方法简单，成本低，避免了分散或操纵纳米材料的困难，制备的气敏传感器性能差异小，适用于工业化批量生产。
一种基于氧化纳米传感器及其制备方法

[发明专利]一种半导体气敏传感器及其制备方法-CN201810048331.0在审
发明人：王颖;韩宁;汪舟;陈运法 -专利权人：中国科学院过程工程研究所
申请日： 2018-01-18 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体气敏传感器及其制备方法，所述半导体气敏传感器包括金属纳米颗粒阵列和气敏薄膜，所述气敏薄膜沉积在所述金属纳米颗粒阵列上，所述气敏薄膜的表面具有高低起伏的有序结构。本发明的高低起伏的有序结构提高了气敏薄膜与气体之间的相互作用面积，气敏薄膜沉积在金属纳米阵列上，通过调整金属纳米阵列的排布方式可以实现气敏薄膜结构的有效调控，有效提高了气敏薄膜检测气体的灵敏度。
气敏薄膜半导体气敏传感器金属纳米颗粒金属纳米阵列高低起伏沉积制备排布方式有效调控灵敏度薄膜检测

[发明专利]一种贵金属修饰晶圆级MEMS气体传感器、制备方法及应用-CN202211277167.3在审
发明人：段国韬;张征;罗立扬 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种贵金属修饰晶圆级MEMS气体传感器、制备方法及应用，属于气敏薄膜制备领域。方法包括：步骤S1、在硅晶圆基片上制备MEMS微加热板阵列；步骤S2、在所述MEMS微加热板阵列的每个传感单元中心区域制备气敏薄膜；步骤S3、在所述气敏薄膜表面均匀沉积贵金属，用于修饰所述气敏薄膜，形成MEMS气体传感器阵列；步骤S4、将所述MEMS气体传感器阵列进行空气‑氢气‑空气循环高温烧结退火；步骤S5、将退火后的MEMS气体传感器阵列划片、封装，形成单个MEMS气体传感器。通过本发明的方法制备得到的传感器能够同时提升MEMS气体传感器的灵敏性、一致性和稳定性。
一种贵金属修饰晶圆级 mems 气体传感器制备方法应用

[发明专利]油气管道泄漏监控系统-CN201510592676.9在审
发明人：莫尚毅 -专利权人：成都千易信息技术有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： F17D5/02 文献下载
摘要：本发明涉及了一种油气管道泄漏监控系统，包括监控中心、多个监控子站、光纤传感分析仪、激光器、传感光缆和分布式气敏传感器阵列，所述监控中心设置主控服务器和显示屏，所述主控服务器连接光纤传感分析仪和监控子站，所述监控子站内设置监控摄像头、报警装置、拾音器和扩音装置，所述传感光缆敷设在输油气管道表面，传感光缆一端连接激光器，另一端连接光纤传感分析仪，所述分布式气敏传感器阵列由多个设置在输油气管道表面的气敏传感器组成，所述分布式气敏传感器阵列就近连接监控子站。本发明在输油气管道表面设置气敏传感器阵列，能够有效地监测油气泄漏现象、及时定位泄漏地点，免去的人工排查的麻烦，减少损失和危害。
油气管道泄漏监控系统

[实用新型]多通道石英晶体微天平阵列-CN201320559390.7有效
发明人：李磊;徐甲强;柴小卫;孙鹏;王晓华;蔡玉宝;陈云鹏;张飞飞;解莹莹;孙兰轩;郭彩萍 -专利权人：河南圣玛斯光电科技有限公司
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： G01N5/00 文献下载
摘要：一种多通道石英晶体微天平阵列，它包括QCM气敏传感器阵列，阵列中的每一个气敏传感器连接各自的QCM振荡电路；所述阵列中的气敏传感器为彼此之间对不同气体敏感的气敏传感器。本实用新型通过石英晶体微天平阵列测量室内有害气体的种类和浓度，解决了单一气敏传感器不具备自动识别气体种类和数量的问题。
通道石英晶体天平阵列

[发明专利]一种基于石墨烯气敏传感器阵列的电力变压器故障智能诊断装置-CN201610388015.9有效
发明人：张冬至;常洪燕;刘静静;刘润华 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2016-06-02 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯气敏传感器阵列的电力变压器故障智能诊断装置，包括变压器油箱、油气分离膜、气体测试腔、石墨烯基气敏传感器阵列、数据采集模块、计算机、深度置信网络专家系统、Labview终端显示模块石墨烯基气敏传感器阵列为六单元气敏传感器阵列，通过检测石墨烯基气敏传感器阵列的电阻变化实现变压器油中溶解气体的组分和含量检测，采用深度置信网络专家系统根据不同气体种类及浓度与故障类型的对应关系判断电力变压器的故障类型该发明适用于电力变压器故障智能诊断，具有实时监测、声光报警、无线远程传输的特点。
一种基于石墨烯气敏传感器阵列电力变压器故障智能诊断装置

[发明专利]微结构气敏传感器阵列芯片及其制备方法-CN200410033786.3无效
发明人：高晓光;李建平;何秀丽;王利 -专利权人：中国科学院电子学研究所
申请日： 2004-04-16 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： H01L49/00 文献下载
摘要：本发明属于气敏传感器技术领域，是微结构气敏传感器阵列的芯片结构及制备方法。该芯片由硅片、加热电极、测量电极和气敏薄膜等组成，其在做基底的硅片中间部位有≥1个隔开独立的贯通孔，在各通孔上依次覆有：支撑膜、绝缘膜；支撑膜中心有加热电极，绝缘膜中心有测量电极，测量电极上覆盖气敏薄膜，在加热电极与测量电极间有绝缘膜；各个加热电极和气敏薄膜分别与通孔相对设置。本发明用微电机械系统(MEMS)加工技术大批量生产微结构气敏传感器阵列，采用金属薄膜作为加热电极和测量电极，有很好的耐高温性，与多晶硅加热的传感器及阵列相比稳定性大大提高。本发明传感器阵列中气敏薄膜用阵列自身的加热电极进行退火处理，大大简化了加工工艺。
微结构传感器阵列芯片及其制备方法

[实用新型]一种便携式肉类检测器-CN201520119356.7有效
发明人：陶玲 -专利权人：陶玲
申请日： 2015-02-28 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： G01N33/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及了一种便携式肉类检测器，包括外壳1、电路板2、气敏传感器阵列3、开关4、显示屏5、电源6，其特征在于：气敏传感器阵列3设置在在外壳1顶面，开关4和显示屏5固定在外壳1正面，外壳1内设置电路板2，气敏传感器阵列3与电路板2连接，电源6通过开关4与电路板2连接，电路板2上设置有处理器7和存储器8，气敏传感器阵列3由多个可检测特定气体的气敏传感器（3a、3b、3c、3d、3e、3f）组成。
一种便携式肉类检测器

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