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- [发明专利]对准衬底的方法-CN201010259592.0有效
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吴昇勋;卢成和;朴岘克;安致弘
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AP系统股份有限公司
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2010-08-19
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2011-03-30
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H01L21/68
- 提供一种衬底对准方法。所述方法包含将衬底安置在衬底对准设备上；确定是否识别出衬底的对准标记；以及在识别出所有对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准来对准衬底，在未识别出一半以上的对准标记的位置的条件下，产生对准出错信号，或在识别出至少一半的对准标记的位置的条件下，基于识别出的对准标记的位置来确定未识别出的对准标记的位置，且使用未识别出的对准标记的经确定的位置和识别出的对准标记的位置来对准衬底。通过预测未识别出的对准标记的位置，即使未识别出对准标记中的一些，仍可迅速地确认对所述对准标记的识别，且可有效地对准衬底。
- 对准衬底方法
- [发明专利]对准衬底的方法-CN201010256233.X有效
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吴昇勋;金性秀;程成德;文元根
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AP系统股份有限公司
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2010-08-16
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2011-03-30
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H01L21/68
- 本发明提供一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元。所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记。所述方法包含减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。通过算术运算，搜索X、Y和θ方向上使多对对准标记的未对准值皆落在容许范围内的虚拟移动算术值，且将所述衬底移动到所述虚拟移动算术值。这样，可通过移动所述衬底一次而无需移动多次来使所述衬底对准。因此，可缩短对准所述衬底所需的时间。
- 对准衬底方法
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