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[发明专利]一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构-CN201611008331.5有效
发明人：肖洁;李斌;曹明旺 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接，本发明具有结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟等优点。
推舟杆组件石墨舟驱动组件推舟机构驱动旋转旋转式转动

[实用新型]具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备-CN202020939948.4有效
发明人：朱辉;梁浩;谭瞻;刘帅;张春成;赵志然 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备，推舟机构包括推舟座、推舟桨组、辅助支撑和水平直线模组，推舟座固定在水平直线模组的直线滑块上，辅助支撑包括支撑座和支撑杆，支撑座固定在水平直线模组的下方，支撑杆安装在支撑座上，推舟桨组一端固定在推舟座，另一端搭在支撑杆上。设备包括炉体、净化台和石英管，石英管内设有用于承载石墨舟的两个电极杆，还包括上述的具有辅助支撑的推舟机构，辅助支撑设在水平直线模组靠近炉体的一端。本实用新型通过新增辅助支撑，将大产能石墨舟悬臂梁式受力改为简支梁式，大大降低石墨舟搬运过程的挠度，实现送舟和取舟过程安全无触碰。
具有辅助支撑机构 pecvd 设备

[实用新型]推舟式两管还原炉-CN200920037282.7有效
发明人：梁建坤 -专利权人：南京寒锐钴业有限公司
申请日： 2009-02-23 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： F27B13/02 文献下载
摘要：本实用新型提出一种推舟式两管还原炉，包括舟皿、推舟机构、入舟口、炉管、第一加热带、冷却带、进气口以及出舟口。炉管穿过第一加热带和冷却带，进气口设置于上述炉管的管体上，舟皿在推舟机构的推动下通过入舟口进入炉管，并依次经过第一加热带、冷却带以及出舟口。推舟式两管还原炉还包括第二加热带，设置于第一加热带和冷却带之间，且炉管穿过第二加热带。本实用新型的推舟式两管还原炉具有提高产能、降低返工率、缩小占地面积和减少冷却水用量等优点。
推舟式两管还原

[发明专利]一种管式PECVD预热系统实验装置-CN202010442305.3有效
发明人：肖洁;李明;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD预热系统实验装置，包括预热箱、预热推舟机构、舟体转移机构和转移支撑架，预热箱设于炉体柜的一侧，预热推舟机构包括推舟导轨和推舟杆组，推舟导轨固定在净化台一侧，推舟导轨上设有推舟滑块，推舟杆组一端固定在推舟滑块上，另一端悬空并且朝向预热箱，推舟杆组上设有可在推舟杆组伸入预热箱之后关闭预热箱入口的预热箱门，转移支撑架固定在净化台上，舟体转移机构设于转移支撑架上，舟体转移机构包括舟体抓手、承重底座和升降组件，转移支撑架上设有转移导轨，升降组件设于承重底座上，升降组件与舟体抓手连接，承重底座可移动的设于转移导轨上。本发明具有可以快速验证石墨舟预热方案的可行性的优点。
一种 pecvd 预热系统实验装置

[发明专利]一种循环式连续规模化石墨烯薄膜制备装置-CN201610478340.4有效
发明人：李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种循环式连续规模化石墨烯薄膜制备装置，包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B、样品舟A和样品舟B，沿低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的两侧内壁中部分别水平固定设置有滑轨，样品舟A和样品舟B的两侧均分别对应滑轨转动连接有滑轮组，样品舟A和样品舟B通过各自两侧的滑轮组沿滑轨滑动；低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B，推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B，取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离样品舟A，取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离样品舟B。有益效果是增大样品舟载重量等。
一种循环连续规模化石墨薄膜制备装置

[发明专利]一种流水式连续规模化石墨烯薄膜制备装置-CN201610480940.4有效
发明人：李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 -专利权人：重庆墨希科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种流水式连续规模化石墨烯薄膜制备装置，包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B和样品舟，沿低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的两侧内壁中部分别水平固定设置有滑轨，样品舟的两侧分别对应滑轨转动连接有滑轮组，样品舟通过其两侧的滑轮组沿滑轨滑动；低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B，推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B，取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离样品舟，取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离样品舟。有益效果是增大样品舟载重量、连续生产等。
一种流水连续规模化石墨薄膜制备装置

[发明专利]一种循环式石墨烯薄膜制备装置-CN201610479544.X有效
发明人：李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种循环式石墨烯薄膜制备装置，包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B、样品舟A和样品舟B，沿所述低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的底部内壁水平固定设置有滑轨，在所述滑轨上方、所述低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有平板车，所述样品舟A和样品舟B置于对应的所述平板车上；低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B，推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B，取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离样品舟A下方的平板车，取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离样品舟B下方的平板车。
一种循环石墨薄膜制备装置

[实用新型]推舟座及管式PECVD设备-CN202222847363.1有效
发明人：杨莎;袁骜 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄膜工艺设备技术领域，提供一种推舟座及管式PECVD设备。推舟座包括连接杆、安装框架及安装组件，所述连接杆适于安装推舟桨，所述安装框架适于连接模组滑块，安装组件设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一调节件连接所述连接杆的一端，所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度本实用新型提供的推舟座及管式PECVD设备，可以通过第一调节件调节连接杆的高度，由此可以在竖直方向上调节推舟桨，保证推舟桨因石墨舟载片量发生变化时推舟桨不会与炉管发生刮擦，进而可以适应大载片量的生产过程
推舟座 pecvd 设备

[发明专利]一种流水式石墨烯薄膜制备装置-CN201610479511.5有效
发明人：李占成;史浩飞;高翾;张永娜;黄德萍;姜浩;于本文 -专利权人：重庆墨希科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种流水式石墨烯薄膜制备装置，包括高温工艺腔、低温冷却腔A、低温冷却腔B和样品舟，沿所述低温冷却腔A、高温工艺腔和低温冷却腔B的底部内壁水平固定设置有滑轨，在所述滑轨上方、所述低温冷却腔A内设有平板车，所述样品舟置于所述平板车上；低温冷却腔A和低温冷却腔B内分别设有结构一致的推舟装置A和推舟装置B，推舟装置A和推舟装置B上分别可拆卸的连接有取样杆A和取样杆B，取样杆A远离推舟装置A的一端可由推舟装置A带动连接或脱离平板车，取样杆B远离推舟装置B的一端可由推舟装置B带动连接或脱离平板车。有益效果是增大样品舟载重量、连续生产等。
一种流水石墨薄膜制备装置

[实用新型]粉末冶金烧结炉专用链条传动连续式推舟装置-CN200720125263.0有效
发明人：罗兴建 -专利权人：重庆帆禄昊机械制造有限公司
申请日： 2007-09-21 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：一种粉末冶金烧结炉专用链条传动连续式推舟装置，由电动机(16)、减速器(15)、联轴器(14)、动力输入轴(12)、动力输入链轮(11)、动力链条(8)、动力输出链轮(6)、动力输出轴(9)、推舟主动链轮(7)、推舟链条(3)、推舟从动链轮(2)、推舟从动轴(4)、轴承座(10)、挡推块(1)、推舟滑轮(13)和推舟轨道(5)组装而成。能连续进料、均匀烧结；可以满足在1160－1200℃的高温烧结条件，确保高品质粉末冶金产品的生产，产品性能指标提高30％左右；由于它能实现在更高温度条件下烧结，就可缩短烧结时间，从而增加产量；同时，与网带推舟装置相比造价低
粉末冶金烧结炉专用链条传动连续式推舟装置

[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置-CN202021239601.5有效
发明人：刘景博;王玉明;陈晖 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，包括：推舟承重机构，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆；以及推舟夹持机构，其包括连接杆以及依次套设于连接杆上的至少两个夹持连接件；其中，所述连接杆的一端连接有推舟固定机构，另一端通过所述夹持连接件与所述推舟杆相连；每个所述夹持连接件包括主连接套以及关于所述主连接套对称布置的偶数个夹持连接套，两两所述夹持连接套相结合并一体式地结合至所述主连接套的外周，每个夹持连接件上的夹持连接套的数目与推舟杆的数目相对应根据本实用新型，其在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。
一种适用于 pecvd 设备石墨舟推舟装置

[实用新型]一种推舟式高温炉的自动进出舟皿装置-CN202222778777.3有效
发明人：曾世景;庄煌彬;邓林春;陈伟杰;王森鹏;林聪;蒋志金;傅国富;高观金;龙本夫;周喜诚;沈思奇 -专利权人：厦门金鹭特种合金有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： F27B9/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种推舟式高温炉的自动进出舟皿装置，包括炉管、机架、双腔室、双腔室开关机构、舟皿升降机构、舟皿和推舟机构；双腔室包括可切换分隔或连通的上腔室和下腔室；舟皿升降机构设于下腔室下方，用于推动舟皿在上腔室和下腔室之间移动；炉管和推舟机构分别设于下腔室相对的两侧，推舟机构用于将舟皿推进或拉出炉管；双腔室开关机构设于上腔室上；双腔室开关机构的开关、舟皿升降机构的升降、推舟机构的推拉均通过相应的电缸、气缸控制实现。本实用新型使用电缸、气缸等自动化执行零部件，配合电气控制程序，可实现推舟式高温炉自动进出舟皿，取代人工操作，实现精准推舟，还可以防止有害气体溢出在生产车间内。
一种推舟式高温自动进出舟皿装置

[实用新型]推舟装置和管式炉系统-CN202223216187.8有效
发明人：王树林;武凯 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： F27B5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种推舟装置和管式炉系统，所述推舟装置包括座体、第一移动件、第二移动件和推舟桨，所述第一移动件沿第一方向可移动地设在所述座体上；所述第二移动件沿第二方向可移动地设在所述第一移动件上；所述推舟桨沿第三方向可移动地设在所述第二移动件上本实用新型实施例的推舟装置不仅实现了多个炉体内舟的进出，而且大大提高了推舟装置的使用效率。
装置管式炉系统

[实用新型]带有固定滑垫的推舟式马弗还原炉炉管-CN201520698750.0有效
发明人：吕学进;李舟;王道伟;曹乃红;李军;王凯;张爱军;苗宗新 -专利权人：莱芜市泰东粉末科技有限公司
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： B22F9/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了带有固定滑垫的推舟式马弗还原炉炉管，包括马弗炉管、不锈钢舟盒、推杆和进、出气管，进气管设在不锈钢舟盒推出端的马弗炉管的上壁上，出气管设在不锈钢舟盒推入端的马弗炉管的上壁上，不锈钢舟盒依次排列在马弗炉管内，推杆从马弗炉管的不锈钢舟盒输入端伸入，其特征在于：所述的马弗炉管内的底壁上铺设固定滑垫，依次排列的不锈钢舟盒置于固定滑垫上。该带有固定滑垫的推舟式马弗还原炉炉管，由于不锈钢舟盒沿固定滑垫移动，所以磨损小、摩擦系数低，避免推舟板反复加热，降低电能消耗；由于不锈钢舟盒采用“U”形不锈钢板和封堵板焊接制成，所以可减少焊缝，节省材料
带有固定推舟式马弗还原炉管

[实用新型]一种CVD用新型两端支撑推舟机构-CN202020945518.3有效
发明人：王俊朝;寇宗和;常红旺 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构，包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件，所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒，所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上，所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆，所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨，所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。该种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构，可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命，可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。
一种 cvd 新型两端支撑机构

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