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- [实用新型]一种十二寸晶圆框架-CN201220493745.2有效
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李德峰
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昆山英博尔电子科技有限公司
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2012-09-25
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2013-05-29
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种十二寸晶圆框架,包括一框架主体,所述框架主体为圆环形被直线四条边沿其外边缘截取四部分后的形状,所述四条边长度均相等且相对的两两平行;在此其截取位置四条边定义为截取边,相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边;其中,间隔的两个所述截取边相互平行,相邻的两个所述截取边相互垂直;且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口。通过将框架主体设计为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状;且四条所述截取边中的其中一条边两端设有两个齿形缺口,使得晶圆加工时支撑效果好,易于加工,从而达到了设计合理、结构简单、且固定牢固应用效果好的目的
- 一种十二寸晶圆框架
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