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[发明专利]感光性树脂-CN94102642.6在审
发明人：宫崎忠一;水盛正英;本村美树 -专利权人：三洋化成工业株式会社
申请日： 1994-03-05 - 公布日： 1995-05-03 - 主分类号： G03F7/012 文献下载
摘要：本发明是关于分子中至少有1个由化学式(1)(式中n是1—10的整数)表示的基团的感光性树脂。本发明的感光性树脂，其分子内具有1个以上在300nm以上具有吸收波长范围的叠氮基，因此是高灵敏度的感光性树脂。这种感光性树脂可用于透过该波长范围的光的工业生产成本低的乳剂被覆制造的光致抗蚀剂或钠钙玻璃制造的光致抗蚀剂。本发明的感光性树脂作为光致抗蚀剂作用非常有效。
感光性树脂

[发明专利]感光性树脂印刷版原版及使用其制造印刷版的方法-CN202180062468.1在审
发明人：井户健二;油努;馆教仁 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够抑制感光性树脂层的剥离的感光性树脂印刷版原版。所述感光性树脂印刷版原版为至少具有支撑体和感光性树脂层的感光性树脂印刷版原版，该感光性树脂层至少含有具有烯属双键的聚合物(A)、具有烯属双键的化合物(B)和光聚合引发剂(C)，所述感光性树脂层至少具有包含印刷面的第一感光性树脂层及包含感光性树脂层内部的第二感光性树脂层，第一感光性树脂层中的(A)成分的烯属双键当量F1(g/eq)大于第二感光性树脂层中的(A)成分的烯属双键当量F2(g/eq)。
感光性树脂印刷原版使用制造方法

[发明专利]一种感光性二胺单体及其制备方法、含感光性二胺单体的树脂、感光性树脂组合物-CN202210293579.X有效
发明人：公聪聪;贾杰;孟凡兴;李铭新;王珂 -专利权人：波米科技有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C07C309/76 文献下载
摘要：本申请涉及高分子材料的技术领域，具体涉及一种感光性二胺单体及其制备方法、含感光性二胺单体的树脂、感光性树脂组合物。本申请提供了一种感光性二胺单体，所述感光性二胺单体的结构式如式（1）所示。该感光性二胺单体的制备方法具体包括以下步骤：初级产物的制备；次级产物的制备；感光性二胺单体粗产物的制备；感光性二胺单体粗产物的纯化。本申请还提供了利用上述感光性二胺但体制备的含感光性二胺单体的树脂，以及利用上述含感光性二胺单体的树脂制备的感光性树脂组合物。本申请能够同时提高感光性树脂组合物的感光性和留膜率。
一种感光性单体及其制备方法树脂组合

[发明专利]感光性树脂层叠体及抗蚀图案的制造方法-CN201880072368.5在审
发明人：井上浩辅;国松真一;小谷雄三 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，且所述支承薄膜可从所述感光性树脂组合物层剥离，将所述感光性树脂组合物层的总质量设为100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含的水分量为0.1质量％以上。
感光性树脂层叠图案制造方法

[发明专利]一种感光性树脂组合物及光刻胶-CN201910937146.1在审
发明人：钱晓春;施大峰;葛庆余;马培培 -专利权人：常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供了一种感光性树脂组合物及光刻胶。该感光性树脂组合物包括树脂，树脂包括至少两种感光性树脂，两种感光性树脂各自独立地具有结构式I所示结构，且其中一种感光性树脂为高分子量感光性树脂且其重均分子量为6300～7800，另一种感光性树脂低分子量感光性树脂且其重均分子量为DDA0002221873290000011.JPG" imgContent="drawing" imgFormat="JPEG" orientation="portrait" inline="yes" />具有结构式I的感光性树脂的光固化性能、对基板的附着性、耐碱溶剂性、耐溶剂性较高，通过将两种具有上述优势的感光性树脂进行复配，进一步控制各感光性树脂的分子量，利用高分子量感光性的可以在提高解析度、附着力的同时，利用低分子量感光性树脂提高显影性
一种感光性树脂组合光刻

[发明专利]感光性树脂、负型感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法及含有羧基的树脂-CN202210503241.2在审
发明人：菅原隆太郎;盐田大 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：本发明涉及感光性树脂、负型感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法及含有羧基的树脂。本发明的课题在于提供可在能够形成具有高折射率及高透明性的固化膜的负型感光性树脂组合物中使用的感光性树脂、包含该感光性树脂的负型感光性树脂组合物、使用该负型感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可成为该感光性树脂的中间体的含有羧基的树脂本发明的解决手段为制成下述感光性树脂，所述感光性树脂中，在具有特定结构的结构单元的含有羧基的树脂中，在含有羧基的树脂所具有的羧基的至少一部分上加成或缩合有具有羧酸反应性基团的(甲基)丙烯酸酯化合物。
感光性树脂组合图案固化制造方法含有羧基

[发明专利]感光性薄膜、感光性薄膜层积体及感光性薄膜卷-CN200580025068.4无效
发明人：板垣胜俊;笹原直树;进藤正则;冈田直人 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2005-07-28 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性薄膜，其为在支持薄膜(1)上具备感光性树脂层(30)的感光性薄膜，其特征在于所述感光性树脂层(30)是由具有与所述支持薄膜(1)的一面对置的对置面的对置感光性树脂层(2)及具有与所述感光性树脂层(30)上的对置面为相反侧的相反面(F2)的相反感光性树脂层(3)的2层以上的层层积而成，在所述感光性树脂层(30)上没有保护薄膜，可卷成卷状。
感光性薄膜层积

[发明专利]感光性层叠体和其制造方法-CN201910342786.8在审
发明人：井上浩辅 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：感光性层叠体和其制造方法。[课题]本发明的目的在于提供不易受到异物影响的感光性层叠体。[解决方案]感光性层叠体的制造方法包括：第1层叠体形成工序，在基板上层叠感光性树脂层叠体，形成基板与感光性树脂层叠体的层叠体即第1层叠体，感光性树脂层叠体具备支撑薄膜(1)和形成于前述支撑薄膜(1)上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层(6)；曝光工序，从前述第1层叠体剥离支撑薄膜(1)，将剥离了支撑薄膜(1)的感光性树脂组合物层(6)进行曝光，形成具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层；和，第2层叠体形成工序，在前述具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层
层叠体感光性树脂组合物层感光性层叠体支撑薄膜感光性树脂层叠体未曝光部形成工序曝光部剥离感光性树脂组合物制造覆盖薄膜基板上层曝光工序异物基板上层曝光

[发明专利]感光性树脂、感光性树脂组合物、硬化物及彩色滤光片-CN202210265864.0在审
发明人：与古光早智;河野正范 -专利权人：日铁化学材料株式会社
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及感光性树脂、感光性树脂组合物、硬化物及彩色滤光片。本发明的课题为提供感光性树脂及使用该感光性树脂的感光性树脂组合物，该感光性树脂的碱显影性、直线性、图案形状良好，且表面硬化性与深部硬化性的平衡也良好，获得经抑制表面皱纹产生的硬化物。本发明的解决手段为下述通式(1)所示树脂及使用该树脂的感光性树脂组合物。
感光性树脂组合硬化彩色滤光

[发明专利]感光性膜层积体及其固化物-CN201810667813.4在审
发明人：岛宫真梨子;舟越千弘;加藤文崇;高桥元范;佐藤和也;荒井康昭;伊藤信人 -专利权人：太阳油墨制造株式会社
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供一种感光性膜层积体，其即使在形成感光性膜的感光性树脂组合物中包含炭黑，也不会使作业环境变差。一种感光性膜层积体，其为将支撑膜和由感光性树脂组合物构成的感光性膜层积而成的感光性膜层积体，其特征在于，上述感光性树脂组合物至少包含炭黑和填料而成，上述填料具有与上述炭黑的电荷相反的电荷。
感光性膜层积体感光性树脂组合物炭黑电荷作业环境固化物支撑膜变差层积

[发明专利]感光性膜、感光性元件及层叠体的制造方法-CN202280003952.1在审
发明人：成田真生;小野敬司;田中志步;武田明子;渡边祐作 -专利权人：株式会社力森诺科
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种感光性膜，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)吡唑啉化合物，其厚度为20μm以下。一种感光性元件(1)，其具备支撑体(2)和配置于支撑体(2)上的感光性树脂层(3)，其中感光性树脂层(3)为该感光性膜。一种层叠体的制造方法，其具备：使用上述感光性膜或感光性元件(1)将感光性树脂层配置于基材上的配置工序；使感光性树脂层的一部分光固化的工序；及去除感光性树脂层的未固化部的至少一部分而形成固化物图案的工序。
感光性元件层叠制造方法

[发明专利]感光性树脂层压体-CN200880122943.4有效
发明人：西本秀昭 -专利权人：旭化成电子材料株式会社
申请日： 2008-12-24 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂层压体，感光性树脂层的厚度即便薄至3～15μm时，即便以直接描绘曝光进行曝光时，盖孔性也良好，另外，显影时的聚集物不是油状的。所述感光性树脂层压体为至少层压支撑层和感光性树脂层而成的，该感光性树脂层使用由感光性树脂组合物形成的感光性树脂层压体，该感光性树脂组合物的特征在于，其至少包括：(a)碱可溶性树脂25～64质量％、(b)可光聚合的具有不饱和双键的化合物、(c)光聚合引发剂0.1～20质量％，并且进一步满足以下(i)、(ii)和(iii)：(i)相对于感光性树脂组合物的总量，含有30～55质量％的特定的可光聚合的不饱和化合物；(ii)所述(a)碱可溶性树脂的重均分子量为70000～220000、酸当量为100～600；(iii)感光性树脂层的厚度为3～15μm。
感光性树脂层压

[发明专利]图案形成方法以及半导体器件的制造方法-CN200810174269.6有效
发明人：伊藤信一;松永健太郎;河村大辅;大西廉伸 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2006-05-15 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种图案的形成方法，其包括：在被加工膜上形成感光性树脂膜；通过涂布法在上述感光性树脂膜上形成用于保护上述感光性树脂膜的保护膜；通过浸渍液对上述感光性树脂膜的部分区域选择性地进行液浸曝光，将上述浸渍液提供到上述感光性树脂膜上；在形成上述保护膜后，且在对上述感光性树脂膜的部分区域进行选择性液浸曝光之前，将上述保护膜的表面平滑化；除去上述保护膜；以及，通过选择性地除去上述感光性树脂膜的曝光区域或者非曝光区域，形成由上述感光性树脂膜构成的图案
图案形成方法以及半导体器件制造

[发明专利]负型感光性树脂组合物-CN201310729421.3有效
发明人：植松照博;盐田大 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G03F7/038 文献下载
摘要：本发明提供能够形成分辨率优异的厚膜的感光性树脂层的、厚膜用负型感光性树脂组合物；具有包含该厚膜用负型感光性树脂组合物的厚膜的感光性树脂层的厚膜感光性干燥膜；以及使用该厚膜用负型感光性树脂组合物的厚膜抗蚀剂图案的形成方法在含有（A）碱可溶性树脂和（B）光聚合性单体的厚膜用负型感光性树脂组合物中，配合（C）下述式（1）所示的化合物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物、其固化皮膜和印刷电路板-CN201410266087.7在审
发明人：乘越明男;有马圣夫 -专利权人：太阳油墨制造株式会社
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供感光性树脂组合物、其固化皮膜和印刷电路板，具体来说提供指触干燥性良好，耐化学镀金性高的感光性树脂组合物、其固化皮膜和具有该固化皮膜的印刷电路板。感光性树脂组合物的特征在于，含有(A)酸改性感光性环氧树脂、(B)非感光性羧酸树脂以及(C)液态2官能性环氧树脂。上述(B)非感光性羧酸树脂的重均分子量优选为10000以上且30000以下。
感光性树脂组合固化皮膜印刷电路板

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