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[发明专利]H型阵列离子阱及在其中进行离子-离子反应的方法-CN201210250694.5有效
发明人：唐飞;陈一;王晓浩 -专利权人：清华大学
申请日： 2012-07-19 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种H型阵列离子阱的设计，包括左离子阱、右离子阱和中心离子阱，所述左离子阱、所述右离子阱和所述中心离子阱分别由X平行电极对、Y平行电极对和Z平行电极对构成矩形离子阱；所述左离子阱、右离子阱和中心离子阱构成H型阵列；所述左离子阱和右离子阱平行设置，所述左离子阱的X平行电极对和所述右离子阱的X平行电极对相对；所述中心离子阱设置在所述左离子阱和右离子阱之间，所述中心离子阱的Z平行电极对分别和所述左离子阱的X平行电极对和所述右离子阱的X平行电极对相对。本发明提供了一种在H型阵列离子阱中进行离子-离子反应的方法。通过本发明能有效的减少离子在传输过程中的损耗，保证离子在离子阱间传输时的可靠性。
阵列离子其中进行反应方法

[发明专利]在离子注入器中调节离子束平行的方法和设备-CN02106603.5无效
发明人：约瑟夫·C·奥利桑;安东尼·丽奥 -专利权人：瓦里安半导体设备联合公司
申请日： 2002-02-28 - 公布日： 2003-09-10 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：在工件(如半导体晶片)中注入离子的方法和设备，包括产生离子束，测定离子束的平行，根据测定的平行调节离子束到所需的平行程度，测定所调节的离子束的离子束方向，参照所测定的离子束方向以注入角度定向工件，以及使用参照所测定的离子束方向以注入角度定向的工件来实施注入注入可以高度平行离子束来实施。
离子注入调节离子束平行方法设备

[发明专利]带状离子束植入机系统的架构-CN200780009281.5有效
发明人：坷若许·沙丹特曼德;彼德·L·凯勒曼 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2007-01-22 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明是有关于一种带状离子束植入机系统的架构，在一实施例中，架构包括：加速/减速平行化透镜系统，其用于接收扇型带状离子束且用于将扇型带状离子束至少平行化(且或许亦加速或减速)为实质上平行的带状离子束；以及能量过滤系统，其在加速/减速平行化透镜系统的下游且在将由实质上平行的带状离子束植入的工件之前。加速/减速平行化透镜系统包括用于至少平行化(且或许亦加速或减速)扇型带状离子束的透镜以及用于使实质上平行的带状离子束加速或减速的加速/减速透镜。平行化透镜允许高电流带状离子束以可下降至低至约200eV的能量来传送至工件。能量过滤系统提供实质上没有能量污染的实质上平行的带状离子束。
带状离子束植入系统架构

[发明专利]一种可选择性检测正、负离子的平板式差分离子迁移谱-CN201210457835.0无效
发明人：王卫国;李海洋;花磊;李扬;程沙沙 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种可选择性检测正、负离子的平板式差分离子迁移谱，包括正负离子分离区、离子迁移区和检测区；正负离子分离区由两组平行的电极对（或平行栅网）组成，平行的电极对（或平行栅网）上施加一定的电压差，仅仅通过切换两电极间的电场方向实现正、负离子的空间分离；选择性将正离子或者负离子引入漂移去和检测区。这样可以避免正、负离子由于相互吸引而引发的正、负离子复合，提高检测灵敏度。
一种选择性检测负离子平板式差分离子迁移

[发明专利]一种可同时检测正、负离子的组合式平板差分式离子迁移谱-CN201210458837.1无效
发明人：王卫国;李海洋 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种可同时检测正、负离子的组合式平板差分式离子迁移谱，包括正、负离子分离区，正离子漂移区和检测区，负离子漂移区和检测区；正、负离子分离区由两组或两组以上平行的电极对（或平行栅网）组成，平行的电极对（或平行栅网）间施加一定的电压差，在电场作用下实现正负离子的空间分离；正、负离子分别进入正离子漂移区和检测区、负离子漂移区和检测区进行分析检测。这样可以有效避免正、负离子由于相互吸引而导致的正、负离子复合。
一种同时检测负离子组合式平板分式离子迁移

[发明专利]一种双出口平行透镜-CN201811463631.1有效
发明人：张喻召;李晨冉;李士会 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明公开了一种双出口平行透镜，包括：磁轭(1)、磁极(2)、线圈(3)、真空盒(4)。平行透镜磁极面有一个入口和两个出口，入口磁极边线形状为圆弧，两个出口边线形状为曲率不同的曲线。当线圈加一定电流后，带电离子束以一定角度由入口进入平行透镜，通过在磁场中路径长度不同，会以同一角度出射，达到离子束平行化的目的。磁极面两个出口，通过改变平行透镜电流方向，可以改变离子束的出口方向，从而实现两个方向离子束平行化。在离子注入机上，平行透镜的作用是通过磁场产生的磁场力，使带电离子在磁场中偏转不同的角度，从而使不同角度的离子束平行化，以同一角度注入晶圆。一般的平行透镜只有一个偏转方向，只能够对应一个靶室。本发明公开的平行透镜可以通过改变电流的方向，使离子束偏转进入不同的靶室，从而提高离子注入的产能。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
一种出口平行透镜

[发明专利]离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法-CN201510104340.3有效
发明人：佐佐木玄;渡边一浩;狩谷宏行 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法。在离子注入装置中测定离子束的能量。离子注入装置(100)中的射束能量测定装置(200)具备：平行度测定部(202)，在离子注入装置(100)的射束平行化器(36)的下游测定离子束的平行度；及能量运算部(204)，由测定出的平行度运算离子束的能量离子注入装置(100)还可以具备控制部，该控制部根据运算出的离子束的能量控制高能量多段直线加速单元(14)，以使离子束具有目标能量。
离子注入装置能量测定以及方法

[发明专利]离子迁移率分析装置及所应用的分析方法-CN201710419686.1有效
发明人：肯特·詹姆斯·吉尔里格;王珂珂;张小强;孙文剑;程玉鹏 -专利权人：岛津分析技术研发（上海）有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明提供离子迁移率分析装置及分析方法，装置包括：离子源；两组平行电极，之间形成迁移区域，迁移区域具有离子进口及离子出口，离子进口连通离子源；其中，两组平行电极分别处于一平面内且该两个平面相互平行；迁移区域内存在层流；电源装置，在两组平行电极上施加有直流电位，以形成与气流对离子作用方向相反的直流电场，以在气流和直流电场的共同作用下捕获具有不同迁移率的离子；电源装置，扫描直流电场以令迁移区域中具有不同迁移率的离子分离；电源装置，还用于在平行电极上叠加射频电压在垂直于气流方向束缚离子；检测器，连通离子出口，接收并检测离子；本发明的装置具有很高的灵敏度和离子利用率，同时可以准确测量离子的迁移率。
离子迁移率分析装置应用方法

[发明专利]离子布植机-CN201510298722.4有效
发明人：万志民;库罗什·萨阿达特曼德;威廉·P·普拉托夫 -专利权人：汉辰科技股份有限公司
申请日： 2015-06-03 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：离子布植机，包括离子源以及至少一个光学组件。离子源提供一道离子束，而光学组件是配置于离子束的传递路径上，用以将离子束调整为非平行离子束，借以用非平行离子束的不同部分同时对一个工件的不同区域进行离子布植。不同的光学组件分别可以用来将离子束予以发散或收敛，借以将离子源提供的离子束调整为平行度较差的非平行离子束。
离子布植机

[发明专利]基于离子反转的高压静电型海水淡化器-CN201110152425.0无效
发明人：古亮;刘伟;李山;赵明富;邓易元;陈鸿雁;贺晓蓉;张莲 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2011-06-08 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于离子反转的高压静电型海水淡化器，包括高压正极板、高压负极板、圆筒型离子反转器和绝缘离子收集器；高压正极板与高压负极板平行设置，离子反转器以可旋转的方式设在高压正极板和高压负极板之间，且轴线与高压正极板的板面平行；绝缘离子收集器的横截面为矩形结构，且设在离子反转器的轴线上，两侧面分别与高压正极板和高压负极板平行。该淡化器离子分离能力极强，两电极板平行且带正负高电压，极板间形成强大的高压静电场，增强对离子的分离能力，使盐离子连续不断从低势能位置转移，反转到高电势位置，并汇聚到绝缘离子收集器两侧面上并被去除，使盐水中的离子分离更充分，极大地提高了离子分离效率。
基于离子反转高压静电海水淡化

[实用新型]离子反转式高压静电海水淡化器-CN201120190834.5无效
发明人：古亮;刘伟;李山;赵明富;邓易元;陈鸿雁;贺晓蓉;张莲 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2011-06-08 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子反转式高压静电海水淡化器，包括高压正极板、高压负极板、圆筒型离子反转器和绝缘离子收集器；高压正极板与高压负极板平行设置，离子反转器以可旋转的方式设在高压正极板和高压负极板之间，且轴线与高压正极板的板面平行；绝缘离子收集器的横截面为矩形结构，且设在离子反转器的轴线上，两侧面分别与高压正极板和高压负极板平行。该淡化器离子分离能力极强，两电极板平行且带正负高电压，极板间形成强大的高压静电场，增强对离子的分离能力，使盐离子连续不断从低势能位置转移，反转到高电势位置，并汇聚到绝缘离子收集器两侧面上并被去除，使盐水中的离子分离更充分，极大地提高了离子分离效率。
离子反转高压静电海水淡化

[发明专利]离子注入装置及离子注入方法-CN201510148556.X有效
发明人：椛泽光昭;石川雅基;上野勇介 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2015-03-31 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种可减小向被处理物进行注入时的注入角度误差的离子注入装置及离子注入方法。离子注入装置(100)的射束线部具备转向电磁铁(30)、射束扫描器(34)及射束平行化器(36)。射束线部包含离子束的基准轨道，z方向表示沿基准轨道的方向，x方向表示与z方向正交的一个方向。转向电磁铁使离子束向x方向偏转。射束扫描器通过使离子束向x方向往复偏转，来扫描离子束。射束平行化器具备平行化透镜，该平行化透镜构成为使经扫描的离子束与z方向平行，平行化透镜在射束扫描器的扫描原点处具有焦点。控制部对转向电磁铁中x方向的偏转角度进行补正，以使偏转的离子束的实际轨道在xz面上于扫描原点处与基准轨道相交。
离子注入装置方法

[发明专利]质量分析电磁铁及离子注入装置-CN201710059911.5有效
发明人：内藤胜男 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：质量分析电磁铁具备一对主线圈和多个副线圈，主线圈具备与离子束的行进方向平行的第1平行部及相对于第1平行部弯折的第1弯折部，一对主线圈相对于离子束的行进方向而上下对称配置，离子束在主线圈以及副线圈形成的磁场下沿着离子束的行进方向，通过由第1平行部以及第1弯折部形成的空间，多个副线圈具有与离子束的行进方向平行的第2平行部以及相对于第2平行部弯折的第2弯折部，且与主线圈的第1平行部以及第1弯折部紧密相接地匹配，相对于离子束的行进方向而上下对称配置可对磁场控制进行微调整且易于修正离子束形状。
质量分析电磁铁离子注入装置

[实用新型]一种新型的阵列式射频离子源装置-CN201720472669.X有效
发明人：刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H01J49/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型的阵列式射频离子源装置，包括冷却管路及多个射频离子源单元；每个射频离子源单元均包括平行栅网固定座、绝缘电离腔、射频线圈及绝缘底座，射频线圈螺旋套设于绝缘电离腔的外侧壁上，绝缘电离腔的顶部及底部均开口，平行栅网固定座与绝缘电离腔的顶部连接且平行栅网固定座上正对开口的位置处设有平行栅网，绝缘底座与绝缘电离腔的底部连接，绝缘底座上设有气体入口；射频线圈之间通过冷却管路串联电连接，平行栅网之间串联连接，相邻的射频离子源单元的绝缘底座拼接连接本实用新型能将平行栅网组合起来以发射大面积的离子束流，且单个射频离子源单元的平行栅网的形状容易保持一致且不易变形，能保证工作效果。
一种新型阵列射频离子源装置

[发明专利]离子光学装置、离子源及利用离子源产生目标离子的方法-CN201310529116.X有效
发明人：龙涛;包泽民;曾小辉;王培智;张玉海;刘敦一 -专利权人：中国地质科学院地质研究所
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子光学装置、离子源及利用离子源产生目标离子的方法。该离子光学装置包括：腔体、设置在腔体内的加速电极、离子透镜组、质量筛选器和开有一孔的挡板。离子透镜组包括至少两个同轴且相对位置固定的单透镜；加速电极在腔体的一个开口处，为中空锥形结构，其锥形尖口朝外且在离子透镜组的轴线上；质量筛选器靠近腔体的另一个开口，其由沿离子透镜组的轴线平行对称设置的一对导磁结构和沿所述轴线平行对称设置的一对电极构成；导磁结构之间的平行均匀磁场、电极产生的平行均匀电场和所述轴线之间两两垂直；挡板在腔体的另一个开口处，挡板上的孔在离子透镜组的轴线上。本发明可实现离子束斑直径连续可调且同时具有离子筛选功能。
离子光学装置离子源利用产生目标方法

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