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- [发明专利]层压体-CN202110067978.X在审
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山田有里
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旭化成株式会社
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2016-12-27
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2021-06-01
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G03F7/004
- 本发明提供一种层压体。[课题]提供能够兼顾抗蚀材料对于基板的追随性和蚀刻工艺后的短路不良抑制性的感光性树脂组合物、以及在基底膜上具备感光性树脂组合物的层压体。[解决手段]层压体具备基底膜、以及设置在基底膜上的感光性树脂组成物的感光性层,感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子、含烯属不饱和键的化合物、以及(C)光聚合引发剂,前述基底膜能够从感光性层剥离,且感光性树脂组合物满足下述数学式
- 层压
- [发明专利]层压体-CN201611229273.9有效
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山田有里
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旭化成株式会社
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2016-12-27
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2020-12-29
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G03F7/004
- 本发明提供一种层压体。[课题]提供能够兼顾抗蚀材料对于基板的追随性和蚀刻工艺后的短路不良抑制性的感光性树脂组合物、以及在基底膜上具备感光性树脂组合物的层压体。[解决手段]层压体具备基底膜、以及设置在基底膜上的感光性树脂组成物的感光性层,感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子、含烯属不饱和键的化合物、以及(C)光聚合引发剂,前述基底膜能够从感光性层剥离,且感光性树脂组合物满足下述数学式
- 层压
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