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[发明专利]用于预浸料的切割装置-CN201810409119.2在审
发明人：张林;肖文学 -专利权人：四川佳信绝缘材料有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： B26D7/01 文献下载
摘要：本发明公开了用于预浸料的切割装置，涉及第一滚动真空吸附平台、第二滚动真空吸附平台、第三滚动真空吸附平台、移动支架、刀具座以及安装在刀具座上的切割刀具；移动支架滑动设置在第一滚动真空吸附平台上；移动支架上设有横向固定横梁，刀具座滑动安装在横向固定横梁上；第二滚动真空吸附平台和第三滚动真空吸附平台均安装在移动支架上，且分别安装在刀具座两侧。本方案的切割装置中，所述第一滚动真空吸附平台和第二、第三滚动真空吸附平台分别利用真空负压效应将中空织物预浸料的上、下表面分别吸附固定，刀具座通过横向移动导轨滑块在横向移动导轨上来回移动，横向固定横梁通过竖直移动滑块沿竖直移动导轨上下移动
真空吸附平台滚动刀具座移动支架横向固定切割装置预浸料横梁横向移动导轨竖直移动滑块滑动安装滑动设置切割刀具上下移动吸附固定真空负压中空织物下表面导轨移动

[发明专利]搬运机器人、搬运箱和搬运货物的方法-CN202110193947.9在审
发明人：熊坤;王海同;吴卓兴 -专利权人：腾讯科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B25J5/00 文献下载
摘要：所述搬运机器人包括移动底盘、升降机构和吸附式平台；所述升降机构固定在所述移动底盘上；所述吸附式平台与所述升降机构的升降件固定连接，且所述吸附式平台相对于所述移动底盘伸出；所述吸附式平台被配置为，确定货物的位置，并将货物吸附在底侧。本申请提供的搬运机器人包括吸附式平台，吸附式平台能够将货物吸附在底侧，从而在搬运货物过程中，货物不易发生变形，不会损坏货物。
搬运机器人货物方法

[发明专利]一种气浮精密运动平台-CN201810258380.7有效
发明人：尹自强;罗思鑫;王素娟;张霞峰;林剑;魏棵榕;郭亚文;姚建华;孔德坤 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮精密运动平台，真空吸附平台安装在底座的运动轨道上；真空吸附平台通过第一过渡板与直线电机固定连接；直线电机安装在底座上；内置真空发生器设置在真空吸附平台内部；气浮轴承镶嵌在真空吸附平台的底部与两侧；外接真空发生器与真空吸附平台可拆卸连接；真空吸附平台内部设置有第一气路和第二气路，第一气路与内置真空发生器连通，用于吸附工件；第二气路分别与外接真空发生器和气浮轴承连通，用于在真空吸附平台与底座之间产生气膜解决了现有的超精密磨削机床容易因机械导轨与平台之间存在摩擦和热变形而导致定位和运动精度降低，从而影响工件加工精度的技术问题。
一种精密运动平台

[实用新型]薄型陶瓷的定位装置-CN201921053112.8有效
发明人：林尧伟;谢斌;林俊羽;林柏希 -专利权人：汕尾市索思电子封装材料有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄型陶瓷的定位装置，包括安装在激光切割机上的作业平台，作业平台包括底盘，第一吸附组件通过第一驱动组件安装在底盘上，第一吸附组件包括两组第一吸附平台，第一吸附平台内设有第一抽气通道，第一抽气通道设有至少一个吸附口，第一抽气通道通过输气管道连接抽风机，第一抽气通道还开设有第一贯通口；第二吸附组件通过第二驱动组件安装在底盘上，第二吸附组件包括第二吸附平台，第二驱动组件驱动第二吸附平台上下移动，第二吸附平台内设有第二抽气通道，第二抽气通道设有至少一个吸附口，第二抽气通道设有与第一抽气通道对应的第二贯通口。本实用新型结构简单，吸附能力较强。
陶瓷定位装置

[实用新型]用于自动化切割设备的真空吸附平台-CN202022298494.X有效
发明人：周东程;解海龙;刘杰;靳海彦;王炜 -专利权人：惠州市东程激光设备有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型涉及板材加工技术领域，公开一种用于自动化切割设备的真空吸附平台，其包括：平台本体，所述平台本体上均匀开设有多个阶梯吸附孔，多个所述阶梯吸附孔均连通外部真空泵，所述阶梯吸附孔包括大径段和小径段，所述大径段朝向吸附表面；所述平台本体的所述吸附表面上设置有多个导气槽，所述导气槽横贯所述吸附表面并延伸至所述吸附表面的端部。本实用新型公开的用于自动化切割设备的真空吸附平台能够提高对薄板类产品的吸附能力，并且能够有效改善在自动化切割设备中真空吸附平台和材料之间的真空释放。对吸附平台表面形状做创新性改进，不涉及其他部件的改动，可直接在现有设备或产线上完成更新，不影响任何设备运转。
用于自动化切割设备真空吸附平台

[发明专利]可调高度真空吸平台模块-CN202011284293.2在审
发明人：贺云波;言益军;王波;刘青山;崔成强 -专利权人：宁波阿凡达半导体技术有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了可调高度真空吸平台模块，属于晶圆片加工设备技术领域，它包括真空吸附平台；位置调整部件，真空吸附平台分为上中下三层，该下层设有若干个相互平行且长度呈递增或递减的导气槽，真空吸附平台中层设有若干条与导气槽接通的面板导槽，面板导槽与导气槽覆盖住真空吸附平台的待吸附面，真空吸附平台上层均匀设有气孔，气孔将由面板导槽与导气槽接通构成气室与真空吸附平台表面接通，真空吸附平台上还设有用于连接负压发生装置的进气口和出气口。本发明提出了一种可调高度真空吸平台模块，其吸附作用面积分为若干个区间，不同区间相互组合形成多种规格，用以适应晶圆的加工要求。
可调高度真空平台模块

[实用新型]自动对位印刷机-CN202022908726.9有效
发明人：陈吉昌;黄庭君 -专利权人：深圳市微格能科技有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种自动对位印刷机，包括印刷平台，印刷平台的上方设置有印刷装置，印刷装置包括固定框架、滑动平台、第一驱动机构、丝网印刷版和印刷机构，丝网印刷版与印刷平台之间直线滑动设置有真空吸附治具，真空吸附治具包括滑动底座、第一锁定装置、第二锁定装置和吸附平台，吸附平台设置在滑动底座上，并通过第一锁定装置、第二锁定装置进行锁紧，吸附平台的中部设有定位凹槽，定位凹槽上设有吸附孔，印刷装置的前端设置有对应真空吸附治具取放料/更换吸附平台的自动化操作系统。本实用新型对于治具的更换操作简单、快捷，且治具上的取放料和吸附平台的拆卸更换都是采用机械手代替人工，视觉装置代替眼睛来完成对位，大大提高加工效率。
自动对位印刷机

[实用新型]可调高度真空吸平台模块-CN202022652157.6有效
发明人：贺云波;言益军;王波;刘青山;崔成强 -专利权人：宁波阿凡达半导体技术有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了可调高度真空吸平台模块，属于晶圆片加工设备技术领域，它包括真空吸附平台；位置调整部件，真空吸附平台分为上中下三层，该下层设有若干个相互平行且长度呈递增或递减的导气槽，真空吸附平台中层设有若干条与导气槽接通的面板导槽，面板导槽与导气槽覆盖住真空吸附平台的待吸附面，真空吸附平台上层均匀设有气孔，气孔将由面板导槽与导气槽接通构成气室与真空吸附平台表面接通，真空吸附平台上还设有用于连接负压发生装置的进气口和出气口。本实用新型提出了一种可调高度真空吸平台模块，其吸附作用面积分为若干个区间，不同区间相互组合形成多种规格，用以适应晶圆的加工要求。
可调高度真空平台模块

[实用新型]吸附工作平台及光刻设备-CN202121771368.X有效
发明人：陈国军;吴景舟;马迪 -专利权人：江苏迪盛智能科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种吸附工作平台，用于光刻设备以吸附工件，光刻设备还包括机架和光学装置，机架可相对吸附工作平台运动，吸附工作平台包括吸气平台及与吸气平台连接的泵体，吸气平台包括具有工作面的吸气平台本体、贯穿吸气平台本体设置且与泵体连通的若干吸气孔、以及用以封堵吸气孔的封堵结构，封堵结构封堵部分吸气孔形成封堵区域，以使得未被封堵的吸气孔在工作面上形成吸附区域，从而在泵体吸气时，整个工作面上的所有吸气孔都能形成负压，实现泵体对被工件的吸附力等于或略小于泵体的吸力，使得工件被紧紧吸附并保持平整，便加工，该结构能够紧紧吸附各种尺寸工件且可将工件放置在工作面的任意区域，提高了吸附工作吸气平台的实用性。
吸附工作平台光刻设备

[实用新型]一种陶瓷盘平磨用真空吸盘-CN202023329747.1有效
发明人：谢海龙 -专利权人：苏州明立阳电子科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷盘平磨用真空吸盘，该陶瓷盘平磨用真空吸盘包括吸附平台和定位柱，吸附平台的顶面开设有环形的吸附槽，吸附槽的外径小于陶瓷盘的外径，吸附槽的内径大于陶瓷盘的轴孔的孔径，吸附槽内设置有抽吸孔，吸附平台还设置有与抽吸孔连通的抽吸通道和进气通道；定位柱凸出设置于吸附平台的顶面并位于吸附槽的中心，定位柱与陶瓷盘的轴孔相适配；陶瓷盘能够通过轴孔套设于定位柱，以将陶瓷盘定位安装于吸附平台，并使陶瓷盘的盘面封闭吸附槽，通过抽吸通道抽吸吸附槽内的空气，能够将陶瓷盘吸附紧贴于吸附平台的顶面。本实用新型的陶瓷盘平磨用真空吸盘，定位准确，吸附牢固，安装稳定不易晃动，保证陶瓷盘的打磨效果，实用性强。
一种陶瓷盘平磨用真空吸盘

[实用新型]一种吸附平台的平面调整及其分区域吸附装置-CN202121485881.2有效
发明人：李勇 -专利权人：深圳市埃斯迈智能科技有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B25H1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种吸附平台的平面调整及其分区域吸附装置，涉及柔性材料切割吸附设备技术领域，该吸附平台的平面调整及其分区域吸附装置，包括吸附平台本体和机架，所述吸附平台本体的下表面开设有两个吸风口，所述吸附平台本体的下表面开设有第一牙孔位本实用新型通过设置吸附平台本体、机架、中空螺栓、锁紧螺栓、吸风接头和直连式蝶阀，解决了切割机在分区域吸附装置使用时的开关声音大，开关时间长，并且其体积较大，吸风管路不方便安装；两位置调整法会导致平台平整度的调节效果较差，而且时间一长可能会造成平台的平整度发生变化的问题。
一种吸附平台平面调整及其区域装置

[实用新型]偏光片贴附装置-CN201520316036.0有效
发明人：尹俊;饶振华 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种偏光片贴附装置，包括：用以吸附偏光片的柔性偏光片吸附平台、用以吸附屏体的屏体吸附平台、贴附滚轮以及与所述贴附滚轮连接的贴附滚轮驱动机构；进行偏光片贴附时，所述屏体吸附平台位于所述柔性偏光片吸附平台的上方，所述贴附滚轮驱动机构驱动所述贴附滚轮接触所述柔性偏光片吸附平台，使所述柔性偏光片吸附平台发生形变以将所述偏光片贴附在所述屏体上。由于在偏光片贴附过程中偏光片始终被吸附在柔性偏光片吸附平台上，因此不存在屏体和偏光片的反向作用力，避免贴附偏移，防止贴附过程中产生气泡，提高了面板的性能。
偏光片贴附装置

[发明专利]激光清洗装置-CN202010028246.5在审
发明人：周俊雄;徐位伟;黄振奎;钟小兰 -专利权人：广东利元亨智能装备股份有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明揭示一种激光清洗装置，其包括真空吸附平台及清洗机构；清洗机构面向真空吸附平台；真空吸附平台为预设负压状态，待清洗产品置于真空吸附平台后，预设负压对待清洗产品进行吸附固定，清洗机构对待清洗产品进行清洗本发明的激光清洗装置结构简单，通过真空吸附平台对待清洗产品实现快速吸附固定，节约时间，同时，通过清洗机构对待清洗产品进行激光清洗，避免了会刮伤产品的情况发生，保证产品质量。
激光清洗装置

[实用新型]一种用于芯片旋转取放的装置-CN202221024880.2有效
发明人：关巍;邱鹏;张正辉;徐小雨;沈智慧 -专利权人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型包括平台升降组件、由所述平台升降组件驱动的平台旋转组件，设置在所述平台旋转组件，由所述平台旋转组件驱动水平旋转的吸附感应组件，所述吸附感应组件设有吸附件和防撞件，所述吸附件用于吸附芯片，所述防撞件用于吸附芯片时使吸附件与芯片软接触
一种用于芯片旋转装置

[实用新型]一种全被动高精度搬送机构-CN201921891329.6有效
发明人：徐世明;王健;孙彬;沈洪;李晓华 -专利权人：江苏上达电子有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B65G15/58 文献下载
摘要：包括用于输送物品的吸附平台、使吸附平台产生吸力的真空腔和使吸附平台运动的传动轮；所述的吸附平台为环状结构，传动轮设置在吸附平台的两端驱动吸附平台进行循环运动。本实用新型的有益效果是：采用限位的方式，保证产品在搬送过程中不偏移，保证了精度；采用真空吸附的方式进行搬送，保证产品在搬送过程中不会产生摩擦力，从而不会导致划伤等外观不良。
一种被动高精度机构