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[发明专利]静电卡盘单元-CN201910461585.X在审
发明人：高晙赫;金义圭;宋珉澈;孔炳翼;文在晳;闵秀玹;李丞赈;洪承柱 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供了静电卡盘单元。静电卡盘单元包括配置成产生相对弱的静电力的第一布线部分和配置成产生相对强的静电力的第二布线部分。
静电卡盘静电力布线配置

[实用新型]一种卡盘储存装置-CN202220431675.1有效
发明人：陆晖;翟青;庞静;刘春雷;宋亮;闫诚;李晓莹;吴韡忠 -专利权人：上海烟草机械有限责任公司;上海鑫隆烟草机械厂
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B25H3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种卡盘储存装置，包括托盘，所述托盘上设有储存位，所述储存位处设有卡盘托放单元，所述卡盘托放单元用于承载卡盘，且所述储存位处还设有定位感应器，所述定位感应器能测得卡盘托放单元上的卡盘的位置本卡盘储存装置，在使用时，将卡盘放置在卡盘托放单元上，实现对卡盘的储存；且位于储存位处的定位感应器，将检测位于卡盘托放单元上的卡盘的真实位置信息，根据该位置信息即可获得卡盘的放置位置是否存在误差、及位置偏差数据，进而方便后续能准确、快速地将卡盘调整至设定位置，或是方便后续能快速准确地将卡盘托放单元上的卡盘取走，即通过精确定位卡盘的位置，提升安全可靠性，提高存取卡盘的效率。
一种卡盘储存装置

[发明专利]基板处理设备及基板处理方法-CN202211262127.1在审
发明人：孙源湜;吴世勋;郑仁基;许弼覠 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：提供一种用于处理基板的设备及一种基板处理方法，所述设备包括：具有处理空间的处理容器；用于在处理空间中支承基板并旋转基板的支承单元；用于供应处理液至由支承单元支承的基板的液体供应单元；及用于加热基板的加热单元，其中支承单元包括：自旋卡盘；用于旋转自旋卡盘的旋转驱动器；安装于自旋卡盘上从而与自旋卡盘一起旋转的卡盘销；及卡盘销移动单元，用于在卡盘销与基板的侧面部分接触的接触位置与卡盘销自基板的侧面部分隔离开的打开位置之间移动卡盘销，且卡盘销移动单元在基板由自旋卡盘旋转的同时移动卡盘销。
处理设备方法

[发明专利]浮动卡盘装置及浮动卡盘单元-CN200910117961.X有效
发明人：高比良彰;小林大介;山田笃志 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2009-02-27 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： B23B31/02 文献下载
摘要：本发明提供能够以简易的构成使卡盘可浮动并实现紧凑化的浮动卡盘装置及浮动卡盘单元。浮动卡盘装置(10)具有沿上下方向延伸的轴部(2)，使其前端的吸附部吸附工件来保持该工件(W)的卡盘(20)，相对使该卡盘(20)移动的移动基板(3)被支承为能够浮动，浮动卡盘单元(1)并列设置有多个浮动卡盘装置(10)，在浮动卡盘装置或浮动卡盘单元中，卡盘(20)上设置有凸缘部(22)，设有具备插通轴部(21)的卡盘插通孔(11c)，并支承凸缘部(22)的第一导向块(11)；和与该第一导向块(11)成对，从上方将凸缘部(22)夹入的第二导向块(12)；第一导向块(11)与凸缘(22)之间、及卡盘插通孔(11c)与轴部(21)之间形成有间隙(n1、n2)。
浮动卡盘装置单元

[发明专利]基板处理设备及基板处理方法-CN202211262241.4在审
发明人：孙源湜;吴世勋;郑仁基 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板处理设备及基板处理方法，具体地，提供了一种用于处理基板的装置，所述设备包括：具有处理空间的处理容器；用于在处理空间中支承基板并旋转基板的支承单元；用于供应处理液体至由支承单元支承的基板的液体供应单元；及用于加热基板的加热单元，其中支承单元包括：自旋卡盘；用于旋转自旋卡盘的旋转驱动器；安装于自旋卡盘上从而与自旋卡盘一起旋转的卡盘销；及卡盘销移动单元，用于在卡盘销与基板的侧面部分接触的接触位置与卡盘销从基板的侧面部分隔离开的打开位置之间移动卡盘销，且卡盘销移动单元在基板由自旋卡盘旋转的同时移动卡盘销。
处理设备方法

[发明专利]一种车丝机用钢管自动定位系统-CN201610428477.9在审
发明人：张鹏 -专利权人：上海瓦姆石油天然气管业有限公司
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B23G1/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种车丝机用钢管自动定位系统，该装置包括钢管输送辊机和气动卡盘(2)，该系统还包括卡盘高度调节单元、卡盘对中定位调节单元和控制器(6)，所述的气动卡盘(2)和卡盘对中定位调节单元均固定在卡盘高度调节单元上，所述的卡盘高度调节单元和卡盘对中定位调节单元均连接所述的控制器(6)。
一种车丝机用钢管自动定位系统

[实用新型]一种车丝机用钢管自动定位系统-CN201620587401.6有效
发明人：张鹏 -专利权人：上海瓦姆石油天然气管业有限公司
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B23G1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种车丝机用钢管自动定位系统，该系统包括钢管输送辊机和气动卡盘(2)，该系统还包括卡盘高度调节单元、卡盘对中定位调节单元和控制器(6)，所述的气动卡盘(2)和卡盘对中定位调节单元均固定在卡盘高度调节单元上，所述的卡盘高度调节单元和卡盘对中定位调节单元均连接所述的控制器(6)。
一种车丝机用钢管自动定位系统

[实用新型]一种炉辊轴承卡阻盘辊工装-CN202221596468.8有效
发明人：刘志威;张铁朋;霍健;岳筱;孙利兵;白天志;兰晓栋 -专利权人：首钢智新迁安电磁材料有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B25B33/00 文献下载
摘要：该工装包括卡盘单元，卡盘单元包括卡盘以及传动轴，卡盘与传动轴相连，传动轴可操作地转动，以带动卡盘转动；升降单元，可沿竖向伸缩，且升降单元的驱动端与传动轴活动连接，以带动卡盘单元上下移动。本申请提供的一种炉辊轴承卡阻盘辊工装，当炉辊轴承发生卡阻故障，需要对炉辊进行盘辊作业时，使升降单元伸长以带动卡盘单元向上移动，直至卡盘的卡爪中心与炉辊操作侧同轴，此时操作卡盘使卡爪紧固锁住炉辊轴头，并转动力矩传递组件，从而带动所述卡盘转动，进而卡盘带动炉辊转动，直至炉辊转动没有卡点，完全自由转动，此时将卡盘松动即可。
一种辊轴承卡阻盘辊工装

[发明专利]一种钢管打孔机稳定设备-CN201810730044.8在审
发明人：陈惠明;纪学建 -专利权人：张家港市圣鼎源制管有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： B21D28/28 文献下载
摘要：本申请公开了一种钢管打孔机稳定设备，涉及打孔技术领域，所述设备包括：机体框架；打孔机，所述打孔机设置在所述机体框架的上方；卡盘单元，所述卡盘单元设置在所述机体框架上；旋转卡盘单元，所述旋转卡盘单元设置在所述机体框架上，且所述卡盘单元与所述旋转卡盘单元相对设置；稳定单元，所述稳定单元设置在所述机体框架的下方，且所述稳定单元与所述打孔机相对设置；其中，所述钢管的一端连接所述卡盘单元，另一端连接所述旋转卡盘单元，且所述钢管的中间设置在所述稳定单元上，所述打孔机在所述稳定单元的作用下，可对所述钢管进行打孔。
打孔机机体框架稳定单元卡盘单元旋转卡盘钢管打孔稳定设备相对设置一端连接打孔技术单元设置钢管表面技术效果中间设置可旋转申请

[实用新型]一种钢管打孔机稳定设备-CN201821060375.7有效
发明人：陈惠明;纪学建 -专利权人：张家港市圣鼎源制管有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： B21D28/28 文献下载
摘要：本申请公开了一种钢管打孔机稳定设备，涉及打孔技术领域，所述设备包括：机体框架；打孔机，所述打孔机设置在所述机体框架的上方；卡盘单元，所述卡盘单元设置在所述机体框架上；旋转卡盘单元，所述旋转卡盘单元设置在所述机体框架上，且所述卡盘单元与所述旋转卡盘单元相对设置；稳定单元，所述稳定单元设置在所述机体框架的下方，且所述稳定单元与所述打孔机相对设置；其中，所述钢管的一端连接所述卡盘单元，另一端连接所述旋转卡盘单元，且所述钢管的中间设置在所述稳定单元上，所述打孔机在所述稳定单元的作用下，可对所述钢管进行打孔。
打孔机机体框架稳定单元卡盘单元旋转卡盘钢管打孔稳定设备相对设置一端连接打孔技术单元设置钢管表面技术效果中间设置可旋转申请

[发明专利]基板支撑组件及包括其的探针台-CN201711166938.0有效
发明人：黄仁郁;郑相勋 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：基板支撑组件包括用于支撑晶片的卡盘和设置在卡盘下方的卡盘浮动单元，卡盘浮动单元配置成向卡盘喷射空气以使卡盘浮动，并配置成旋转卡盘以对准晶片。由于基板支撑组件包括能够利用空气使卡盘浮动的卡盘浮动单元，可以不需要用于容易地旋转卡盘以对准卡盘的诸如十字轴承的构件。因此，基板支撑组件可防止由于安装在卡盘中的加热器产生的热所导致的十字轴承的变形而引起的晶片错位。
支撑组件包括探针

[发明专利]一种固体火箭发动机药柱自动装入移出卡盘装置-CN202310519982.4在审
发明人：白鑫林;张斌;王鸿宇;刘开伟;王俊;李刚;张治娟;卢翰;徐志刚 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所;上海航天化工应用研究所
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及固体火箭发动机药柱包覆层表面处理系统，具体地说是一种固体火箭发动机药柱自动装入移出卡盘装置，包括架体单元、药柱推进运动单元、药柱升降运动单元、药柱装入移出卡盘单元，药柱及卡盘，卡盘固定设置于药柱自动装入移出卡盘装置一侧，药柱设置于药柱装入移出卡盘单元上，经由药柱推进运动单元、药柱升降运动单元和药柱装入移出卡盘单元共同作用将药柱装入或移出卡盘。本发明可实现固体火箭发动机药柱覆层表面处理来料后自动装入卡盘待加工位置，处理完成后自动移出卡盘，避免人工参与药柱转运工作，提高加工过程安全性；同时采用自动化装置提高了生产效率；具有模块化组成、结构简单、
一种固体火箭发动机自动装入移出卡盘装置

[发明专利]静电卡盘以及等离子体加工设备-CN201310354114.1有效
发明人：彭宇霖 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供的静电卡盘以及等离子体加工设备，包括用于承载被加工工件的卡盘和基座，卡盘包括卡盘本体、设置在卡盘本体内的静电电极和加热单元，静电电极与直流电源连接，用以采用静电引力的方式将被加工工件固定在卡盘上；加热单元用于加热被加工工件；基座设置在卡盘本体的下方，用以支撑和固定卡盘本体；在卡盘本体和基座之间设置有隔热组件，隔热组件包括膨胀隔热环和冷却单元，其中，膨胀隔热环为闭合的薄壁结构件，其上、下两端分别与卡盘本体和基座密封接触；冷却单元用于冷却膨胀隔热环。本发明提供一种静电卡盘，其可以彻底解决卡盘的隔热问题，从而可以提高静电卡盘的加热效率和加热均匀性。
静电卡盘以及等离子体加工设备

[发明专利]用于制造显示装置的装置和制造显示装置的方法-CN201510280151.1有效
发明人：李东勋;南东铉;金俊亨 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2015-05-27 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：所述用于制造显示装置的装置包括：卡盘单元，被配置为固定或松开包括显示区和非显示区的基底，所述基底被安置在所述卡盘单元上；对准单元，被安装为与所述卡盘单元相邻以将所述基底对准；反转单元，被连接到所述卡盘单元以反转所述卡盘单元；以及激光照射单元，被配置为向所述基底的所述非显示区照射激光。
用于制造显示装置装置方法

[发明专利]用于支撑衬底的单元和用于使用该单元来处理衬底的设备-CN201010624115.X有效
发明人：尹靑龙;金容锡;辛在爀;金光寿 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开一种衬底支撑单元，其包含：静电卡盘单元，其经配置为可移动的并支撑衬底；以及连接部件，其一端连接到静电卡盘单元以向静电卡盘单元供应电力，连接部件经配置以根据静电卡盘单元的移动而灵活地改变形状。连接部件包含：柔性管，其经配置以界定内部空间；以及导电线，其插入至柔性管中且其一端连接到静电卡盘单元。由于导电线插入柔性管中，因此该连接部件的移动性增加。因此，连接到静电卡盘单元的连接部件的形状根据静电卡盘单元的上下移动或旋转而灵活地改变。因此，静电卡盘单元可顺畅地移动。另外，由于连接部件的形状是柔性的，因此可在无位置和区域限制的情况下安装该连接部件。
用于支撑衬底单元使用处理设备

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