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- [发明专利]曝光装置及曝光方法-CN02128690.6有效
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林本坚
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台湾积体电路制造股份有限公司
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2002-08-12
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2004-02-18
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G03F7/20
- 为提供一种降低制程成本、提高光罩上透明板光学性质、适用于短波长光源的半导体制造设备及方法，提出本发明，其曝光方法包括提供光罩，并将保护盖固定于光罩表面；将覆盖保护盖的光罩移入曝光准备室内部；于曝光准备室内部拆除保护盖；于曝光准备室内，将透明板覆盖于已拆除保护盖的光罩表面，以形成光罩组合；将光罩组合移入曝光室内，并设置于曝光室内的镜头与光源之间，令光源透过光罩组合及镜头进行曝光程序；曝光装置包括曝光准备室及曝光室；曝光准备室内设有用以覆盖于光罩表面形成光罩组合的透明板
- 曝光装置方法
- [发明专利]镀膜装置-CN201410628439.9在审
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薛辉;任俊春;金海涛
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芜湖真空科技有限公司
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2014-11-10
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2015-03-25
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C03C17/00
- 本发明公开了一种镀膜装置，其中，所述镀膜装置包括依次设置的进端清洗机(3)、进端准备室(4)、进端锁室(5)、进端缓冲室(6)、镀膜室(7)、出端缓冲室(9)和出端锁室(10)，其中，所述进端缓冲室(6)中靠近所述进端锁室(5)和所述镀膜室(7)的两端分别设置有两个第一狭缝阀，所述出端缓冲室(9)中靠近所述镀膜室(7)的一端设置有第二狭缝阀。本发明通过顺次设置进端清洗机、进端准备室、进端锁室、进端缓冲室、镀膜室、出端缓冲室和出端锁室，同时设置多个狭缝阀，从而使得待镀膜件在进入上述镀膜装置之后可以通过多层清洁及处理后，表面无杂质，进而使得可以直接进行贴膜
- 镀膜装置
- [实用新型]一种真空内镀膜机-CN200920117789.3无效
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徐伟
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徐伟
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2009-04-20
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2010-01-20
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C23C14/24
- 本实用新型涉及一种真空内镀膜机，它包括真空机组、若干个工作室，若干个工作室共同通过真空管路与真空机组相通连，并在真空管路上分别设置有若干个转换阀；若干个工作室之间通过空气管道相互通连，并在空气管道上设置有连通阀采用本实用新型，由于具有若干个工作室，其中某个工作室处于工作状态时，其余工作室可处于准备状态，工作人员可边准备物件安装，边观察，提高了工作效率，同时工作室与工作室之间互相通连，其空气在相互排放后，也能减少真空抽气时间
- 一种真空镀膜
- [发明专利]一种流式细胞装置及方法-CN200710074105.1有效
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赵丙强;甘泉;孙承伟
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深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
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2007-04-16
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2008-10-22
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G01N33/49
- 本发明公开了一种流式细胞装置，包括：用于供待检测样本排队进行检测的流动室；用于对待检测样本定量并储存的储样装置；用于驱动待检测样本进入所述流动室形成供检测的样本流的样本驱动装置；控制各阀和注射器动作的控制单元；可控制的与流动室、储样装置和鞘液连通的推吸装置，推吸装置可以为样本准备和鞘液注入提供驱动。本发明还公开了一种流式细胞方法，包括样本准备、鞘液注入、样本注入、检测等过程；其中样本准备和鞘液注入是由同一个推吸装置驱动的。使用本发明技术方案的流式细胞装置，由于鞘液注入和样本准备均采用同一个推吸装置驱动，整个系统组成更加简单且无须气源，使机器实现低成本和小型化。
- 一种细胞装置方法
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