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[发明专利]基于共焦测量技术的调焦调平装置-CN200910045849.X无效
发明人：许琦欣 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-01-23 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提出一种基于共焦测量技术的调焦调平装置，包括照明光源、共焦测量传感器、投影物镜、硅片以及控制单元。照明光源发出光线；共焦测量传感器接收光线，形成影像；投影物镜连接共焦测量传感器；硅片接收影像；以及控制单元电性连接共焦测量传感器，并依据影像控制共焦测量传感器的运动。本发明基于共焦测量技术的调焦调平装置实现了并行共焦测量，提高了测量效率。
基于测量技术调焦平装

[发明专利]双边错位差动共焦柱面曲率半径测量方法-CN201910316669.4有效
发明人：赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明公开的双边错位差动共焦柱面曲率半径测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量光路系统中应用计算全息透镜片形成柱面测量光路，通过大、小虚拟针孔共焦特性曲线的横向相减处理来锐化共焦响应特性曲线，通过锐化共焦响应特性曲线的双边错位差动相减处理来实现被测表面的差动共焦双极性定焦测量，通过差动共焦定焦曲线的线性拟合来提升焦点位置捕获精度，进而提高柱面曲率半径测量中的定焦精度，实现柱面曲率半径的高精度测量。本发明中横向相减双边错位差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大于传统的差动共焦光强响应曲线，显著提高测量系统定焦精度。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势。
柱面错位差共焦曲率半径测量特性曲线定焦相减差动共焦光强响应锐化抗环境干扰能力差动共焦定焦光学精密测量测量精度高高精度测量测量光路测量系统共焦测量光路系统计算全息焦点位置线性拟合虚拟针孔传统的过零点双极性透镜片捕获测量应用

[发明专利]横向相减差动共焦透镜折射率测量方法-CN201910317051.X有效
发明人：王允;邱丽荣;赵维谦 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明公开的横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明公开的横向相减差动共焦透镜折射率测量方法，在共焦测量系统中，在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜折射率测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，通过光线追迹补偿精确得到透镜的折射率，实现透镜折射率的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量领域具有广泛的应用前景。
横向差动透镜折射率测量方法

[发明专利]激光共焦/差动共焦振动参数测量方法-CN202010165514.8有效
发明人：赵维谦;何奇;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种激光共焦/差动共焦振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦、差动共焦测量系统中，首先在共焦、差动共焦轴向响应曲线上定义了最优测试区间，在最优测试区间内，共焦、差动共焦轴向响应曲线对轴向位移的灵敏度最高。其次，针对不同的振幅，定义了不同的测量模式。通过不同的测量模式来确保振动的最大轴向位移始终位于最优测试区间内。进而利用强度与振动面轴向位置的对应关系实现具有高动态范围的振动特性测量。与已有的振动测量方法相比，本发明具有测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强且结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
激光差动振动参数测量方法

[发明专利]反射式双边错位差动共焦焦距测量方法-CN201910316039.7有效
发明人：赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及反射式双边错位差动共焦焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。该方法通过大、小虚拟针孔共焦特性曲线的横向相减处理来锐化共焦响应特性曲线，通过锐化共焦响应特性曲线的双边错位差动相减处理来实现被测表面的差动共焦双极性定焦测量，通过差动共焦定焦曲线的线性拟合来提升焦点位置捕获精度，进而提高焦距测量中透镜表面顶点和焦点位置的定焦精度，以期实现焦距的高精度测量。本发明中横向相减双边错位差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大于传统的差动共焦光强响应曲线，显著提高了测量系统定焦精度。本方法相对已有方法，具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
反射双边错位差动焦距测量方法

[实用新型]一种光谱共焦内径测量探头-CN202122349789.X有效
发明人：吴新峰;华志超;周远荣;周羊华;王海涛 -专利权人：泰州市计量测试院
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光谱共焦内径测量探头，包括固定架，所述固定架上安装有光谱共焦探头，光谱共焦探头远离固定架的一端安装有直角反射镜，直角反射镜设置于工件圆孔内。本光谱共焦内径测量探头，利用光谱共焦测量原理将位移信息变换到波长信息中去，在光谱共焦探头前端加一个90度直角反射镜，形成小型探头，结合多测头静态测量方式，对工件圆孔内部进行测量，实现了内径尺寸的微米级高精度测量，采用线光源进行光谱共焦测量，不同波长的单色光色散至工件圆孔的两侧内壁，并以相反的方向再次通过色散组件经由光源耦合器传导至光谱信号接收组件，可以有效的改善光谱共焦测量系统的测量精度，从而减少测量误差，提高测量精度
一种光谱内径测量探头

[发明专利]差动共焦曲率半径测量方法与装置-CN200910082249.0无效
发明人：赵维谦;贾馨;邱丽荣;孙若端 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2009-04-21 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦透镜曲率半径测量方法与装置，该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定被测透镜顶点和球心位置，然后测量两焦点间的距离，同时测量过程中还可以通过光瞳滤波技术提高曲率半径测量灵敏度本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应被测透镜顶点和球心的特性实现精确定焦，将差动共焦显微原理扩展到曲率半径测量领域，形成差动共焦定焦原理。本发明运用差动共焦定焦原理，具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于透镜曲率半径的检测与光学系统装配过程中的高精度曲率半径测量。
差动曲率半径测量方法装置

[发明专利]横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法-CN201910316789.4有效
发明人：赵维谦;王允;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开的横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜中心厚度测量顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿精确得到透镜的中心厚度，实现透镜中心厚度的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
特性曲线差动共焦相减透镜中心厚度测量共焦光学精密测量锐化抗环境干扰能力透镜差动共焦测量共焦测量系统测量精度高高精度测量顶点位置光线追迹软件设置探测区域透镜中心系统焦点虚拟针孔差动定焦寻位轴向灵敏探测图像应用

[发明专利]横向相减差动共焦超长焦距测量方法-CN201910318568.0有效
发明人：赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开的横向相减差动共焦超长焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾里斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应所述特性对被测超长焦距测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算来精确得到超长焦距，实现超长焦距的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
横向差动超长焦距测量方法

[发明专利]双边错位差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法-CN201910316283.3有效
发明人：赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种双边错位差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法通过大、小虚拟针孔共焦特性曲线的横向相减处理来锐化共焦响应特性曲线，通过锐化共焦响应特性曲线的双边错位差动相减处理来实现被测表面的差动共焦双极性定焦测量，通过差动共焦定焦曲线的线性拟合来提升焦点位置捕获精度，进而提高抛物面顶点曲率半径测量中透镜表面顶点和焦点位置的定焦精度，以期实现抛物面顶点曲率半径的高精度测量。本发明中横向相减双边错位差动共焦的光强响应曲线过零点附近的斜率大于传统的差动共焦光强响应曲线，显著提高了测量系统定焦精度。本方法具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势。
双边错位差动抛物面顶点曲率半径测量方法

[发明专利]双边错位差动共焦曲率半径测量方法-CN201910316548.X有效
发明人：赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种双边错位差动共焦曲率半径测量方法。该方法在共焦测量光路系统中，首先在CCD探测的艾里斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，然后将锐化共焦特性曲线进行双边错位差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，最后再利用该双边错位差动共焦特性曲线零点与共焦测量系统焦点精确对应这一特性对被测球面“猫眼”和“共焦”位置进行高精度定焦寻位，以期提升球面曲率半径测量中的定焦精度。本方法相对已有曲率半径方法，具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
共焦特性曲线错位差曲率半径测量球面光学精密测量定焦锐化相减抗环境干扰能力测量精度高测量系统差动共焦共焦测量光路系统软件设置探测区域虚拟针孔猫眼再利用寻位轴向灵敏探测图像焦点应用

[实用新型]集成共焦法与三角法的位移测量装置-CN202120799278.5有效
发明人：秦鑫晨;卢科青;王文;王传勇;陈占锋;居冰峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了集成共焦法与三角法的位移测量装置。现有位移测量方式的精度与量程存在矛盾。本实用新型的激光共焦位移传感器探头、位置敏感元件和聚焦透镜均与测头面板固定；激光共焦位移传感器探头与激光共焦位移传感器本体的光学单元及控制器连接组成激光共焦位移传感器；激光共焦位移传感器探头的测量光由激光共焦位移传感器本体的光学单元产生，并通过光纤传输到激光共焦位移传感器探头；激光共焦位移传感器探头的测量光中心轴线与聚焦透镜的中心轴线位于同一平面内；位置敏感元件的信号输出端与控制器连接；激光共焦位移传感器、聚焦透镜以及位置敏感元件组成三角法位移测量系统本实用新型测量精度高，且量程大。
集成共焦法三角位移测量装置

[发明专利]横向相减激光差动共焦柱面曲率半径测量方法-CN201910316641.0有效
发明人：邱丽荣;肖阳;赵维谦 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种横向相减差动共焦柱面曲率半径测量方法。该方法首先利用计算全息镜片将差动共焦测量系统出射的平行光束转化为柱面测量光束，其次将差动共焦探测器中焦前焦后两路探测器探测到的光斑分别采用不同大小虚拟针孔进行横向相减得到锐化后的横向相减共焦响应曲线，然后将两路横向相减共焦响应曲线差动相减后得到横向相减差动共焦响应曲线，并根据横向相减差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测柱面的“共焦”位置和“猫眼”位置，进而实现被测柱面曲率径的精确测量。本方法由于具有测量精度高、抗表面散射能力和环境干扰能力强，在光学柱面曲率半径精密测量方面具有广泛的应用前景。
横向激光差动柱面曲率半径测量方法

[发明专利]差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置-CN201010621159.7有效
发明人：赵维谦;杨佳苗;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2010-12-24 - 公布日： 2011-08-10 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦(共焦)干涉元件多参数测量方法与装置。本发明的核心思想是利用差动共焦(共焦)测量系统测量球面元件表面曲率半径、透镜顶焦距、透镜折射率、透镜厚度以及镜组轴向间隙，利用面形干涉测量系统测量元件表面面形，可实现元件多个参数的同时测量，测量精度高。本发明首次将差动共焦(共焦)探测系统和面形干涉测量系统相融合，测量参数全面，且在元件多个参数测量过程中，无需重新调整光路，拆卸被测元件，对被测元件无损伤，测量速度快。
差动焦干元件参数测量方法装置

[发明专利]横向相减差动共焦镜组间隙测量方法-CN201910319379.5有效
发明人：王允;邱丽荣;赵维谦 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明公开的横向相减差动共焦镜组间隙测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测镜组间隙测量时各顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算精确得到镜组间隙，实现镜组间隙的高精度测量。本发明与镜组间隙测量方法相比，具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
特性曲线镜组差动共焦间隙测量相减共焦光学精密测量锐化抗环境干扰能力差动共焦测量共焦测量系统测量精度高高精度测量补偿计算顶点位置光线追迹软件设置探测区域系统焦点虚拟针孔被测镜差动定焦寻位轴向灵敏探测图像应用

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