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[发明专利]偏振光照射装置以及偏振光照射方法-CN201680056639.9在审
发明人：桥本和重;新井敏成 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2016-10-04 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：本发明提供偏振光照射装置以及偏振光照射方法。能够使偏振光照射装置小型化，尤其能够缩短长边方向的长度。供对象物载置的工作台、照射沿着与对象物的扫描方向大致正交的方向的大致带状的偏振光的偏振光照射部、以及测定从偏振光照射部照射出的光的特性的光学测定器设置成，当偏振光照射部处于待机位置时水平方向的位置不重叠光源移动部使偏振光照射部沿着对象物的扫描方向移动而通过光学测定部的上方，并且通过工作台的上方。
偏振光照射偏振光照射装置对象物扫描方向工作台照射偏振光光学测定部待机位置光学测定光源移动不重叠正交的长边载置移动

[发明专利]偏振光照射装置及光取向装置-CN201510725578.8在审
发明人：野原孝弘 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：一种偏振光照射装置及光取向装置，在对朝向光照射区域的周边部的偏振光进行限制的构造的偏振光照射装置中，能够防止消光比下降，实现均匀而高品质的光取向处理。在灯壳体(3)内设有在背后具备反射镜(4)的棒状的光源(1)，在形成在灯壳体(3)的底板部(31)上的光照射口(30)与光源(1)之间配置有偏振元件(2)。底板部(31)的偏振元件(2)侧的表面中的、包括光照射口(30)的边缘的区域为防反射面(8)。由于不会有在底板部(31)中偏振光反射而消光比下降了的偏振光从光照射口(30)射出的情况，所以光照射面(R)中的偏振光的消光比变高。
偏振光照射装置取向

[发明专利]偏振光照射装置及偏振光照射方法-CN201810939344.7在审
发明人：石井一正 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：本发明提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法，能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备：光源(11)；导光光纤(20)，具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22)；透镜单元(30)，具有偏振元件(34)，并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34)；及倾斜照射机构(40)，以任意的角度固定透镜单元(30)，以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。
偏振光偏振光照射装置偏振光照射导光光纤偏振元件透镜单元出射端入射端出射光源照射光照射区域被处理物避免装置方向配置光照射面角度固定倾斜照射光出射光入射偏振入射线状

[发明专利]光照射装置以及光照射方法-CN201611078054.5有效
发明人：石井一正 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：提供一种能够在一张工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(100)具备从光出射口照射第一偏振光的光照射部(10A)、以及从光出射口照射第二偏振光的光照射部(10C)。另外，偏振光照射装置(100)具备：板部件(遮光板(31))，配置于载物台(21)，在第一使用位置(去路遮光位置(302))规定应利用第一偏振光进行光取向的工件(W)上的第一区域，在第二使用位置(回路遮光位置(303))规定应利用第二偏振光进行光取向的工件(W)上的第二区域；以及驱动部(遮光掩模驱动部(34))，使板部件在第一使用位置与第二使用位置之间移动。
照射装置以及方法

[实用新型]光配向用偏振光照射装置-CN201320577519.7有效
发明人：前田祥平;田中贵章 -专利权人：东芝照明技术株式会社
申请日： 2013-09-17 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：种光配向用偏振光照射装置，实施方式的光配向用偏振光照射装置具备照射紫外线的光源部与偏振元件，偏振元件具有：第1面，被紫外线照射；以及第2面，与第1面相向且射出紫外线的偏振光。棒状灯对第1面照射紫外线。辅助光源被配置成：对于工件的光照射区域中的、偏振光的偏振轴相对于基准方向的差异大的区域即光照射区域的四角，经由偏振元件来照射紫外线，所述偏振光是对应于紫外线而从第2面射出。本实用新型可抑制工件的光照射区域中的偏振轴的偏差，并可将足够光量的紫外线照射至工件。
偏振光照射装置

[发明专利]表面缺陷的检测方法及其装置-CN02124788.9无效
发明人：风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治 -专利权人：日本钢管株式会社
申请日： 1995-10-27 - 公布日： 2003-08-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置
表面缺陷检测方法及其装置

[发明专利]表面缺陷的检测方法及其装置-CN95102598.8无效
发明人：风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治 -专利权人：日本钢管株式会社
申请日： 1995-10-27 - 公布日： 1997-05-14 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明的表面缺陷检查方法是使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置
表面缺陷检测方法及其装置

[发明专利]偏振光照射装置-CN201510091614.X在审
发明人：山田一吉;川锅保文 -专利权人：岩崎电气株式会社
申请日： 2015-02-28 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够进一步改善照度不均的偏振光照射装置。偏振光照射装置(1)具备：线状的光源(4)；槽状的主反射镜(5)，其对该光源(4)的光进行聚光；以及线栅偏振器(16)，其用于使照射的光直线偏振，所述偏振光照射装置(1)对照射对象物(W)照射偏振光，其中，在光源(4)的发光端(P)附近设有从光源(4)向线栅偏振器(16)附近延伸的辅助反射镜(6)。
偏振光照射装置

[实用新型]光照射装置-CN201620396471.3有效
发明人：石井一正 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2016-05-04 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：提供一种光照射装置，能够通过一次光取向处理在1个工件上形成取向方向不同的多个区域。光照射装置具备：光照射部(10A)，设置于工件的传输路径，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，照射来自光射出口的第一偏振光；光照射部(10C)，在传输路径上与第一光照射部并排设置，通过具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴的第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光。光照射装置具备：配置在光照射部的光射出口的光射出侧、规定应通过第一偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板；和配置在光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过第二偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板。
照射装置

[发明专利]光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法-CN201410341209.4有效
发明人：木村淳治 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01J4/00 文献下载
摘要：一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法，能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面，能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W)，在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时，在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位，旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向，求出偏振轴的偏离量，通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整，以消除偏离量。
取向偏振光照射装置以及方法

[发明专利]光取向用偏振光照射装置-CN200510116296.4有效
发明人：盐谷纱由 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2005-11-07 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：提供一种光取向用偏振光照射装置，照射偏振轴的偏移少的偏振光，可以在光取向膜中产生期望的方向的取向。从光照射部向光取向膜(41)照射偏振光来进行光取向处理，该光照射部具备棒状灯(21)和水槽状聚光镜(22)，在光出射侧具备线栅偏振元件(10)。支承光照射部(20)的支柱(24)沿着轨道(26)移动，光照射部绕与被搬运的光取向膜正交的轴旋转移动。为了将光取向膜的光取向方向设定为任意的角度，使光照射部绕与光取向膜正交的轴旋转移动。由于使光照射部整体转动，因此灯的长度方向和偏振元件的线栅方向的关系不变，偏振轴的偏移也不变。并且，为了使偏振光斜向入射到光取向膜，也可以构成为倾斜光照射部。
取向偏振光照射装置

[发明专利]光照射装置以及光照射方法-CN201610289141.9在审
发明人：石井一正 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2016-05-04 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：提供一种光照射装置以及光照射方法，能够通过一次光取向处理在1个工件上形成取向方向不同的多个区域。光照射装置具备：光照射部(10A)，设置于工件的传输路径，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，照射来自光射出口的第一偏振光；光照射部(10C)，在传输路径上与第一光照射部并排设置，通过具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴的第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光。光照射装置具备：配置在光照射部的光射出口的光射出侧、规定应通过第一偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板；和配置在光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过第二偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板。
照射装置以及方法

[发明专利]圆偏振光照射器、分析装置以及显微镜-CN202280016027.2在审
发明人：冈本裕巳;成岛哲也 -专利权人：大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N21/19 文献下载
摘要：提供一种能够以高速且高灵敏度进行圆二色性测定的圆偏振光照射器、以及使用了该圆偏振光照射器的分析装置和显微镜。使用圆偏振光照射器而构成分析装置、显微镜，该圆偏振光照射器具备：光源(20)，其使脉冲光出射；偏振光分离部，其将从光源(20)所出射的脉冲光(L1)或从由光源(20)所出射的脉冲光(L1)中提取到的直线偏振光(L2)分离成x轴方向偏振光成分(L2x)和y轴方向偏振光成分(L2y)；光延迟部(13)，其使所分离出的x轴方向偏振光成分的脉冲(Px)和y轴方向偏振光成分的脉冲(Py)中的任一者相对于另一者延迟；偏振光合成部，其将从光延迟部(13)所出射的X偏振脉冲光束(L2x)和Y偏振脉冲光束(L2y)同轴地合成，而生成具有X偏振光脉冲(Px)与Y偏振光脉冲(Py)交替地重复的调制的直线偏振光束(L3)；以及偏振光转换部，其将从偏振光合成部所出射的直线偏振光转换成圆偏振光。
偏振光照射分析装置以及显微镜

[发明专利]偏振光照射装置以及偏振光照射方法-CN201880004973.9在审
发明人：新井敏成;竹下琢郎 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：从光源(211)出射并透过形成于掩模(32)的透光区域的偏振光被向载置于工作台(11)的曝光对象物(W)照射。偏振光从相对于与工作台(11)的上表面大致正交的方向倾斜大致50度至大致70度的方向，向曝光对象物(W)照射。
偏振光曝光对象物工作台照射偏振光照射装置光取向处理偏振光照射透光区域液晶分子预倾斜角取向膜上表面正交的出射掩模光源

[发明专利]偏振光照射装置以及带光取向膜的基板的制造方法-CN201811438393.9有效
发明人：谷池康司郎 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：提供高效地进行偏振光照射，且能够形成显示出较高的各向异性的感光膜的偏振光照射装置、以及带感光膜的基板的制造方法。一种设置在基板上的感光膜的曝光所使用的偏振光照射装置，该偏振光照射装置具备：搬运工作台，其具有在载置了上述基板的状态下往复移动的工作台面、和对载置在上述工作台面上的上述基板进行加热的加热机构；和偏振光照射机构，其相对于在曝光区域内移动的上述工作台面照射偏振光，上述搬运工作台一边由上述加热机构对上述基板进行加热，一边在往路中，在上述曝光区域内以第一平均速度移动，在复路中，在上述曝光区域内以比上述第一平均速度慢的第二平均速度移动
偏振光照射装置以及取向制造方法

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