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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]低温泵-CN201080043384.5无效
发明人：铃木直人;增田行男;山口理 -专利权人：爱发科低温泵株式会社;株式会社爱发科
申请日： 2010-09-28 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种可以防止在面板表面发生的凝缩体的剥离，保持稳定的排气动作的低温泵。本发明的实施方式涉及的低温泵(30)具有由冷冻机(32)冷却的低温面板(31)。所述低温面板的凝缩面(310)由边界部(沟部(310b))划分为多个独立的分割面(310a)。
低温泵

[发明专利]低温泵系统及其监视方法-CN202111347327.2在审
发明人：高桥走 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在真空处理装置的运转期间容易确认与低温泵相关的信息的低温泵系统。低温泵系统(100)具备：低温泵(10)；低温泵控制器(110)，控制低温泵(10)；网络(120)，连接低温泵(10)与低温泵控制器(110)，并在低温泵(10)与低温泵控制器(110)之间传输与低温泵(10)相关的信息；及低温泵监视器(130)，与网络(120)连接，并且显示经由网络(120)传输的与低温泵(10)相关的信息。低温泵控制器(110)配置于真空处理装置(200)的框体(206)内，低温泵监视器(130)配置于真空处理装置(200)的框体(206)外。
低温泵系统及其监视方法

[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法-CN202110281890.8有效
发明人：五反田修平;髙桥走 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种能够缩短低温泵系统的再生时间的低温泵系统、低温泵系统的控制装置及再生方法。所述低温泵系统(100)具备：多个低温泵(10)；以及控制器(20)，针对各个低温泵，根据由该低温泵的压力传感器(22)测定的测定压力来控制该低温泵的粗抽阀(24)，以使共用的粗抽泵(32)将该低温泵减压至第1基准压力并将其真空保持，接着将该低温泵进一步减压至比第1基准压力更低的第2基准压力。控制器(20)构成为，根据多个低温泵中的某一个低温泵的压力传感器(22)的测定压力来使另一个低温泵的粗抽阀(24)打开，以便在将某一个低温泵真空保持的期间使另一个低温泵减压至第1基准压力。
低温泵系统控制装置再生方法

[发明专利]低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法-CN201610053653.5有效
发明人：谷津贵裕 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵系统具备：低温泵(10)；及再生控制部(102)，根据包括排出处理的再生顺序控制低温泵(10)，所述排出处理为从低温泵(10)排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行低温泵(10)的粗抽再生控制部(102)具备：压力下降率运算部(114)，运算出低温泵(10)粗抽中的低温泵(10)内的压力下降率；及压力下降率监视部(116)，检测出粗抽中的压力下降率的缩小。
低温泵系统控制装置再生方法

[发明专利]防气蚀装置-CN201010017152.4无效
发明人：张建红;殷劲松;许俊杰 -专利权人：张家港富瑞特种装备股份有限公司
申请日： 2010-01-08 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可防止低温泵吸空的防气蚀装置，包括：设置有低温泵的低温泵池，所述的低温泵池中还设置有液位检测装置，该液位检测装置的输出端与控制低温泵运转的控制装置相连。本发明由于在低温泵池中设置了液位检测装置，当低温泵池中的液位低于设定值时，液位检测装置送出报警信号，控制装置关停低温泵，从而有效地防止了低温泵因吸空而导致的叶轮损坏，大大提高了低温泵的安全性。
气蚀装置

[发明专利]低温泵的盖结构、低温泵及其启动方法以及保管方法-CN201210097844.3有效
发明人：田中秀和 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-04-05 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明的课题在于良好地保管低温泵。本发明提供一种低温泵的保管方法，其包括用泵盖(100)堵塞用于接收由低温泵(10)排气的气体的低温泵的泵口的步骤、及通过将低温泵(10)的内部与外部连通的流体路径对低温泵(10)的内部进行减压的步骤。并且，本发明提供一种低温泵的启动方法，其包括通过从盖主体(102)拆卸安装于低温泵(10)的泵盖(100)的闭塞部件(106)来解除低温泵内部的负压的步骤。
低温泵结构及其启动方法以及保管

[发明专利]一种低温泵再生系统及再生方法-CN202110373392.6在审
发明人：汤洪明;姚战立 -专利权人：苏州八匹马超导科技有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：一种低温泵再生系统，包括低温泵、氮气供给装置、抽水装置及若干阀门；氮气供给装置与低温泵之间的第一管路上串联有加热装置，使氮气达到水蒸气的饱和温度及以上，氮气经加热后进入低温泵，根据水分子在真空中的物理性质，使低温泵内的水分转换为气态的过热水蒸气后与氮气混同并带出低温泵，与现有技术的比较下，本发明的低温泵再生系统不额外增加专用于除水的结构部件即可将低温泵内的水分除去，降低了低温泵再生系统的造价，同时满足了低温泵再生工艺中的除水需求，使低温泵再生系统的结构更简洁，有利于节约企业生产成本。
一种低温泵再生系统方法

[实用新型]一种低温泵再生系统-CN202120703280.8有效
发明人：汤洪明;姚战立 -专利权人：苏州八匹马超导科技有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：一种低温泵再生系统，包括低温泵、氮气供给装置、抽水装置及若干阀门；氮气供给装置与低温泵之间的第一管路上串联有加热装置，使氮气达到水蒸气的饱和温度及以上，氮气经加热后进入低温泵，根据水分子在真空中的物理性质，使低温泵内的水分转换为气态的过热水蒸气后与氮气混同并带出低温泵，与现有技术的比较下，本申请的低温泵再生系统不额外增加专用于除水的结构部件即可将低温泵内的水分除去，降低了低温泵再生系统的造价，同时满足了低温泵再生工艺中的除水需求，使低温泵再生系统的结构更简洁，有利于节约企业生产成本。
一种低温泵再生系统

[实用新型]防气蚀装置-CN201020022774.1有效
发明人：张建红;殷劲松;许俊杰 -专利权人：张家港富瑞特种装备股份有限公司
申请日： 2010-01-08 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可防止低温泵吸空的防气蚀装置，包括：设置有低温泵的低温泵池，所述的低温泵池中还设置有液位检测装置，该液位检测装置的输出端与控制低温泵运转的控制装置相连。本实用新型由于在低温泵池中设置了液位检测装置，当低温泵池中的液位低于设定值时，液位检测装置送出报警信号，控制装置关停低温泵，从而有效地防止了低温泵因吸空而导致的叶轮损坏，大大提高了低温泵的安全性。
气蚀装置

[发明专利]一种侧出液低温泵池-CN202010645598.5在审
发明人：张昀;肖刚;黎卯;苏开科;丁华云;张敏超;袁伟;袁波 -专利权人：优普能源技术有限公司;优捷特环保科技有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：一种侧出液低温泵池，它包括泵池体、泵池盖和低温泵，所述泵池体顶部开口，所述低温泵置于泵池体内，所述泵池盖盖在泵池体顶部将低温泵密封在泵池体内，所述泵池体的侧壁上开设有若干出液口，其中，有一出液口与低温泵的出口连通；所述低温泵与泵池体固定连接。该泵池的出液口设在泵池体的侧壁，避免出液管设置的过高而给检修带来麻烦，同时，低温泵没有固定在泵池盖底部，检修时，低温泵可以不用提出泵池体。
一种侧出液低温泵

[实用新型]一种侧出液低温泵池-CN202021316469.3有效
发明人：张昀;肖刚;黎卯;苏开科;丁华云;张敏超;袁伟;袁波 -专利权人：优普能源技术有限公司;优捷特环保科技有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：一种侧出液低温泵池，它包括泵池体、泵池盖和低温泵，所述泵池体顶部开口，所述低温泵置于泵池体内，所述泵池盖盖在泵池体顶部将低温泵密封在泵池体内，所述泵池体的侧壁上开设有若干出液口，其中，有一出液口与低温泵的出口连通；所述低温泵与泵池体固定连接。该泵池的出液口设在泵池体的侧壁，避免出液管设置的过高而给检修带来麻烦，同时，低温泵没有固定在泵池盖底部，检修时，低温泵可以不用提出泵池体。
一种侧出液低温泵

[发明专利]低温泵及低温泵的再生方法-CN201510104807.4有效
发明人：及川健 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种低温泵及低温泵的再生方法，本发明的课题在于，在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。本发明的低温泵的再生方法具备如下工序向低温泵供给吹扫气体以使低温板加热至高于水的融点的第1温度域；当低温板温度处于第1温度域时，停止向低温泵供给吹扫气体；将低温板从第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2
低温泵再生方法

[发明专利]一种立式低温泵自动对中装置-CN202310956166.X有效
发明人：李银强;恽兰明;张国帅;徐程;王仁伦;周钧 -专利权人：江苏双达泵业股份有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B66C13/08 文献下载
摘要：本发明涉及低温泵吊装技术领域，且公开一种立式低温泵自动对中装置，包括吊架与吊有低温泵的吊机，所述吊架的侧壁固定连接有箱体，且箱体的内壁转动连接有转管，所述转管的外壁缠绕有限位引导软管，且限位引导软管的一端与转管固定连接本发明，通过设置限位引导软管与转接头等配合使用，可以拉开限位引导软管，使用限位引导软管进行引导，随后通过吊机向下放低温泵，在低温泵下移的时候，使得低温泵可以直接落在需要的位置上，无需再调节低温泵的位置，进而在连接固定低温泵的时候，便于低温泵的安装。
一种立式低温泵自动装置

[发明专利]双低温泵系统及其控制方法-CN201210510059.6有效
发明人：张伟 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种双低温泵系统，应用于晶圆生产中，包括工艺腔；第一低温泵，第一隔离阀以及第一抽气管；第二低温泵，第二隔离阀以及第二抽气管；以及控制单元，与第一隔离阀和第二隔离阀相连，判断第一低温泵是否满足维护条件，并在第一低温泵满足维护条件时关闭第一隔离阀同时打开第二隔离阀，其中维护条件为第一低温泵故障或第一低温泵的工作参数达到预设值。本发明通过交替使用低温泵，不但使得工艺腔避免了在低温泵维护时的停机，保证生产线的正常运转，也降低了能耗，并延长了低温泵的使用寿命。
低温泵系统及其控制方法

[实用新型]低温泵及泵池罐一体式装置-CN202120597462.1有效
发明人：杨波;刘斌;高晓佳 -专利权人：天津佰焰科技股份有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F17D1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温泵及泵池罐一体式装置，属于低温容器的技术领域。低温泵及泵池罐一体式装置包括泵池罐和低温泵；低温泵为卧式低温液体离心泵，低温泵横向连接在泵池罐内；泵池罐的侧面开口处连接有泵池罐内法兰和泵池罐外法兰，泵池罐内法兰与泵池罐外法兰连接；低温泵的出液端连接泵池盖，泵池盖的盖内侧端连接泵池罐内法兰，泵池盖的盖外侧端连接泵池罐外法兰。解决了采用卧式低温泵，使用时，低温泵的泵池盖密封效果差，保冷效果差的问题。本实用新型的低温泵采用水平放置的卧式低温液体离心泵，泵池盖的内、外端与泵池罐的两个法兰之间为双密封结构，确保连接位置严实，保冷性好。
低温泵泵池罐一体式装置

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